儀器特點: 計算機(jī)全數(shù)字化控制,操作簡捷直觀。 步進(jìn)馬達(dá)自動進(jìn)行針尖--樣品逼近,實驗圓滿成功。 深度陡度測量,三維顯示。 納米材料粗糙度測量、顆粒徑度測量及分布統(tǒng)計。 X、Y二維樣品移動平臺,快速搜索樣品區(qū)域. 標(biāo)準(zhǔn)RS232串行接口,無需任何計算機(jī)卡 樣品觀測范圍從0.001um-20000um。 掃描速度達(dá)40000點/秒 可選配納米刻蝕功能模塊。 技術(shù)指標(biāo) :
AFM探頭 樣品尺寸:直徑小等于30mm;厚度小等于15mm。 XY最大掃描范圍:標(biāo)準(zhǔn)6X6微米 0.25nm 0.03nm(云母定標(biāo)) XY二維樣品移動范圍:5mm;精度0.5微米 掃描器、針尖座智能識別 44-283X連續(xù)變倍彩色CCD顯微觀察系統(tǒng)(選配) AFM電化學(xué)針尖塊,液電池,液體輕敲式成像功能(選配) 全金屬屏蔽防震隔音箱/精密隔震平臺(選購) 電子學(xué)控制器: XTZ控制 18-Bit D/A 數(shù)據(jù)采樣 14-BitA/D、16 Bit A/D多路同步采樣 Z向反饋 DSP數(shù)字反饋 反饋采樣速率 64.0KHz 高壓放大器 集成高壓運算放大器,最大電壓范圍+/-150V 頻率范圍 --- 幅度范圍 --- 掃描速率 21Hz 掃描角度 0-360度 掃描偏移 任意 圖像采樣點 256X256或512X512 步進(jìn)馬達(dá)控制 手動和自動進(jìn)退 計算機(jī)接口 標(biāo)準(zhǔn)RS232串行/USB
Dimension Icon 系列作為布魯克公司(Bruker AXS) 原子力顯微鏡的旗艦產(chǎn)品,凝聚了多項的專利技術(shù),是二十多年技術(shù)創(chuàng)新、客戶反饋和行業(yè)應(yīng)用的結(jié)晶。 Dimension Icon 的出現(xiàn)為科學(xué)和工業(yè)界在納米尺度的研究帶來了革命性的之作。Dimension Icon 可以實現(xiàn)所有主要的掃描探針成像技術(shù),其測試樣品尺寸可達(dá):直徑210mm,厚度15mm。溫度補(bǔ)償位置傳感器使Z-軸和X-Y軸的噪音分別保持在亞-埃級和埃級水平,并呈現(xiàn)出前所未有的高分辨率。對于大樣品、90微米掃描范圍的系統(tǒng)來說,這種噪音水平超越了所有的開環(huán)掃描高分辨率的原子力顯微鏡。的XYZ閉環(huán)掃描頭在不損失圖像質(zhì)量的前提下大大提高了掃描速度。探針和樣品臺的開放式設(shè)計使 Icon 可勝任各種標(biāo)準(zhǔn)和非標(biāo)準(zhǔn)的實驗。
XY驅(qū)動分辨率:24位控制,0.06Am;
Z驅(qū)動分辨率:24位控制,0.006Am;
微弱的相干激光器:658nm波長,功率小于1mw。
升縮臺的結(jié)構(gòu)(專利技術(shù))
有專利的伸縮放大臺階且低噪音的,三軸獨立,原子臺階及分子分辨率,直到100µm掃描,
掃描分辨率X-Y:0.06nm,Z:0.006nm, 不像壓電陶瓷管那樣易碎而且伸縮有弓效果。
智能化AFM
a. 低噪聲低功耗相干激光器
b.低噪音控制器(低電壓驅(qū)動壓電掃描器)
c.24位DAC控制(精密控制
d.最大100µm掃描(Z方向9µM )
e.高分辨率的大范圍掃描器
低噪音激光器和控制器+24位控制+伸縮臺階(專利技術(shù))=完整的低噪音回路=一體式掃描器。大范圍掃描,高分辨率,且無需更換掃描器。
自動設(shè)置和自動開關(guān)
1.自動調(diào)諧集成鎖相(AC和單通KFM模式)
2.自動設(shè)置電子系統(tǒng)(無需使用者連接電纜或模塊)
