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M3100氣體質(zhì)量流量控制器M3100

   1. 用途及特點(diǎn)

氣體質(zhì)量流量控制器( Mass Flow Controller 簡(jiǎn)稱(chēng)MFC )能夠在較大的量程

范圍內(nèi)對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。

氣體質(zhì)量流量計(jì)( Mass Flow Meter 簡(jiǎn)稱(chēng)MFM )能夠在較大的量程范圍內(nèi)

對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。

它們?cè)谑I(yè)、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、環(huán)保和

真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場(chǎng)合包括：電子工藝

設(shè)備，如、氧化、CVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、；以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。

Line-Tech Ltd.于對(duì)產(chǎn)品的性能和生產(chǎn)工藝的不斷改進(jìn)。對(duì)M 系列氣

體質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體質(zhì)量流量計(jì)（MFM）進(jìn)行了的技術(shù)改造，

在功能和性能上有了進(jìn)一步的提高。

M 系列氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)具有精度高、響應(yīng)速度快、重

復(fù)性好、穩(wěn)定性佳、軟啟動(dòng)、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)(可以在高壓或真空條件下

工作)，其操作使用方便，可任意位置安裝調(diào)試，并更好的與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自

動(dòng)控制。

M3100V 和M3100A 型 氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）性能指標(biāo)

1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters（公升）

sccm : s = standard cc = cm 的3 次方 m = minute（分鐘）

slpm : s = standard l = liter p = per m = minute（分鐘）

項(xiàng) 目 M31000V 和M3100A

1 流量規(guī)格（N2）: 25slpm ～ 120slpm

（本公司可以為客戶在25slpm ～ 120slpm范圍內(nèi)任何區(qū)域標(biāo)定）

2 度 :±1% F.S （Full Scale）

3 重復(fù)精度 :±0.25 % F.S （Full Scale）

4 響應(yīng)時(shí)間 :≤3sec ( 特別要求：:≤1sec )

5 耐壓 : 95 bar

6 工作環(huán)境溫度 :5 ℃ ~ 65 ℃

7 輸入輸出信號(hào): 0 ~ 5Vdc   4 ~ 20mA

8 電源 :±15Vdc, 350mA

 

氣路接頭形式

可提供5 種尺寸接管外徑的接頭類(lèi)型：

a.. 1/8＂ Compress

b. 1/4＂ Compress

c. 3/8＂ Compress

d. 1/4＂ VCR

e. 1/4＂ VCO

13917099687  范先生

CMQ日本山武數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器CMQ

型號(hào) 日本山武（YAMATAKE） 日本山武數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器CMQ        數(shù)量 大量庫(kù)存        產(chǎn)品描述 CMQ9200/9500/0002/0005/0020/0050/0050JK/0200JK/0500JK等CMQ系列是高性能型數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器，使用山武公司獨(dú)有的感熱式微流量傳感器和高精度的比例閥，具有響應(yīng)快、精度高、控制范圍寬等特點(diǎn)，能滿足多種工業(yè)控制要求。        基本系列 CMQ9200 CMQ9500 CMQ0002 CMQ0005 CMQ0020 CMQ0050 CMQ0050J/K CMQ0200J/K CMQ0500J/K流量范圍 200mL/min 0.500L/min 2.00L/min 5.00L/min 20.0L/min 50.0L/min 50.0L/min 200L/min 500L/min適用氣體 氮?dú)、空氣、氧氣、氬氣、二氧化碳、城市煤?3A（LNG）、甲烷100%、丙烷100%、丁烷100%                                       控制范圍 1--100%FS                                                                                                              響應(yīng)速度 0.5秒達(dá)到設(shè)定值±2%FS                                                          1秒達(dá)到設(shè)定值±2%FS                     閥門(mén)輸出更新周期 10ms                                                                                                                  精度 ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS標(biāo)準(zhǔn)差壓 98KPa 9.8KPa 98KPa 9.8KPa 98KPa 196KPa 19.6KPa 196KPa 196KPa操作差壓范圍 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa 0.98--98KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa耐壓 980KPa                                                                                                                 設(shè)定方法 1、鍵盤(pán)操作  2、外部設(shè)定電壓輸入  3、通訊                                                                                  設(shè)定輸入電壓范圍 0--5VDC / 1--5VDC （通過(guò)組態(tài)設(shè)定和外部開(kāi)關(guān)輸入選擇）                                                                   輸出電壓范圍 0--5VDC / 1--5VDC （通過(guò)組態(tài)設(shè)定和外部開(kāi)關(guān)輸入選擇）                                                                         輸出點(diǎn)數(shù) 報(bào)警輸出：1點(diǎn) ； 事件輸出：2點(diǎn)                                                                                         外部開(kāi)關(guān)輸入 外部3位開(kāi)關(guān)輸入（OPEN/GND/5V）：1點(diǎn) ；外部節(jié)電輸入（2位開(kāi)關(guān)）：3點(diǎn)                                                       安裝方式 水平安裝，顯示部不可向下                                                                                                 電源 DC15--24V  消耗電流：300mA  max                                                DC24V / 400mA max    DC24V/500mA重量 約1.2Kg                                                                      約3.5Kg                        

