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氣體質(zhì)量流量控制器

一、產(chǎn)品概述

采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測(cè)量微小、小流量的優(yōu)勢(shì)的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制。

該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測(cè)量精度高，無需要溫度壓力補(bǔ)償。

二技術(shù)參數(shù)（本產(chǎn)品按Q/320500HH009-2014進(jìn)行生產(chǎn)、校驗(yàn)）

2.1 測(cè)量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

2.2 流量范圍： DN3 100-1000mL/min

DN4 250-2500mL/min

DN6 1000-10000mL/min

DN8 1500-15000mL/min

DN10 2500-25000mL/min

注：(a)以上流量的測(cè)量介質(zhì)為空氣而言；

(b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃，101.325kPa。

2.3 流量測(cè)量準(zhǔn)確度：±1.5%FS

2.4 工作溫度范圍：0-55℃；

2.5 工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa``

2.6 供電電源：24VDC±10%；

2.7 輸出信號(hào)：4-20mA，RS485通訊；

2.8 環(huán)境溫度：0-55℃；

2.9 顯示位數(shù)：瞬時(shí)流量為三位，累積流量10位。

該公司產(chǎn)品分類：金屬轉(zhuǎn)子流量計(jì) 磁翻柱液位計(jì) 玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì) 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器型號(hào):BHBL6-S49-300/MT 數(shù) 字式

貨號(hào):

一、產(chǎn)品主要特點(diǎn):本產(chǎn)品可自動(dòng)測(cè)控氣體質(zhì)量流量。不受溫度和壓力的限制，度高、重復(fù)性好標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸入輸出，可測(cè)控瞬間和累計(jì)流量。適用于各種介質(zhì)，可替代同類進(jìn)口產(chǎn)品，除此以外，還具有以下特點(diǎn)： 1、采用當(dāng)今的40MHz高速主頻、32位ARM系列單片機(jī)做數(shù)字處理控制。數(shù)字化處理的測(cè)量線性、精度，及實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)控制等。響應(yīng)速度做到了2秒。 2、12位精度、采樣速率高達(dá)1MSPS的AD/DA轉(zhuǎn)換。 3、RS232/485串口，Modbus協(xié)議，與上位機(jī)通訊簡(jiǎn)單方便。配合上位機(jī)，可進(jìn)行各種復(fù)雜的計(jì)量、控制操作及組態(tài)。 4、結(jié)構(gòu)主體采用不銹鋼（316L）材料，氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。5、耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。6、具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、工作穩(wěn)定。可任意位置安裝。 7、兼容模擬電氣操作控制及顯示，使用方便。易于與電氣或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。二、主要技術(shù)指標(biāo) 表1、硬件性能項(xiàng)目\型號(hào) S49-300/MT S49-300A/MT 1 流量范圍 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM;0~1,2,3,5,10,15,20SLM2 調(diào)節(jié)閥類型電磁調(diào)節(jié)閥 3 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) 常閉（設(shè)定<2% F.S） 4 度 ±1%F.S10SCCM~10SLM規(guī)格，其余規(guī)格≤±2% F.S。精度范圍10%~100% F.S 5 線性 ±0.5~1.5%F.S 6 重復(fù)精度 ±0.2%F.S 7 響應(yīng)時(shí)間 2Sec 8 工作壓差范圍 0.05~0.4MPa; 0.1~0.4MPa10~30SLM 9 耐壓 3MPa; 10MPa 10 工作環(huán)境溫度（℃） 5~45 11 材料不銹鋼316L 12 標(biāo)準(zhǔn)密封材料 Viton®， EPDM，或其他由用戶指定 13 漏率＜2×10-9mbar.l/s He 14 接頭 Φ6mm, Φ1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用戶指定 15 輸入輸出信號(hào) 模擬0~＋5.00V 輸入阻抗≥100KΩ,負(fù)載輸出電流能力≤3mA數(shù)字RS232/RS485串口，Modbus RTU 協(xié)議 16 供電電源 ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） 17 外型尺寸（mm） 123×111×28 18 重量（kg） 0.7