3.頂部和側(cè)面視圖(探針-樣品趨近簡單- >不會撞針)
4.直觀的軟件和預(yù)先配置的AFM模式
配置齊全AFM
易于使用(頂部和側(cè)面的視圖,直觀的軟件,觸摸屏控制)
高達(dá)100µm范圍掃描(Z方向9µM)
高分辨率
集成鎖相(高靈敏度)
24位控制
多模式
接觸/摩擦&振蕩模式/相位
Conductive AFM(導(dǎo)電AFM)
PFM (壓電響應(yīng))
MFM/EFM(磁力/靜電力)
力調(diào)制
適用于不同環(huán)境的真實設(shè)計
EZ溫度 : 溫度控制,可達(dá)200°
對于壓電器件可以進(jìn)行更穩(wěn)定的加熱分離(不漂移)
與大氣控制、液體模式和所有電模式(KFM,CAFM, ResiScope…) 相兼容
大氣控制(氣體和濕度)
光電探測器和激光器在箱體外部(濕度控制不會造成電子件損害)
光電探測器和激光器可以正常對齊(不在一個盒子里解決- >沒有盒子)
容易和快速設(shè)置
與電氣測量模式是最佳的兼容(KFM, ResiScope…)
EZ液體:液體測量
壓電保護(hù)
激光容易對準(zhǔn)(可以利用頂部視頻在空氣中對準(zhǔn)激光)
非常穩(wěn)定的“振蕩模式”的決方案
易于使用且更成功的原子力顯微鏡測量!
熱測量
局部加熱(探針)
或熱測量
最佳的電氣模塊
HD-KFM :
在市場上有最好的分辨率和靈敏度(更好的算法,根據(jù)不同樣品有兩種模式,更好的鎖相靈敏度…)
易用使用(自動調(diào)用智能算法,無需經(jīng)驗)
ResiScope :
10個數(shù)量級-從100Ω~1TΩ之間(競爭者最多只覆蓋了7個數(shù)量級)
較低的電流流經(jīng)探針/樣品(不會局部氧化,不會因為高電流損害探針/樣品)
同時兼容AC模式成像和EFM/MFM 模式或者HD-KFM 模式,且不會任何變動或丟失樣品的位置!
Soft-ResiScope :
跟ResiScope一樣,仍然有10個數(shù)量級,允許軟性樣品成像成像和電阻/電流測量。
CSI原子力顯微鏡應(yīng)用領(lǐng)域
物理實驗室:材料,高分子聚合物,電氣特性,磁場,壓電領(lǐng)域…
化學(xué)實驗室:分子電子或組織。太陽能電池,電池,聚合物,電化學(xué)
半導(dǎo)體:研究和研發(fā)
多用途用戶如:化學(xué)實驗室+生物實驗室
更多產(chǎn)品 www.labandmore.com
探針品牌
www.nanoworld.com
產(chǎn)品描述
全世界使用最廣泛的、口碑最好的SPM、AFM探針,可適用于所有的市售SPM和AFM設(shè)備。 本包裝為單組10個的高品質(zhì)濕法刻蝕的硅探針,可用于輕敲模式™ ,動態(tài)模式和其他非接觸模式檢測。 所有的探針均為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的硅SPM和AFM探針,可用于高靈敏度和高分辨率成像適用于各種樣品類型的輕敲模式、動態(tài)模式或空氣中的非接觸模式檢測。
Pointprobe®系列的所有SPM和AFM探針都是由高摻雜的硅片制成 。這種探針材料可以消散靜電,并具有化學(xué)惰性,還可提供高靈敏 度的高機(jī)械Q因子。
該探針提供了以下特性:- 針尖曲率半徑 < 8 nm- 高摻雜消散靜電荷- 懸臂背面鍍鋁- 高機(jī)械品質(zhì)因數(shù)確保高靈敏度
探針鍍層
懸臂背面鍍鋁
探針參數(shù)
針尖:
shape:Rotated(symmetric) height:10 - 15 µm radius:8nm
懸臂梁:
shape:rectangular
length:125 µm (115 - 135 µm)*
width:28 µm (30 - 42 µm)*