D500/D600氣體質(zhì)量流量控制器MFC

上海洪柯自動(dòng)化儀表公司推出的D500/D600氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller）/氣體質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Metre)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空、太陽(yáng)能、分析儀器、光電、制氣、醫(yī)療、電力、化工等各個(gè)領(lǐng)域。產(chǎn)品具有精度高、重復(fù)性好、穩(wěn)定性高、性價(jià)比高、工作壓力范圍寬、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。

流量規(guī)格（N2）：

(0~5、10、20、30、50、100、200、300、500)SCCM；(0~1、2、3、5、10、20、30、50、100)SLM

準(zhǔn)確度：

±1%F.S.

線性：

±0.5%F.S.

重復(fù)精度：

±0.2%F.S.

響應(yīng)時(shí)間：

≤1Sec

工作壓差范圍：

(0.05~0.3)MPa

最大耐壓：

10MPa

工作環(huán)境溫度：

5~65℃

電氣連接：

8 Pin（Mini S Plug）

輸入/輸出信號(hào)

Digital：RS232/RS485；

Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA

電源：

7~16VDC 1A；或24VDC500mA

標(biāo)準(zhǔn)接頭：

Swagelokφ3,φ6,φ10…；Swagelok 1/8″,1/4″…；

VCRφ3,φ6…；VCR 1/8″,1/4″…

外形尺寸

130*28*121mm

重量約

1.0kg

 

 
該公司產(chǎn)品分類(lèi)： 智能橢圓齒輪流量計(jì) 楔形流量計(jì) 科氏力質(zhì)量流量計(jì) 智能電磁流量計(jì) 液壓油專(zhuān)用渦輪流量計(jì) 智能渦輪流量計(jì) 液體超聲波流量計(jì) 特殊玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì) 金屬管浮子流量計(jì) 一體化孔板流量計(jì) 智能渦街流量計(jì) 智能旋進(jìn)漩渦流量計(jì) 便攜式氣體容積式流量計(jì) 電子皂膜流量計(jì) 便攜式氣體質(zhì)量流量計(jì) 低壓氣體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì) oval橢圓齒輪流量計(jì) 氣體超聲波流量計(jì)

ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器

 

產(chǎn)品特點(diǎn)：1.          滿量程從0.5(s)ccm到1500(s)lpm2.          響應(yīng)時(shí)間10ms3.          量程比優(yōu)于100：14.          精度±0.8％讀數(shù)±0.2％fs（可選±0.4％讀   讀數(shù)±0.2％fs）5.          lcd大屏幕，動(dòng)態(tài)數(shù)字同時(shí)顯示質(zhì)量流量、 量、體積流量、溫度和絕壓6.          rs-232或模擬信號(hào)輸出7.          安裝位置不敏感8.    現(xiàn)場(chǎng)可選30種校驗(yàn)氣體 

