上海洪柯自動化儀表公司推出的D500/D600氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller)/氣體質(zhì)量流量計(Mass Flow Metre)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空、太陽能、分析儀器、光電、制氣、醫(yī)療、電力、化工等各個領(lǐng)域。產(chǎn)品具有精度高、重復(fù)性好、穩(wěn)定性高、性價比高、工作壓力范圍寬、使用壽命長等特點。
流量規(guī)格(N2): | (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500)SCCM;(0~1、2、3、5、10、20、30、50、100)SLM |
準確度: | ±1%F.S. |
線性: | ±0.5%F.S. |
重復(fù)精度: | ±0.2%F.S. |
響應(yīng)時間: | ≤1Sec |
工作壓差范圍: | (0.05~0.3)MPa |
最大耐壓: | 10MPa |
工作環(huán)境溫度: | 5~65℃ |
電氣連接: | 8 Pin(Mini S Plug) |
輸入/輸出信號 | Digital:RS232/RS485; Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA |
電源: | 7~16VDC 1A;或24VDC500mA |
標(biāo)準接頭: | Swagelokφ3,φ6,φ10…;Swagelok 1/8″,1/4″…; VCRφ3,φ6…;VCR 1/8″,1/4″… |
外形尺寸 | 130*28*121mm |
重量約 | 1.0kg
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1、雙通道氣體混合器適用于大多數(shù)實驗室需要
2、推薦用于Monosrob和ChemBET
3、數(shù)碼讀數(shù)器便于流動速率的設(shè)置
4、高精度質(zhì)量流量控制器保證了準確性和穩(wěn)定性。
| 產(chǎn)品特點:1. | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
差壓原理與熱式原理對照表 alicat差壓原理和熱式原理的對照表 產(chǎn)品簡介: alicat氣體質(zhì)量流量計利用兩個已研究透徹的氣體物理屬性:壓力和粘性來測量流量。通過層狀流量單元的差壓測量來計算流量,這種測量方式具有固有的線性。采用差壓、絕壓和溫度傳感器來測量并補償氣體的壓力、溫度,測量標(biāo)準狀態(tài)(如1個大氣壓@25℃)下氣體的體積流量?蓽y量4種參數(shù):質(zhì)量流量、體積流量、溫度和絕壓,可選累計流量,并且可以通過動態(tài)顯示屏同時顯示?蛇x電池使得該款產(chǎn)品方便攜帶,常用于測試和校準工具。另外提供用戶定制滿足您特殊需求。 alicat氣體體積流量計采用差壓傳感器來測量當(dāng)前狀態(tài)下的體積流量。由于它沒有內(nèi)置絕壓和溫度傳感器,價格會便宜一些,是相對于質(zhì)量流量計的另一種選擇。本地顯示: alicat |
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陜西歐迅機電科技有限公司是集科研、生產(chǎn)、貿(mào)易為一體的高新技術(shù)企業(yè)專業(yè)從事大宗氣體管路輸送及相關(guān)產(chǎn)品銷售,業(yè)務(wù)包括管道工程咨詢、設(shè)計、產(chǎn)品選型及施工安裝為一體的交鑰匙服務(wù)。公司配備GF+切管機、全自動軌道式管管焊機、平口/坡口機、不銹鋼彎管機、去毛刺機等一大批高質(zhì)量、高精密的進口管道施工設(shè)備,全自動軌道式管管焊機適用于焊接3mm-76mm外徑的不銹鋼薄壁管,管管自熔自動焊機采用全位置鎢極氬弧焊單面焊雙面成型的焊接方法,即管子固定,而焊炬(焊機)沿著管子均勻旋轉(zhuǎn)一周的焊接方法,極大的提高了焊接的安全可靠性。相關(guān)員工憑借10年來的行業(yè)積淀和定期的專業(yè)培訓(xùn),具有了豐富的實戰(zhàn)經(jīng)驗,期待著為您提供專業(yè)、及時、優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。我們可提供服務(wù)的行業(yè)包括高純分析測試實驗室、半導(dǎo)體、太陽能光伏、生物、制藥、食品、乳品、酒廠、煙草、航空航天、壓力容器、核電、造船等等。 我公司提供高溫真空管式爐、高溫氣氛式爐、馬弗爐;掃描電鏡;磁控濺射鍍膜;超音速噴涂設(shè)備、等離子噴涂設(shè)備;真空擴散;納微涂層;3D打印設(shè)備;焊燃料電池;X射線能譜儀等大型儀器的集中供氣配氣系統(tǒng),至目前已為各科研機構(gòu)配套多個項目,經(jīng)驗豐富。 我司經(jīng)銷的產(chǎn)品有:鋼瓶固定架、不銹鋼減壓器、黃銅減壓器、不銹鋼氣體匯流排、黃銅匯流排、不銹鋼自動切換面板裝置、不銹鋼背壓閥、BA級不銹鋼管內(nèi)外拋光管、EP級不銹鋼內(nèi)外拋光管、不銹鋼卡套式三通、不銹鋼卡套直通接頭、焊接三通、焊接變徑、氣體質(zhì)量流量控制器、杜瓦瓶、氣瓶柜、通風(fēng)柜、實驗臺等。