thickness:4 µm (3.5 - 4.5 µm)*
force constant:40 N/m (20 - 80 N/m)*
resonance frequency:300 kHz (200 - 400 kHz)*
原子力顯微鏡
晶體掃描儀(Crystal Scanner TM)是美國PNI公司開發(fā)的一種新穎的掃描儀。使用該掃描儀,無需知道更多掃描探針顯微學(xué)(SPM)知識的人士便可獲得納米范圍的形貌像。晶體掃描儀的核心是一種新型的無需復(fù)雜光路調(diào)整(Alignment)過程的力傳感器。它能夠進(jìn)行納米結(jié)構(gòu)的成像和分析。 使用裝有晶體掃描儀的Nano-R TM原子力顯微鏡(AFM),工程師和科學(xué)工作者無需等候獲得掃描的納米結(jié)構(gòu)圖像,而是直接測量物體的形貌像。公司和研究機(jī)構(gòu)也不用雇傭AFM專家,這樣可為納米技術(shù)的研究、發(fā)展和工藝控制節(jié)省大量的成本。 晶體掃描儀在納米牛頓力測量領(lǐng)域內(nèi)注入了新的設(shè)計理念。將該掃描儀與Nano-R TM型AFM的測試臺和軟件相結(jié)合,便可以得到一個新的用戶友好接口的納米成像儀器。尤其是,當(dāng)配合點和掃描(Point & Scan TM)技術(shù),將大大簡化儀器的操作過程。
原子力顯微鏡
點和掃描技術(shù) 點和掃描技術(shù)大大減少了傳統(tǒng)系統(tǒng)軟件的復(fù)雜性,只要按照屏幕上的操作提示便可完成測試。幾步操作后,實驗人員便可以在計算機(jī)屏幕上看到圖像。 點和掃描技術(shù)使用標(biāo)準(zhǔn)的納米成像操作步驟。步驟如下:
選擇樣品類型;
將樣品放置于顯微鏡下;
如有必要,更換晶體傳感器(只需幾分鐘);
選擇要掃描的樣品區(qū)域;
成像操作。
上述的納米成像過程同樣可以分析DVD和半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)以及對納米管、納米粒子和納米晶體進(jìn)行高分辨的納米成像。 點和掃描技術(shù)包括3個方面的創(chuàng)新性:晶體傳感器,測試臺的自動化和軟件。
晶體傳感器
晶體掃描儀里的力傳感器是一種非常小的晶體振蕩器,在其晶體的末端裝有針尖,如圖1和2所示。當(dāng)探針靠近樣品表面時,其振蕩的振幅將衰減。衰減的幅度取決于探針和樣品之間的作用力。掃描時,使用軟件可以優(yōu)化振蕩頻率和力的大小。使用時,晶體傳感器無需任何力的調(diào)整。
圖1晶體掃描儀中的石英交叉晶體 圖2晶體傳感器安裝在零插入力模塊上
的測試臺自動化大大簡化了裝有晶體傳感器的Nano-R TM型AFM的操作過程。結(jié)合馬達(dá)驅(qū)動的光學(xué)系統(tǒng)、樣品定位和探針-樣品控制,無需任何手動調(diào)整。因此,便可以實現(xiàn)“放置樣品-設(shè)定掃描區(qū)域-開始掃描”的簡單操作過程。
晶體掃描軟件
晶體掃描軟件(CSS)大大簡化了晶體掃描儀的操作。安裝CSS后,實驗人員便可以從窗口菜單上選擇需要成像的樣品類型。有關(guān)樣品類型的信息可存儲在計算機(jī)內(nèi),需要時可調(diào)用。例如,CSS可以使用設(shè)置的掃描參數(shù)。CSS與測試臺自動化的相結(jié)合是一個強(qiáng)有力的工具。舉例來說,當(dāng)運行CSS時,樣品臺會自動移動到樣品適于成像的位置。CSS也可以將樣品進(jìn)一步設(shè)置成適于視頻光學(xué)記錄的位置。 實驗人員必須更換樣品和探針。為了簡化操作過程,幾個視頻系統(tǒng)集成于CSS中。這些配置有利于示意如何更換探針以及放置樣品到成像的位置。軟件接口如圖3所示。 圖3軟件接口