差壓原理與熱式原理對(duì)照表

alicat差壓原理和熱式原理的對(duì)照表

指 標(biāo)alicat層流差壓式原理典型熱式原理
傳感器固態(tài)硅基差壓傳感器rtd或熱電偶
流量范圍滿量程從0.5sccm到1500slpm 滿量程從3sccm到1000slpm
響應(yīng)時(shí)間10毫秒(控制器100 毫秒) 0.3-3.0秒
顯示屏 標(biāo)準(zhǔn)，內(nèi)置可選項(xiàng)，外部裝配
預(yù)熱時(shí)間＜1秒 8-30分鐘
累計(jì)流量可選項(xiàng)，內(nèi)置 可選項(xiàng)，外部裝配
過(guò)程數(shù)據(jù)內(nèi)置顯示屏顯示質(zhì)量流量、體積流量、在線溫度和在線絕對(duì)壓力質(zhì)量流量
輸出選項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)置顯示屏，模擬信號(hào)（0-5vdc,0-10vdc,1-5vdc或4-20ma）和標(biāo)準(zhǔn)rs232接口； 可采用第二路模擬輸出體積流量、溫度或絕對(duì)壓力 標(biāo)準(zhǔn)模擬輸出，可選顯示屏，可選數(shù)字輸出
數(shù)字輸出標(biāo)準(zhǔn)輸出包括質(zhì)量流量、體積流量、在線溫度、在線絕對(duì)壓力、測(cè)量氣體；可選累計(jì)流量；標(biāo)準(zhǔn)multi-dr-op rs232接口可選質(zhì)量流量數(shù)字輸出；無(wú)multi-dr-op選項(xiàng)
供應(yīng)電源7-30vdc,35ma的標(biāo)準(zhǔn)ac/dc轉(zhuǎn)換電源； 可使用一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的9v電池包供電 特殊供應(yīng)電源，正和負(fù)的穩(wěn)定15vdc
過(guò)程連接標(biāo)準(zhǔn)的npt或小巧的氣動(dòng)配件，可選sae,bspp等接頭 特制swagelok?、vcr等
多種氣體測(cè)量性 可從內(nèi)置菜單選擇30種標(biāo)準(zhǔn)氣體 單一氣體，需指定
固有線性有無(wú)
文件 內(nèi)置顯示屏顯示型號(hào)數(shù)、連續(xù)號(hào)數(shù)、制造日期、校驗(yàn)技術(shù)員和軟件版本、型號(hào)/連續(xù)號(hào)，簽條也同樣為標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品的貼紙上

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

alicat氣體質(zhì)量流量計(jì)利用兩個(gè)已研究透徹的氣體物理屬性：壓力和粘性來(lái)測(cè)量流量。通過(guò)層狀流量單元的差壓測(cè)量來(lái)計(jì)算流量，這種測(cè)量方式具有固有的線性。采用差壓、絕壓和溫度傳感器來(lái)測(cè)量并補(bǔ)償氣體的壓力、溫度，測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)（如1個(gè)大氣壓@25℃）下氣體的體積流量？蓽y(cè)量4種參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和絕壓，可選累計(jì)流量，并且可以通過(guò)動(dòng)態(tài)顯示屏同時(shí)顯示？蛇x電池使得該款產(chǎn)品方便攜帶，常用于測(cè)試和校準(zhǔn)工具。另外提供用戶定制滿足您特殊需求。    alicat氣體體積流量計(jì)采用差壓傳感器來(lái)測(cè)量當(dāng)前狀態(tài)下的體積流量。由于它沒(méi)有內(nèi)置絕壓和溫度傳感器，價(jià)格會(huì)便宜一些，是相對(duì)于質(zhì)量流量計(jì)的另一種選擇。本地顯示：    alicat所有產(chǎn)品均提供本地顯示標(biāo)準(zhǔn)功能（無(wú)顯示產(chǎn)品可以用于oem）。質(zhì)量流量控制器和體積流量控制器在主顯示上均提供了不同的過(guò)程參數(shù)信息，用戶通過(guò)按鍵可以選擇主顯示方式（main mode display）和所測(cè)的氣體(30種校驗(yàn)氣體)，調(diào)節(jié)pid參數(shù)，將測(cè)量流量清零等。

 
 

 