陜西歐迅機電科技有限公司是集科研、生產(chǎn)、貿(mào)易為一體的高新技術(shù)企業(yè)專業(yè)從事大宗氣體管路輸送及相關(guān)產(chǎn)品銷售,業(yè)務(wù)包括管道工程咨詢、設(shè)計、產(chǎn)品選型及施工安裝為一體的交鑰匙服務(wù)。公司配備GF+切管機、全自動軌道式管管焊機、平口/坡口機、不銹鋼彎管機、去毛刺機等一大批高質(zhì)量、高精密的進口管道施工設(shè)備,全自動軌道式管管焊機適用于焊接3mm-76mm外徑的不銹鋼薄壁管,管管自熔自動焊機采用全位置鎢極氬弧焊單面焊雙面成型的焊接方法,即管子固定,而焊炬(焊機)沿著管子均勻旋轉(zhuǎn)一周的焊接方法,極大的提高了焊接的安全可靠性。相關(guān)員工憑借10年來的行業(yè)積淀和定期的專業(yè)培訓(xùn),具有了豐富的實戰(zhàn)經(jīng)驗,期待著為您提供專業(yè)、及時、優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。我們可提供服務(wù)的行業(yè)包括高純分析測試實驗室、半導(dǎo)體、太陽能光伏、生物、制藥、食品、乳品、酒廠、煙草、航空航天、壓力容器、核電、造船等等。 我公司提供高溫真空管式爐、高溫氣氛式爐、馬弗爐;掃描電鏡;磁控濺射鍍膜;超音速噴涂設(shè)備、等離子噴涂設(shè)備;真空擴散;納微涂層;3D打印設(shè)備;焊燃料電池;X射線能譜儀等大型儀器的集中供氣配氣系統(tǒng),至目前已為各科研機構(gòu)配套多個項目,經(jīng)驗豐富。 我司經(jīng)銷的產(chǎn)品有:鋼瓶固定架、不銹鋼減壓器、黃銅減壓器、不銹鋼氣體匯流排、黃銅匯流排、不銹鋼自動切換面板裝置、不銹鋼背壓閥、BA級不銹鋼管內(nèi)外拋光管、EP級不銹鋼內(nèi)外拋光管、不銹鋼卡套式三通、不銹鋼卡套直通接頭、焊接三通、焊接變徑、氣體質(zhì)量流量控制器、杜瓦瓶、氣瓶柜、通風(fēng)柜、實驗臺等。
DMF系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器可對不同氣體的流量進行編程,記錄,分析和控制?刂破鞑捎昧酥惫軅鞲衅骱拖蘖髟,這了層流氣體流量的精度與重復(fù)性。DMF系列不受溫度和壓力變化的影響。
控制器可以針對不同的控制功能進行編程,包括設(shè)定流量值,累計,終止累計,從預(yù)定值累計,終止和預(yù)定總數(shù),自動調(diào)零等等。自動調(diào)零特性采用了自動調(diào)零調(diào)整電路,這實際上消除了零漂和量程漂移。此外,DMF系列控制器帶有兩個干式觸點對泵,閥門和其它設(shè)備進行控制,
DMF系列的特點是有一自整定功能,它可以使對一定壓力下的特定氣體的調(diào)節(jié)達到。在開機時就進行自診斷測試,從控制器工作在工況下?刂破髦袃Υ媪硕噙_10種的氣體校準信息和256種不同氣體的轉(zhuǎn)換因數(shù)。氣體流量高低速限制警報器經(jīng)由RS-485接口進行編程。流量模式有相應(yīng)軟件的支持,它允許執(zhí)行多達十條指令的自定義程序。
技術(shù)指標(biāo): 介質(zhì):與材質(zhì)兼容的潔凈氣體 材質(zhì):316不銹鋼,416不銹鋼,Viton O型環(huán) 精度:±1%FS包括線性度59-77℉(15-25℃)和10-60psia(0.7-4bar);±2%FS 32-122℉(0-50℃),5-150psia(0.3-10bar) 重復(fù)性:±0.15%(全量程) 響應(yīng)時間:在20%-100%FS以上設(shè)定值的±2%以內(nèi)為0.6-1.0秒 輸出:線性0-5直流電壓(2000小負載阻抗);0-10直流電壓(4000小負載阻抗) 最大微粒直徑:100微米 溫度范圍:41-122℉(5-50℃) 電源:±15直流電壓;最大功率13.5瓦 工藝連接:在流速≦50L/m時,采用1/4"壓緊接頭;流速≧60L/m時則用3/8" 壓力范圍:500psig(34.5bar)
材質(zhì):316不銹鋼,416不銹鋼, Viton7 O形圈;Neoprene7或 Kalrez7 O形圈可供選擇.
技術(shù)指標(biāo)
4.1 S48 300/HMT MFC技術(shù)指標(biāo)
表1 S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術(shù)指標(biāo)
編號 | 項目 | S48 300/HMT |
1 | 流量規(guī)格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
2 | 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
3 | 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) | 常閉 |