CSS軟件的算法可用來判斷探針的成像質(zhì)量和優(yōu)化掃描參數(shù)。對某些特殊的樣品,這些算法的運用可設(shè)計成樣品信息文件。
的掃描儀設(shè)計 使用移動探針的彎曲壓電掃描儀設(shè)計可確保精確測量。這樣,在x-y-z軸和圖像間可測量最小的色度亮度干擾,以表明沒有背底彎曲。 外置的x、y、z軸校準(zhǔn)傳感器可監(jiān)視彎曲掃描儀的動作。這種傳感器在x、y、z軸線性化和校準(zhǔn)掃描儀顯得非常必要。這些傳感器對于點和位置測量也很有必要,對于圖像中某個特殊形貌的放大應(yīng)用也顯得非常必要。晶體掃描儀的技術(shù)參數(shù)如表1。 表1? 晶體掃描儀的技術(shù)參數(shù)
范圍 | 線性度 | 干擾 | 噪聲 | |||
X-Y | 65 微米 | X-Y-Z | < 1% | XY | < 1% | Vertical < 0.1 nm |
Z | 8 微米 | ZX | < 2% | |||
ZY | < 2% |
與光杠桿傳感器的切換 常規(guī)的AFM使用光杠桿(Light Lever)來測量探針與樣品之間的作用力。盡管光杠桿機(jī)構(gòu)較為復(fù)雜且需要調(diào)光路,但也有一些優(yōu)點。其主要優(yōu)點是:可以進(jìn)行材料敏感模式的測量,如側(cè)向力或摩擦力像和相位移成像;另外,還可進(jìn)行磁力和靜電力成像。 Nano-R TM型AFM測試臺可與光杠桿傳感器兼容。只需幾分鐘便可切換光杠桿傳感器和晶體傳感器。切換安裝后,光杠桿式AFM便可以進(jìn)行接觸或振蕩模式的形貌像測量。
應(yīng)用 使用晶體掃描儀的Nano-R TM型AFM可測量各種樣品如工業(yè)樣品和需要高分辨成像的納米結(jié)構(gòu)的形貌像。工業(yè)樣品包括DVD、顯微鏡頭、紙張、光柵和圖形化的芯片。高分辨成像的納米結(jié)構(gòu)包括晶粒、納米粒子、納米晶體和納米管。圖4示出了一些使用晶體掃描儀的AFM形貌像。
原子力顯微鏡
晶體掃描儀(Crystal Scanner TM)是美國PNI公司開發(fā)的一種新穎的掃描儀。使用該掃描儀,無需知道更多掃描探針顯微學(xué)(SPM)知識的人士便可獲得納米范圍的形貌像。晶體掃描儀的核心是一種新型的無需復(fù)雜光路調(diào)整(Alignment)過程的力傳感器。它能夠進(jìn)行納米結(jié)構(gòu)的成像和分析。 使用裝有晶體掃描儀的Nano-R TM原子力顯微鏡(AFM),工程師和科學(xué)工作者無需等候獲得掃描的納米結(jié)構(gòu)圖像,而是直接測量物體的形貌像。公司和研究機(jī)構(gòu)也不用雇傭AFM專家,這樣可為納米技術(shù)的研究、發(fā)展和工藝控制節(jié)省大量的成本。 晶體掃描儀在納米牛頓力測量領(lǐng)域內(nèi)注入了新的設(shè)計理念。將該掃描儀與Nano-R TM型AFM的測試臺和軟件相結(jié)合,便可以得到一個新的用戶友好接口的納米成像儀器。尤其是,當(dāng)配合點和掃描(Point & Scan TM)技術(shù),將大大簡化儀器的操作過程。
原子力顯微鏡
點和掃描技術(shù) 點和掃描技術(shù)大大減少了傳統(tǒng)系統(tǒng)軟件的復(fù)雜性,只要按照屏幕上的操作提示便可完成測試。幾步操作后,實驗人員便可以在計算機(jī)屏幕上看到圖像。 點和掃描技術(shù)使用標(biāo)準(zhǔn)的納米成像操作步驟。步驟如下:
選擇樣品類型;
將樣品放置于顯微鏡下;
如有必要,更換晶體傳感器(只需幾分鐘);
選擇要掃描的樣品區(qū)域;
成像操作。
上述的納米成像過程同樣可以分析DVD和半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)以及對納米管、納米粒子和納米晶體進(jìn)行高分辨的納米成像。 點和掃描技術(shù)包括3個方面的創(chuàng)新性:晶體傳感器,測試臺的自動化和軟件。