  數(shù)字輸出（rs-232）：    所有的alicat產(chǎn)品均具有標(biāo)準(zhǔn)的rs-232輸出。其信號(hào)通過(guò)8針圓形接頭或6針工業(yè)連接頭傳輸。使用alicat的rs-232輸出或輸入通訊串口無(wú)需特別軟件。任何帶有終端程序的設(shè)備，例如windows®操作系統(tǒng)里的“超級(jí)終端”，均可以使用我們的alicat產(chǎn)品。rs-232可以實(shí)現(xiàn)本地顯示上的所有操作功能，例如：清零、更換校驗(yàn)氣體、改變pid等。     對(duì)于質(zhì)量流量控制器，通過(guò)rs-232所顯示的過(guò)程參數(shù)同其本地顯示上數(shù)據(jù)是一致的？刂乒δ芤才c每個(gè)型號(hào)的本地顯示控制模式一致（如右圖所示）。體積流量控制器的控制功能 (loop)只定位在“體積流量(volume)”上。 所有的產(chǎn)品均可以根據(jù)用戶的選擇配置為流動(dòng)模式或輪循模式。模擬輸出：    模擬信號(hào)通訊同樣是由rs-232接口的8針圓形接頭來(lái)提供。默認(rèn)的模擬信號(hào)是0-5vdc，可選0-10vdc或4-20ma的輸出信號(hào)。alicat質(zhì)量流量控制器提供0-5vdc輸出“質(zhì)量流量”，同時(shí)提供一個(gè)模擬控制設(shè)定點(diǎn)的針腳。質(zhì)量流量控制器通過(guò)“se-lect”（出現(xiàn)在本地控制設(shè)定模式中，如右上圖所示）來(lái)控制設(shè)定點(diǎn)方式？蛇x第二路單獨(dú)模擬輸出“壓力”、“溫度”或“體積流量”。alicat體積流量控制器提供0-5vdc輸出“體積流量”，同時(shí)提供一個(gè)模擬控制設(shè)定點(diǎn)的針腳。體積流量控制器通過(guò)“se-lect”（出現(xiàn)在本地控制設(shè)定模式中，參考右上圖）來(lái)控制設(shè)定點(diǎn)方式。應(yīng)用領(lǐng)域:      醫(yī)藥、工業(yè)、過(guò)程控制、實(shí)驗(yàn)室、oem、替換熱式質(zhì)量流量計(jì)、泄漏測(cè)試選項(xiàng)附件：1. 電氣電纜 2. ac/dc 電源適配器 3. 特殊混合氣體 4. 遠(yuǎn)程數(shù)字顯示（rdd） 5. 用戶化壓降設(shè)置 6. 電池包（使測(cè)試儀器便攜） 7. 多種獨(dú)立的輸出
該公司產(chǎn)品分類(lèi)： 壓力 真空儀表

氣體質(zhì)量流量控制器、杜瓦瓶、氣瓶柜、通風(fēng)柜、實(shí)驗(yàn)臺(tái) 西安

陜西歐迅機(jī)電科技有限公司是集科研、生產(chǎn)、貿(mào)易為一體的高新技術(shù)企業(yè)專(zhuān)業(yè)從事大宗氣體管路輸送及相關(guān)產(chǎn)品銷(xiāo)售，業(yè)務(wù)包括管道工程咨詢、設(shè)計(jì)、產(chǎn)品選型及施工安裝為一體的交鑰匙服務(wù)。公司配備GF+切管機(jī)、全自動(dòng)軌道式管管焊機(jī)、平口/坡口機(jī)、不銹鋼彎管機(jī)、去毛刺機(jī)等一大批高質(zhì)量、高精密的進(jìn)口管道施工設(shè)備，全自動(dòng)軌道式管管焊機(jī)適用于焊接3mm-76mm外徑的不銹鋼薄壁管，管管自熔自動(dòng)焊機(jī)采用全位置鎢極氬弧焊單面焊雙面成型的焊接方法，即管子固定，而焊炬（焊機(jī)）沿著管子均勻旋轉(zhuǎn)一周的焊接方法，極大的提高了焊接的安全可靠性。相關(guān)員工憑借10年來(lái)的行業(yè)積淀和定期的專(zhuān)業(yè)培訓(xùn)，具有了豐富的實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)，期待著為您提供專(zhuān)業(yè)、及時(shí)、優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。我們可提供服務(wù)的行業(yè)包括高純分析測(cè)試實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、生物、制藥、食品、乳品、酒廠、煙草、航空航天、壓力容器、核電、造船等等。  我公司提供高溫真空管式爐、高溫氣氛式爐、馬弗爐；掃描電鏡；磁控濺射鍍膜；超音速噴涂設(shè)備、等離子噴涂設(shè)備；真空擴(kuò)散；納微涂層；3D打印設(shè)備；焊燃料電池；X射線能譜儀等大型儀器的集中供氣配氣系統(tǒng)，至目前已為各科研機(jī)構(gòu)配套多個(gè)項(xiàng)目，經(jīng)驗(yàn)豐富。  我司經(jīng)銷(xiāo)的產(chǎn)品有：鋼瓶固定架、不銹鋼減壓器、黃銅減壓器、不銹鋼氣體匯流排、黃銅匯流排、不銹鋼自動(dòng)切換面板裝置、不銹鋼背壓閥、BA級(jí)不銹鋼管內(nèi)外拋光管、EP級(jí)不銹鋼內(nèi)外拋光管、不銹鋼卡套式三通、不銹鋼卡套直通接頭、焊接三通、焊接變徑、氣體質(zhì)量流量控制器、杜瓦瓶、氣瓶柜、通風(fēng)柜、實(shí)驗(yàn)臺(tái)等。