4 | 安裝角度 | 任意 |
5 | 流量控制范圍 | 2%-100%F.S. |
6 | 流量測量范圍 | 0-100%F.S. |
7 | 響應(yīng)時間 | ≤ 1 sec |
8 | 工作環(huán)境溫度 | 5-50℃ |
9 | 精度保證溫度 | 15-35℃ |
10 | 精度 | ±1.0% S.P.(≥30% F.S.);±0.30% F.S.(<30% F.S.) |
11 | 線性精度 | ±0.5%F.S. |
12 | 重復(fù)性 | ±0.2%F.S. |
13 | 工作壓差 | -5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) |
14 | 耐壓 | 3MPa(G) |
15 | 泄漏率 | <1×10-8Pa·m3/s(He) |
16 | 接觸氣體材料 | 316L,Viton® 氟橡膠,PTFE |
17 | 管路接頭 | Swagelok:Φ6mm,Φ10mm,Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ |
18 | 供電電源 | ±15V(±5%),+15V,150mA;-15V,200mA |
19 | 設(shè)定信號 | 數(shù)字:RS485/RS232 模擬:0 - +5V,輸入阻抗>10kΩ |
20 | 流量輸出信號 | 數(shù)字:RS485/RS232 模擬:0 - +5V,負載能力≤3mA |
21 | 通訊接口 | 數(shù)字RS232/RS485,波特率4800/9600/19200bps, Modbus RTU 協(xié)議從機,設(shè)備號可選范圍0-15 |
22 | 重量(kg) | 0.9 |
S48 300/HMT質(zhì)量流量控制器的特點
☆ S48 300/HMT型質(zhì)量流量控制器是在引進HORIBA STEC技術(shù)基礎(chǔ)上,結(jié)合國內(nèi)需要而研制的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品,采用當(dāng)今先進的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小等特點。
☆ RS232/485串口, Modbus(RTU)開放協(xié)議。協(xié)議簡單可靠,兼容性強,易于組網(wǎng)。配合上位機,可進行各種復(fù)雜的計量、控制操作及組態(tài)。
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小,工作壓力范圍寬。
☆主體采用不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu),氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強。
☆可任意角度安裝。
☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示,使用方便。易于與電氣或自動控制系統(tǒng)配合。
配合MT-50或51系列流量顯示儀,可對氣流的瞬時流量進行精確測量和計量。
序號 | 項目 | 內(nèi)容 | |
DSN—① | DSN—② | ||
1 | 流量范圍 | 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM; 0~1,2,3,5,10 ,20,30SLM; | |
2 | 度(%FS) | ±2%FS | ±1%FS |
3 | 線性(%FS) | ±(0.5~2)%F.S | ±(0.5~1)%FS |
4 | 重復(fù)精度(%FS) | ±0.2%FS | |
5 | 響應(yīng)時間(sec) | 電特性:<10;氣特性:<1~4 | |
6 | 工作壓差范圍(MPa) | 0.05~0.3 | |
7 | 耐壓(MPa) | 3,10 | |
8 | 工作環(huán)境溫度(℃) | 5~45 | |
9 | 輸入輸出信號電壓 | 0~+5.00V | |
10 | 電源 | +15V 500mA,-15V 500mA(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) | |
11 | 外形尺寸(mm) | 130*28*121 | |
12 | 重量約(kg) | 1.0 |
應(yīng)用范圍:分析儀器/表面涂裝處理/半導(dǎo)體制造熱處理/雷射焊接/燃燒室噴嘴/燃料電池/發(fā)酵槽/機械生產(chǎn)制造/氣體生產(chǎn)設(shè)備/氣壓縮設(shè)備/實驗室設(shè)備
Code | Range air | connection | Code | Range air | connection |
A4 | 4-200ml/min | G1/4” | C4 | 0.4-20l/min | G1/4” |
A5 | 10-500ml/min | G1/4” | C5 | 1-50l/min | G1/4” |