產(chǎn)品圖片

INHA氣體質(zhì)量流量控制器

私人定制該產(chǎn)品為定制產(chǎn)品，中外合作，價(jià)格需電議，廠家直銷仁荷微電子科技有限公司主要從事質(zhì)量流量器的研制、開發(fā)、制造、銷售以及質(zhì)量流量器各種配件模具的設(shè)計(jì)、加工等相關(guān)的服務(wù)。產(chǎn)品包括超高質(zhì)量的氣體質(zhì)量流量控制儀器及測(cè)量?jī)x器、氣體工藝解決方案和全球服務(wù)支持方案。本公司產(chǎn)品氣體質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于工業(yè)氣體、石油、化工、醫(yī)療、電子及微電子、半導(dǎo)體、太陽能光伏、各類實(shí)驗(yàn)室、研究所、生物醫(yī)藥、標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)等各類高新技術(shù)領(lǐng)域，為客戶提供各種氣體管道輸送系統(tǒng)的全面服務(wù)。深受廣大客戶的肯定及認(rèn)同。

我公司生產(chǎn)的氣體質(zhì)量流量控制器所使用的技術(shù)全由我們獨(dú)家技術(shù)，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)品的每一個(gè)部件都有我們自己設(shè)計(jì)制作，且已取得了多項(xiàng)技術(shù)專利申請(qǐng) ,氣體質(zhì)量流量控制器每一個(gè)部件我們都以精益求精的質(zhì)量服務(wù)廣大客戶，讓客戶體驗(yàn)到自動(dòng)化流量控制設(shè)備帶來的改變，為現(xiàn)有的產(chǎn)品技術(shù)升級(jí)提供基礎(chǔ)服務(wù)。致力于為客戶開發(fā)“生產(chǎn)工藝最優(yōu)化和成本化”的解決方案及相關(guān)產(chǎn)品。并且能夠提供高效優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：本公司自主開發(fā)研制的產(chǎn)品質(zhì)量流量計(jì)，是一種先進(jìn)的智能精密質(zhì)量流量測(cè)量?jī)x表�？芍苯佑脕頊y(cè)量管道中介質(zhì)的質(zhì)量流量及總量、體積流量及總量、介質(zhì)的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數(shù)。該流量計(jì)即使在惡劣的工作環(huán)境下也能表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。對(duì)工況條件也沒有苛刻的要求。具有抗干擾能力強(qiáng)，測(cè)量精度高、量程比大、工作穩(wěn)定可靠、對(duì)安裝要求低、對(duì)流體狀態(tài)要求低，壓力損失小等優(yōu)點(diǎn)，且易清洗、具備自排空功能；其基本技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國際先進(jìn)水平，每臺(tái)傳感器都由不銹鋼材料制造，變送器的多種輸出能滿足您的各種需求。我公司生產(chǎn)的產(chǎn)品所使用的技術(shù)全由我們獨(dú)家技術(shù)，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)品的每一個(gè)部件都有我們自己設(shè)計(jì)制作，且已取得了多項(xiàng)技術(shù)專利申請(qǐng)MF系列

MF-50/100/200C MF-100/200MMF產(chǎn)品系列特點(diǎn)：有很寬的工作壓力范圍，產(chǎn)品可以從真空直到10Mpa;本產(chǎn)品可以使用多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體等等）；有很寬的流量范圍，產(chǎn)品最小流量范圍可達(dá)0~10sccm，最大流量范圍可達(dá)0~30slpm。流量控制范圍是滿量程的2~100%（量程比為50:1）。——耐高壓（最大工作壓力可達(dá)100bar）——響應(yīng)時(shí)間快≤1sec——模擬輸入輸出接口（0-5Vdc或4-20mA可選）——連接尺寸與其他標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量器兼容——尺寸小——連接方便，快拆快擰——交貨周期短——優(yōu)惠的價(jià)格極具性價(jià)比——準(zhǔn)確率高——穩(wěn)定的流量控制——壓力范圍廣

用途和特點(diǎn)氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）在石化工業(yè)、生化、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如：氧化、CVD、MOCVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。結(jié)構(gòu)

氣體質(zhì)量流量計(jì)由流量傳感器（Sensor），分流器通道和流量放大電路等部件組成；在氣體質(zhì)量流量計(jì)的基礎(chǔ)上，再加上調(diào)節(jié)閥門和PID控制電路就構(gòu)成了氣體質(zhì)量流量控制器。工作原理•流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量（無需溫度壓力補(bǔ)償）。•將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。•分流器決定主通道的流量。•與之配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)定電源，3位半數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。•控制器輸出的流量栓檢測(cè)電壓與流過通道的質(zhì)量成正比，滿量程（F.S）流量檢測(cè)輸出電+5V。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）%F.S（程比為50：1）