陜西歐迅機(jī)電科技有限公司是集科研、生產(chǎn)、貿(mào)易為一體的高新技術(shù)企業(yè)專(zhuān)業(yè)從事大宗氣體管路輸送及相關(guān)產(chǎn)品銷(xiāo)售，業(yè)務(wù)包括管道工程咨詢、設(shè)計(jì)、產(chǎn)品選型及施工安裝為一體的交鑰匙服務(wù)。公司配備GF+切管機(jī)、全自動(dòng)軌道式管管焊機(jī)、平口/坡口機(jī)、不銹鋼彎管機(jī)、去毛刺機(jī)等一大批高質(zhì)量、高精密的進(jìn)口管道施工設(shè)備，全自動(dòng)軌道式管管焊機(jī)適用于焊接3mm-76mm外徑的不銹鋼薄壁管，管管自熔自動(dòng)焊機(jī)采用全位置鎢極氬弧焊單面焊雙面成型的焊接方法，即管子固定，而焊炬（焊機(jī)）沿著管子均勻旋轉(zhuǎn)一周的焊接方法，極大的提高了焊接的安全可靠性。相關(guān)員工憑借10年來(lái)的行業(yè)積淀和定期的專(zhuān)業(yè)培訓(xùn)，具有了豐富的實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)，期待著為您提供專(zhuān)業(yè)、及時(shí)、優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。我們可提供服務(wù)的行業(yè)包括高純分析測(cè)試實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、生物、制藥、食品、乳品、酒廠、煙草、航空航天、壓力容器、核電、造船等等。  我公司提供高溫真空管式爐、高溫氣氛式爐、馬弗爐；掃描電鏡；磁控濺射鍍膜；超音速噴涂設(shè)備、等離子噴涂設(shè)備；真空擴(kuò)散；納微涂層；3D打印設(shè)備；焊燃料電池；X射線能譜儀等大型儀器的集中供氣配氣系統(tǒng)，至目前已為各科研機(jī)構(gòu)配套多個(gè)項(xiàng)目，經(jīng)驗(yàn)豐富。  我司經(jīng)銷(xiāo)的產(chǎn)品有：鋼瓶固定架、不銹鋼減壓器、黃銅減壓器、不銹鋼氣體匯流排、黃銅匯流排、不銹鋼自動(dòng)切換面板裝置、不銹鋼背壓閥、BA級(jí)不銹鋼管內(nèi)外拋光管、EP級(jí)不銹鋼內(nèi)外拋光管、不銹鋼卡套式三通、不銹鋼卡套直通接頭、焊接三通、焊接變徑、氣體質(zhì)量流量控制器、杜瓦瓶、氣瓶柜、通風(fēng)柜、實(shí)驗(yàn)臺(tái)等。

該公司產(chǎn)品分類(lèi)： 五金

S48 300/HMT北京流量計(jì)廠家，氣體流量計(jì)價(jià)格，質(zhì)量流量計(jì)型號(hào)，氣體質(zhì)量流量控制器

 技術(shù)指標(biāo)

4.1 S48 300/HMT MFC技術(shù)指標(biāo)

表1 S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術(shù)指標(biāo)

編號(hào)

項(xiàng)目

S48 300/HMT

1

流量規(guī)格

（10,20,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10,20,30,50）L/min

2

調(diào)節(jié)閥類(lèi)型

電磁調(diào)節(jié)閥

3

調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)

常閉

4

安裝角度

任意

5

流量控制范圍

2%-100%F.S.

6

流量測(cè)量范圍

0-100%F.S.

7

響應(yīng)時(shí)間

≤ 1 sec

8

工作環(huán)境溫度

5-50℃

9

精度保證溫度

15-35℃

10

精度

±1.0% S.P.（≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.）

11

線性精度

±0.5%F.S.

12

重復(fù)性

±0.2%F.S.

13

工作壓差

-5L/min （50-300）kPa（D）                         10L/min-30L/min （100-300）kPa（D）                50L/min （150-300）kPa（D）

14

耐壓

3MPa（G）

15

泄漏率

＜1×10-8Pa·m3/s（He）

16

接觸氣體材料

316L，Viton® 氟橡膠，PTFE

17

管路接頭

Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″

18

供電電源

±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA

19

設(shè)定信號(hào)

數(shù)字：RS485/RS232

模擬：0 - +5V，輸入阻抗＞10kΩ

20

流量輸出信號(hào)