晶體傳感器
晶體掃描儀里的力傳感器是一種非常小的晶體振蕩器,在其晶體的末端裝有針尖,如圖1和2所示。當(dāng)探針靠近樣品表面時,其振蕩的振幅將衰減。衰減的幅度取決于探針和樣品之間的作用力。掃描時,使用軟件可以優(yōu)化振蕩頻率和力的大小。使用時,晶體傳感器無需任何力的調(diào)整。
圖1晶體掃描儀中的石英交叉晶體 圖2晶體傳感器安裝在零插入力模塊上
的測試臺自動化大大簡化了裝有晶體傳感器的Nano-R TM型AFM的操作過程。結(jié)合馬達(dá)驅(qū)動的光學(xué)系統(tǒng)、樣品定位和探針-樣品控制,無需任何手動調(diào)整。因此,便可以實現(xiàn)“放置樣品-設(shè)定掃描區(qū)域-開始掃描”的簡單操作過程。
晶體掃描軟件
晶體掃描軟件(CSS)大大簡化了晶體掃描儀的操作。安裝CSS后,實驗人員便可以從窗口菜單上選擇需要成像的樣品類型。有關(guān)樣品類型的信息可存儲在計算機(jī)內(nèi),需要時可調(diào)用。例如,CSS可以使用設(shè)置的掃描參數(shù)。CSS與測試臺自動化的相結(jié)合是一個強(qiáng)有力的工具。舉例來說,當(dāng)運行CSS時,樣品臺會自動移動到樣品適于成像的位置。CSS也可以將樣品進(jìn)一步設(shè)置成適于視頻光學(xué)記錄的位置。 實驗人員必須更換樣品和探針。為了簡化操作過程,幾個視頻系統(tǒng)集成于CSS中。這些配置有利于示意如何更換探針以及放置樣品到成像的位置。軟件接口如圖3所示。 圖3軟件接口
CSS軟件的算法可用來判斷探針的成像質(zhì)量和優(yōu)化掃描參數(shù)。對某些特殊的樣品,這些算法的運用可設(shè)計成樣品信息文件。
的掃描儀設(shè)計 使用移動探針的彎曲壓電掃描儀設(shè)計可確保精確測量。這樣,在x-y-z軸和圖像間可測量最小的色度亮度干擾,以表明沒有背底彎曲。 外置的x、y、z軸校準(zhǔn)傳感器可監(jiān)視彎曲掃描儀的動作。這種傳感器在x、y、z軸線性化和校準(zhǔn)掃描儀顯得非常必要。這些傳感器對于點和位置測量也很有必要,對于圖像中某個特殊形貌的放大應(yīng)用也顯得非常必要。晶體掃描儀的技術(shù)參數(shù)如表1。 表1? 晶體掃描儀的技術(shù)參數(shù)
范圍 | 線性度 | 干擾 | 噪聲 | |||
X-Y | 65 微米 | X-Y-Z | < 1% | XY | < 1% | Vertical < 0.1 nm |
Z | 8 微米 | ZX | < 2% | |||
ZY | < 2% |
與光杠桿傳感器的切換 常規(guī)的AFM使用光杠桿(Light Lever)來測量探針與樣品之間的作用力。盡管光杠桿機(jī)構(gòu)較為復(fù)雜且需要調(diào)光路,但也有一些優(yōu)點。其主要優(yōu)點是:可以進(jìn)行材料敏感模式的測量,如側(cè)向力或摩擦力像和相位移成像;另外,還可進(jìn)行磁力和靜電力成像。 Nano-R TM型AFM測試臺可與光杠桿傳感器兼容。只需幾分鐘便可切換光杠桿傳感器和晶體傳感器。切換安裝后,光杠桿式AFM便可以進(jìn)行接觸或振蕩模式的形貌像測量。
應(yīng)用 使用晶體掃描儀的Nano-R TM型AFM可測量各種樣品如工業(yè)樣品和需要高分辨成像的納米結(jié)構(gòu)的形貌像。工業(yè)樣品包括DVD、顯微鏡頭、紙張、光柵和圖形化的芯片。高分辨成像的納米結(jié)構(gòu)包括晶粒、納米粒子、納米晶體和納米管。圖4示出了一些使用晶體掃描儀的AFM形貌像。
· 的信號讀錄與輸入功能便于用戶自己設(shè)計研究方法