主要技術(shù)指標(biāo)

編號(hào) 項(xiàng)目 MF-200C MF-200M1 流量規(guī)格（N2） 10sccm～30slpm 2 準(zhǔn)確度 ±1％F.S(Full Scale)3 重復(fù)精度 ±0.25％F.S（Full Scale）4 響應(yīng)時(shí)間 ≤2sec（特別要求時(shí)：≤1sec）5 耐壓 ≤90bar6 工作環(huán)境溫度 0℃～50℃7 輸入輸出信號(hào) 0～5V 0～5V or 4～20mA8 供電 +15Vdc or +24Vdc 350mA9 漏率 1×10atm.cc/sec10 使用范圍 2～100％滿量程

該公司產(chǎn)品分類：流量顯示控制儀表 INHA氣體質(zhì)量流量控制器氣體質(zhì)量流量控制器

MPC氣體質(zhì)量流量控制器

品牌:日本山武Yamatake（創(chuàng)立于1906年）型號(hào):MPC系列類型:氣體質(zhì)量流量控制器測(cè)量范圍:2ML—20L/MIN 精度等級(jí):1—2%FS以下適用介質(zhì):空氣/氮?dú)?氧氣/氬氣/CO2模擬信號(hào)：0-5V、1-5V工作壓力:0.5（MPa）工作溫度:-10 到 +60（℃）

盤裝面板式質(zhì)量流量控制器MPC系列是本公司獨(dú)自開發(fā)的超高速響應(yīng)流速傳感器。集MicroFlow傳感器、超小型比例電磁閥、新方式的流路和高度的執(zhí)行器技術(shù)于一體，可安裝在儀表盤上的質(zhì)量流量控制器。特點(diǎn)： 1：全球面板式安裝氣體流量計(jì)；世界最小、最輕的質(zhì)量流量控制器（面板尺寸48*48mm，深73.7MM；最輕300公克） 2：盤式結(jié)構(gòu)，LED數(shù)字顯示，產(chǎn)品面板上有可調(diào)節(jié)各種功能的按鈕，極其容易操作;通訊功能RS-485 3：帶有RS-485通訊，能于其他外部設(shè)備實(shí)現(xiàn)通訊4：采用了感熱式質(zhì)量流量測(cè)量，因此實(shí)現(xiàn)了不受溫度、壓力變動(dòng)影響的精確測(cè)量5：響應(yīng)速度高速1秒以內(nèi)，高精度1—2%FS以下的流量控制

詳細(xì)型號(hào)和資料歡迎來電咨詢柯勇 13122347382郵箱：keyong0519@163.comQQ：717563143

C50熱式氣體質(zhì)量流量控制器氮?dú)饬髁坑?jì)氬氣流量計(jì)

概要

氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡(jiǎn)稱MFC）利用溫差量熱法原理，可對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。用這種方法測(cè)出的氣體流量可以忽略溫度和壓力影響。

本產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用技術(shù)條件和命名方法。

MFC出廠通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。

質(zhì)量流量的單位規(guī)定為：SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分)，SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度－－-273.15 K（0℃），氣壓—-101325 Pa（760mm Hg）

F.S.（Full Scale）：滿量程值

產(chǎn)品特點(diǎn)

本產(chǎn)品具有穩(wěn)定可靠、響應(yīng)時(shí)間短、標(biāo)定精度和重復(fù)精度高等優(yōu)點(diǎn)，安裝方便，無安裝位置和直管段要求，操作簡(jiǎn)單，可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過模擬/數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換器（AD/DA轉(zhuǎn)換器）配合計(jì)算機(jī)使用。

流量規(guī)格(N2標(biāo)定)

0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0～1,2,3,5,10,20,30 SLM

注：滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格，可以在5SCCM～30SLM范圍內(nèi)任選，例如123SCCM。

輸入輸出信號(hào)

0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)

應(yīng)用行業(yè)

化學(xué)工業(yè)、石化工業(yè)、LNG工業(yè)、半導(dǎo)體材料和微電子工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、特種材料研究、環(huán)保和真空行業(yè)等。使用本產(chǎn)品的設(shè)備主要有：真空鍍膜設(shè)備、混氣配氣設(shè)備、光纖熔煉設(shè)備、晶體制備設(shè)備、微電子設(shè)備、微反應(yīng)裝置、氣相色譜儀及其它分析儀器等。