數(shù)字：RS485/RS232

模擬：0 - +5V，負(fù)載能力≤3mA

21

通訊接口

數(shù)字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps，

Modbus RTU 協(xié)議從機(jī)，設(shè)備號(hào)可選范圍0-15

22

重量（kg）

0.9

S48 300/HMT質(zhì)量流量控制器的特點(diǎn)

　　　☆ S48 300/HMT型質(zhì)量流量控制器是在引進(jìn)HORIBA STEC技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合國(guó)內(nèi)需要而研制的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，采用當(dāng)今先進(jìn)的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過(guò)沖小等特點(diǎn)。

　　　☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）開(kāi)放協(xié)議。協(xié)議簡(jiǎn)單可靠，兼容性強(qiáng)，易于組網(wǎng)。配合上位機(jī)，可進(jìn)行各種復(fù)雜的計(jì)量、控制操作及組態(tài)。

　　　☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。 

　　　☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。

　　　☆可任意角度安裝。

　　　☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示，使用方便。易于與電氣或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。

配合MT-50或51系列流量顯示儀，可對(duì)氣流的瞬時(shí)流量進(jìn)行精確測(cè)量和計(jì)量。

該公司產(chǎn)品分類(lèi)： 氣體流量計(jì) 顯示儀 電磁閥 流量計(jì)/流量計(jì)控制器

DSN系列國(guó)產(chǎn)熱式氣體質(zhì)量流量控制器

用途和特點(diǎn)
    氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller ）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和
控制。它在多個(gè)領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要而廣泛的應(yīng)用。
    東莞德欣于對(duì)產(chǎn)品性能和生產(chǎn)工藝的不斷改進(jìn)，DSN質(zhì)量流量控制器具有精度高、重
復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定、工作壓力范圍寬等（可以使用在高壓及真空系統(tǒng)）
特點(diǎn)。操作使用方便，可任意位置安裝，配合DSN2000流量顯示儀或其他流量控制器顯示儀
使用，也可直接同計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)RS-232 連接，非常方便的實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。它也可以作為氣體質(zhì)
量流量計(jì)使用。配合DSN2000流量顯示儀對(duì)氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行精確測(cè)量和控制。
主要技術(shù)指標(biāo):
型號(hào)DSN
 
序號(hào)
項(xiàng)目
內(nèi)容
DSN—①
DSN—②
１
流量范圍
0～5，10，20，30，50，100，200，300，500 SCCM；
0～1，2，3，5，10 ,20,30SLM;
2
度（%FS）
±2%FS
±1%FS
3
線性(%FS)
±(0.5～2)%F.S
±(0.5～1)%FS
4
重復(fù)精度(%FS)
±0.2%FS
5
響應(yīng)時(shí)間(sec)
電特性：＜10；氣特性：＜1～4
6
工作壓差范圍（MPa）
0.05～0.3
7
耐壓（MPa）
3，10
8
工作環(huán)境溫度（℃）
5～45
9
輸入輸出信號(hào)電壓
0～+5.00V
10
電源
+15V 500mA，－15V 500mA（輸入阻抗大于100K，
輸出電流不大于3mA）
11
外形尺寸（mm）
130＊28＊121
12
重量約（kg）
1.0
 

Compact氣體質(zhì)量流量控制器熱質(zhì)式

應(yīng)用范圍：分析儀器/表面涂裝處理/半導(dǎo)體制造熱處理/雷射焊接/燃燒室噴嘴/燃料電池/發(fā)酵槽/機(jī)械生產(chǎn)制造/氣體生產(chǎn)設(shè)備/氣壓縮設(shè)備/實(shí)驗(yàn)室設(shè)備

技術(shù)指標(biāo)：
顯示方式：4-Digital LCD 液晶顯示；長(zhǎng)條圖形顯示
顯示單位：可測(cè)氣體,空氣,氧氣,氮?dú)?氦氣,氬氣,二氧化碳,甲烷,丙烷,麻醉性氣體笑氣,六氟化硫,丙烯,一氧化碳,丁烯…..等
度：+/-1% FS
滿刻度重設(shè)比例：1：50
反應(yīng)時(shí)間：500ms 精度優(yōu)于 99%
電源供應(yīng)：鋰電池Type AA,電池壽命約2 年 選配：外接VDC24V,+/-10%
操作壓力：10bar high on request
操作溫度：0 - 50℃
材質(zhì)：鋁合金材質(zhì)選配：不繡鋼拋光材質(zhì)/Flow element PBT 工程塑料
軸封材質(zhì)：Viton 選配：EPDM
IP 等級(jí)：IP50 / Panel mount IP65
符合德國(guó)EMC 安全規(guī)范：EN50081,EN50082
測(cè)量范圍：
Code
Range air
connection
Code
Range air
connection
A4
 4-200ml/min
G1/4”
C4
0.4-20l/min
G1/4”
A5
 10-500ml/min
G1/4”
C5
 1-50l/min
G1/4”
B4
 40-2000ml/min
G1/4”
D3
 2-100l/min
G1/2”
B5
100-5000ml/min
G1/4”
D4
 4-200l/min
G1/2”