B4 | 40-2000ml/min | G1/4” | D3 | 2-100l/min | G1/2” |
B5 | 100-5000ml/min | G1/4” | D4 | 4-200l/min | G1/2” |
1、50毫內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)
準確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度,艾里卡特®質(zhì)量流量控制器50毫內(nèi)即可到達新的設(shè)定值?焖佟⒖芍貜(fù)、穩(wěn)定!
2、操作便捷
? 50-100毫控制響應(yīng)
? 允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得良好的速度和穩(wěn)定性
? 定制化閥門孔徑以滿量程流量的穩(wěn)定性
? 同一臺設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或絕對壓力
? 瞬間啟動、無需預(yù)熱:1內(nèi)即可開始流量控制
三、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列
MC 標(biāo)準系列
全球控制響應(yīng)快、穩(wěn)定的流量控制器。
MCR 大流量系列
準確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為全球無摩擦閥門,可精密控制大流量的氣體流量,特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門。
MCW / MCRW 低壓損系列
限度減小壓損對系統(tǒng)的影響,滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid);艾里卡特®Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力MCS / MCRS 耐腐蝕系列
所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。 點擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列
MCE / MCV 半導(dǎo)體行業(yè)用系列
可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器,可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容,封閉式閥門設(shè)計更是符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥 ,門用于真空應(yīng)用。可定制相應(yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程:0-20 slpm. 點擊這里了解更多關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)用系列
MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列
雙向質(zhì)量流量控制器,可正向或反向控制氣體流量。可定制低壓損系列MCDW系列及防蝕型MCDS系列。 點擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列
四、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)
指標(biāo) | 質(zhì)量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....1500SLPM,2000SLPM,3000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程) |
重復(fù)性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應(yīng)時間 | 100ms |
標(biāo)準狀態(tài)(STP) | 25℃&14.696PSIA (101.325kPa) |
溫度范圍 | -10~50 |
零點漂移 | 0.02% |
量程漂移 | 0.02% |
濕度范圍 | 0-100% |
測量流量范圍 | 128%(過流率) |
大耐壓 | 145psi |
輸出信號(數(shù)字) | 質(zhì)量流量、體積流量、絕對壓力和溫度 |
數(shù)字信號可選 | RS485,Modbus,Profibus |
輸出信號(模擬) | 質(zhì)量流量、體積流量、絕對壓力和溫度 |
模擬信號可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針(根據(jù)不同類型流量計而定) |
供電電壓 | 7-30VDC(4-20mA輸出時為:15-30VDC) |
供電電流 | 0.035A(4-20mA輸出時為:0.055A) |