質(zhì)保與服務(wù)

我公司承諾對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)保期為叁年。在您收貨后叁年以內(nèi)，如果按照說明書要求使用，遵守安全注意事項(xiàng)，并且產(chǎn)品沒有被損毀、改裝或翻新，若有任何故障和問題，我公司負(fù)責(zé)免費(fèi)維修或更換新品。

在保修期外，我們提供終身維修和維護(hù)服務(wù)，但適當(dāng)收取維修和維護(hù)的成本費(fèi)。維修和維護(hù)后，維修部分的質(zhì)保期為壹年。

我公司有專業(yè)的售后工程師可以幫助您解決關(guān)于安裝和使用等各方面的問題，并且提供產(chǎn)品的使用培訓(xùn)。

產(chǎn)品規(guī)格

流量規(guī)格(N2標(biāo)定)	0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
流量規(guī)格(N2標(biāo)定)	0～1,2,3,5,10,20,30 SLM
調(diào)節(jié)閥類型	常閉式
量程比	(2～100)％F.S. 或50:1
流量分辨率	0.1％F.S.
準(zhǔn)確度	±1％F.S. (≤15SLM)
準(zhǔn)確度	±2％F.S. (＞15SLM)
線性	±0.5％F.S. (≤15SLM)
線性	±2％F.S. (＞15SLM)
重復(fù)精度	±0.2％F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤2sec
工作壓差范圍	0.1～0.5MPa (≤10SLM)
工作壓差范圍	0.1～0.3MPa (＞10SLM)
最大耐壓	3MPa
工作環(huán)境溫度	5～45℃
電纜接頭	DB15pin(針形)
輸入輸出信號(hào)	0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)
供電電源要求	+15VDC(50mA),-15VDC(200mA)
對(duì)外單點(diǎn)泄漏率	≤1×10-9Pa·m3/S(He)
介質(zhì)接觸材質(zhì)	316，316L，密封填料

管道接頭尺寸	VCR型接頭：1/4”
管道接頭尺寸	雙卡套型接頭：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm
外形尺寸	長×寬×高：127×30×100 mm
凈重量	0.88kg

該公司產(chǎn)品分類：不銹鋼管顯微鏡流量?jī)x表

XF805-JY-2B氣體進(jìn)樣器質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品名稱:氣體進(jìn)樣器質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品型號(hào):XF805-JY-2B氣體進(jìn)樣器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬和樣品恒溫氣化等特點(diǎn)，廣泛用于石油化工等行業(yè)。顯示范圍：LED顯示大流量（FS）: 3000毫升/分鐘準(zhǔn) 確度：±2% 重復(fù) 精度：±2% 響應(yīng) 時(shí) 間：1～4秒工作壓力：3MPa 工作環(huán)境溫度：5℃～45℃ 大漂移：0.08% 氣化溫度：室溫～120℃ 控溫精度：±1.5℃ 電源：220V±20%

該公司產(chǎn)品分類：顯微鏡系列復(fù)合氣體檢測(cè)儀可燃?xì)怏w檢測(cè)儀/探測(cè)儀甲烷檢測(cè)儀有毒氣體檢測(cè)儀酒精測(cè)試儀垃圾場(chǎng)氣體檢測(cè) 空氣質(zhì)量檢測(cè)儀熏蒸氣體檢測(cè)儀氣體檢測(cè)報(bào)警儀氫氣氣體檢測(cè)報(bào) 氧氣檢測(cè)儀測(cè)氡儀干燥箱系列培養(yǎng)箱系列振蕩器系列攪拌器系列水浴鍋系列離心機(jī)系列粉碎機(jī)系列

MFC供應(yīng)美國派克質(zhì)量流量控制器

•流量范圍從0-5 sccm到0-1000slpm（氮?dú)猓?#8226; I/O（輸入&輸出）可選模擬和數(shù)字信號(hào) •設(shè)定點(diǎn)的響應(yīng)時(shí)間不超過1sec