 

MCALICAT氣體質(zhì)量流量控制器

一、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器測(cè)量原理圖 二、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)

1、50毫內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)

準(zhǔn)確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度，艾里卡特®質(zhì)量流量控制器50毫內(nèi)即可到達(dá)新的設(shè)定值？焖、可重復(fù)、穩(wěn)定！

2、操作便捷

?     50-100毫控制響應(yīng)

?     允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得良好的速度和穩(wěn)定性

?     定制化閥門(mén)孔徑以滿量程流量的穩(wěn)定性

?     同一臺(tái)設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或絕對(duì)壓力

?     瞬間啟動(dòng)、無(wú)需預(yù)熱：1內(nèi)即可開(kāi)始流量控制

三、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列

MC 標(biāo)準(zhǔn)系列

全球控制響應(yīng)快、穩(wěn)定的流量控制器。

MCR 大流量系列

準(zhǔn)確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門(mén)為全球無(wú)摩擦閥門(mén)，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門(mén)。

MCW / MCRW 低壓損系列

限度減小壓損對(duì)系統(tǒng)的影響，滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特®Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導(dǎo)體行業(yè)用系列

可快速、簡(jiǎn)易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容，封閉式閥門(mén)設(shè)計(jì)更是符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MCV系列另增加了后置的氣動(dòng)截至閥 ，門(mén)用于真空應(yīng)用？啥ㄖ葡鄳(yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程：0-20 slpm. 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)用系列

MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

雙向質(zhì)量流量控制器，可正向或反向控制氣體流量？啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防蝕型MCDS系列。  點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

四、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)

指標(biāo)

質(zhì)量流量控制器

量程

0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM

精度

±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）

重復(fù)性

±0.2%

量程比

200:1

響應(yīng)時(shí)間

100ms

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)

25℃&14.696PSIA （101.325kPa）

溫度范圍

-10～50

零點(diǎn)漂移

0.02％

量程漂移

0.02％

濕度范圍

0-100%

測(cè)量流量范圍

128％（過(guò)流率）

大耐壓

145psi

輸出信號(hào)（數(shù)字）

質(zhì)量流量、體積流量、絕對(duì)壓力和溫度

數(shù)字信號(hào)可選

RS485，Modbus，Profibus

輸出信號(hào)（模擬）

質(zhì)量流量、體積流量、絕對(duì)壓力和溫度

模擬信號(hào)可選

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA

電氣連接

8針/9針/15針（根據(jù)不同類(lèi)型流量計(jì)而定）

供電電壓

7-30VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC）

供電電流

0.035A（4-20mA輸出時(shí)為：0.055A）
該公司產(chǎn)品分類(lèi)： 溫度儀表 ALICAT液體流量計(jì) 渦輪流量計(jì) 電磁流量計(jì) 液體質(zhì)量流量控制器 液體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量控制器 氣體質(zhì)量流量計(jì) 管閥件 分析測(cè)試儀表 壓力儀表 流量?jī)x表

MC型氣體質(zhì)量流量控制器

一、產(chǎn)品概述：
 
      該層狀流量控制器采用了一個(gè)比例閥，它與流量計(jì)部分相連。測(cè)量是在流量計(jì)的層狀區(qū)域進(jìn)行的，并且一體化的PID控制器按照用戶的可編程設(shè)定點(diǎn)定位閥門(mén)。這些堅(jiān)固的、閉環(huán)控制器可以接收0-5V的控制設(shè)置點(diǎn)信號(hào)，設(shè)置點(diǎn)信號(hào)或者來(lái)自一臺(tái)外部的設(shè)備，或者來(lái)自一臺(tái)可選的Alicat本地設(shè)定點(diǎn)模塊（LSPM）。
      控制器還能接受RS-232，0-10Vdc，或4-20mA控制輸入信號(hào)，這取決于用戶的選擇愛(ài)好。與設(shè)定點(diǎn)電壓無(wú)關(guān)的是，控制器能配置為單路或雙路信號(hào)輸出，它們可以是同樣的或不同的電壓或參數(shù)，例如質(zhì)量流量和溫度或流量和壓力。這是因?yàn)槲覀兊馁|(zhì)量流量控制器綜合了固態(tài)的差壓、絕壓和溫度傳感器來(lái)計(jì)算流量。因此，流量計(jì)不僅使用簡(jiǎn)單而且響應(yīng)快，同時(shí)具有固有的線性和能夠顯示和變送多個(gè)過(guò)程參數(shù)。有了RS-232數(shù)字連接，不僅所有的過(guò)程參數(shù)可以同時(shí)獲得而且還具有遠(yuǎn)程設(shè)置點(diǎn)能力。
 