•可實(shí)現(xiàn)本地/遠(yuǎn)程設(shè)置/顯示 •控制精度可達(dá)實(shí)際流量的1%

•熱式測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量準(zhǔn)確,流體溫度上升不超過5°C

•專利控制電路與壓電執(zhí)行控制閥在低流量范圍提供快速、穩(wěn)定的控制

應(yīng)用于流量測(cè)量領(lǐng)域的緊湊型安裝解決方案，減小高達(dá)85%的連接點(diǎn)和泄露點(diǎn)，降低安裝成本，提高安全性，多種材料可選，多種規(guī)格可選，多種連接接口方式可選，防火設(shè)計(jì)可選。

該公司產(chǎn)品分類：塑料金屬

KT-實(shí)驗(yàn)室測(cè)量多種混配器氣體的質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品用途

氣體配比器主要用于氣體流量測(cè)試,并按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營造特定要求的氣氛環(huán)境. 控制方式采用集成化模塊控制功能延伸性強(qiáng) 根據(jù)客戶要求隨意添加

該氣體配比器可以外接3或多種氣體,采用質(zhì)子型流量計(jì),氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng).氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.

1.半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制

2.各種真空鍍膜設(shè)備

3.特種材料表面處理

4.氣體燃燒控制

5.混和配氣系統(tǒng)

6.泄漏探測(cè)系統(tǒng)

7.環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備

8.分析儀器的氣體流量計(jì)量與控制

9.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要?dú)怏w檢測(cè)和控制的場(chǎng)所

技術(shù)資料

產(chǎn)品型號(hào)	KT-C3Z
產(chǎn)品類型	高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制觸摸屏控制
可選量程	20sccm,30sccm,50sccm, 200sccm,500sccm,1slm ,5slm,10slm
產(chǎn)品精度	高精度型±1％F.S 普通型±1％F.S
重復(fù)精度	高精度型±0.2% F.S 普通型±0.2% F.S
線性	高精度型±0.5% F.S. 普通型±1% F.S.
響應(yīng)時(shí)間	高精度型≤2sec 普通型≤4sec
工作溫度范圍	(5~45)°C
供電電源	~85-265VAC 50/60Hz
功耗	40W
進(jìn)氣口壓	≤0.6MPa
連接管道	φ4-6mm316不銹鋼管道
截止閥類型	電磁閥
單向閥開啟壓力	0.02Mpa
壓力顯示量程	0-0.6Mpa
控制方式	7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié)
時(shí)間設(shè)定	0-99999
清洗功能	一鍵清洗
數(shù)據(jù)導(dǎo)出	無
程序控制	5段可編程序(時(shí)間-流量隨意設(shè)定值)
壓力顯示	有（出氣壓力檢測(cè)）
氣體緩沖罐	有
流量累計(jì)	有（累計(jì)當(dāng)前運(yùn)行總流量）
可選進(jìn)出氣口接頭形式	3MM 6MM 1/8mm 1/4mm 雙卡套接頭
抗電磁干擾	無
外形尺寸	460X210X480
重量	18KG

產(chǎn)品用途

氣體配比器主要用于氣體流量測(cè)試,并按比例混合�；旌虾蟮臍怏w通過真空測(cè)試腔體從而傳感器根據(jù)不同比例的氣氛環(huán)境傳出不同的模擬量信號(hào)�？刂品绞讲捎眉苫K控制功能延伸性強(qiáng) 根據(jù)客戶要求隨意添加

該氣體配比器可以外接3或多種氣體,采用質(zhì)子型流量計(jì),氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng).氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.

聯(lián)系電話：手機(jī)/微信：152 8682 QQ:760625767聯(lián)系人：李工

該公司產(chǎn)品分類：傳感器實(shí)驗(yàn)室搭建材料樣品處理實(shí)驗(yàn)室氣體配比器材料樣品檢測(cè) 材料樣品封裝真空探針臺(tái) 分子泵質(zhì)量流量配比器等離子清洗機(jī) 石英管封口機(jī) 真空腔體氣體配比器

M3100氣體質(zhì)量流量控制器M3100

1. 用途及特點(diǎn)

氣體質(zhì)量流量控制器( Mass Flow Controller 簡(jiǎn)稱MFC )能夠在較大的量程

范圍內(nèi)對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。

氣體質(zhì)量流量計(jì)( Mass Flow Meter 簡(jiǎn)稱MFM )能夠在較大的量程范圍內(nèi)

對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。

它們?cè)谑I(yè)、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、環(huán)保和

真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場(chǎng)合包括：電子工藝

設(shè)備，如、氧化、CVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、；以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。

Line-Tech Ltd.于對(duì)產(chǎn)品的性能和生產(chǎn)工藝的不斷改進(jìn)。對(duì)M 系列氣

體質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體質(zhì)量流量計(jì)（MFM）進(jìn)行了的技術(shù)改造，

在功能和性能上有了進(jìn)一步的提高。

M 系列氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)具有精度高、響應(yīng)速度快、重

復(fù)性好、穩(wěn)定性佳、軟啟動(dòng)、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)(可以在高壓或真空條件下

工作)，其操作使用方便，可任意位置安裝調(diào)試，并更好的與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自

動(dòng)控制。

M3100V 和M3100A 型氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）性能指標(biāo)

1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters（公升）

sccm : s = standard cc = cm 的3 次方 m = minute（分鐘）

slpm : s = standard l = liter p = per m = minute（分鐘）

項(xiàng) 目 M31000V 和M3100A

1 流量規(guī)格（N2）: 25slpm ～ 120slpm

（本公司可以為客戶在25slpm ～ 120slpm范圍內(nèi)任何區(qū)域標(biāo)定）

2 度 :±1% F.S （Full Scale）

3 重復(fù)精度 :±0.25 % F.S （Full Scale）

4 響應(yīng)時(shí)間 :≤3sec ( 特別要求：:≤1sec )

5 耐壓 : 95 bar

6 工作環(huán)境溫度 :5 ℃ ~ 65 ℃

7 輸入輸出信號(hào): 0 ~ 5Vdc 4 ~ 20mA

8 電源 :±15Vdc, 350mA

氣路接頭形式

可提供5 種尺寸接管外徑的接頭類型：

a.. 1/8＂ Compress

b. 1/4＂ Compress

c. 3/8＂ Compress

d. 1/4＂ VCR

e. 1/4＂ VCO

13917099687 范先生

CMQ日本山武數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器CMQ

型號(hào) 日本山武（YAMATAKE）日本山武數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器CMQ 數(shù)量大量庫存產(chǎn)品描述 CMQ9200/9500/0002/0005/0020/0050/0050JK/0200JK/0500JK等CMQ系列是高性能型數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器，使用山武公司獨(dú)有的感熱式微流量傳感器和高精度的比例閥，具有響應(yīng)快、精度高、控制范圍寬等特點(diǎn)，能滿足多種工業(yè)控制要求。基本系列 CMQ9200 CMQ9500 CMQ0002 CMQ0005 CMQ0020 CMQ0050 CMQ0050J/K CMQ0200J/K CMQ0500J/K流量范圍 200mL/min 0.500L/min 2.00L/min 5.00L/min 20.0L/min 50.0L/min 50.0L/min 200L/min 500L/min適用氣體氮?dú)�、空氣、氧氣、氬氣、二氧化碳、城市煤�?3A（LNG）、甲烷100%、丙烷100%、丁烷100% 控制范圍 1--100%FS 響應(yīng)速度 0.5秒達(dá)到設(shè)定值±2%FS 1秒達(dá)到設(shè)定值±2%FS 閥門輸出更新周期 10ms 精度 ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS標(biāo)準(zhǔn)差壓 98KPa 9.8KPa 98KPa 9.8KPa 98KPa 196KPa 19.6KPa 196KPa 196KPa操作差壓范圍 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa 0.98--98KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa耐壓 980KPa 設(shè)定方法 1、鍵盤操作 2、外部設(shè)定電壓輸入 3、通訊設(shè)定輸入電壓范圍 0--5VDC / 1--5VDC （通過組態(tài)設(shè)定和外部開關(guān)輸入選擇）輸出電壓范圍 0--5VDC / 1--5VDC （通過組態(tài)設(shè)定和外部開關(guān)輸入選擇）輸出點(diǎn)數(shù) 報(bào)警輸出：1點(diǎn) ；事件輸出：2點(diǎn) 外部開關(guān)輸入外部3位開關(guān)輸入（OPEN/GND/5V）：1點(diǎn) ；外部節(jié)電輸入（2位開關(guān)）：3點(diǎn) 安裝方式水平安裝，顯示部不可向下電源 DC15--24V 消耗電流：300mA max DC24V / 400mA max DC24V/500mA重量約1.2Kg 約3.5Kg

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