     在并行連接中，最多26臺(tái)設(shè)備能被單獨(dú)尋址和控制。氣體量程從每分鐘0.5毫升滿量程到每分鐘1500+升滿量程。規(guī)格尺寸標(biāo)注在設(shè)備背面，規(guī)格尺寸隨著工況的不同可能有所不同。（體積流量計(jì)不需要絕壓傳感器或離散溫度傳感器，因此會(huì)便宜些。他們常用于通風(fēng)到大氣或小的背壓應(yīng)用。）
 
二、流量控制器的性 1. 壓力，溫度，體積和質(zhì)量流量的持續(xù)顯示（M系列） 2. 簡(jiǎn)易的按鍵操作界面 3. 無(wú)熱線圈的熱漂移 4. 固有的線性 5. 通過(guò)CE認(rèn)證 6. 可標(biāo)注用戶商標(biāo) 7. NIST Traceability 8. 設(shè)定點(diǎn)可通過(guò)動(dòng)態(tài)數(shù)字顯示 9. RS232串行輸出標(biāo)準(zhǔn)
 
三、設(shè)計(jì)特點(diǎn) 1. 滿量程從0.5CCM到1500LPM+ 2. 響應(yīng)時(shí)間100ms 3. 量程比優(yōu)于100：1 4. 位置不敏感 5. 自動(dòng)復(fù)位或在顯示屏上按復(fù)位鍵（Tare）復(fù)位 6. ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（高精度選項(xiàng)±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程） 7. 17種氣體選擇，無(wú)須重新校驗(yàn)（須帶顯示） 8. 動(dòng)態(tài)數(shù)字顯示 9. 本地控制能力 

產(chǎn)品規(guī)格
MC
測(cè)量單位
量程范圍
0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500，800
(S)CCM
1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，1500
(S)LPM
精度等級(jí)
±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（高精度選項(xiàng)±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）
滿量程
重復(fù)性
±0.5%
滿量程
量程比
100：1
 
響應(yīng)時(shí)間
100
毫秒
壓降
-
與廠家商議
操作溫度
-10～50
℃
零點(diǎn)漂移
0.02%/ATM
滿量程/℃
范圍漂移
0.02%/ATM
滿量程/℃
濕度量程
0-100%
無(wú)冷凝
過(guò)流率
2.4%
滿量程
最大耐壓
125
PSIG
供應(yīng)電流
當(dāng)流量≤20LPM時(shí)： 0.25 當(dāng)流量≥50LPM時(shí)： 1
安培
電源電壓
當(dāng)流量≤20LPM時(shí)：12-25VDC 當(dāng)流量≥50LPM時(shí)：24-30VDC
 
輸入/輸出
0-5VDC，0-10VDC，4-20mA,RS-232
VDC
電氣連接
8針或可選的工業(yè)連接插頭
小型圓插頭 DIN
機(jī)械連接
1/8"接口：流量≤20(S)LPM 閥門(mén)側(cè)1/2"接口，流量計(jì)側(cè)1/4"接口：當(dāng)流量為50(S)LPM和100(S)LPM時(shí) 1/2"接口：當(dāng)流量為250～1000(S)LPM 1"接口：當(dāng)流量＞1000(S)LPM
NPTF
接液部件
303和302不銹鋼，Viton®，RTV硅樹(shù)脂，玻璃纖維增強(qiáng)尼龍，陽(yáng)極氧化鋁，410&304不銹鋼，鎳，銅，Delrin®，Loctite®粘劑326，401，609

產(chǎn)品尺寸：

流量范圍
高度
長(zhǎng)度
深度
流量計(jì)接口
閥門(mén)接口
≤20（S）LPM
4.08"
3.5"
1.56"
1/8" NPT(F)
1/8" NPT(F)
20～50（S）LPM
4.600"
～5.7"
2.0"
1/4" NPT(F)
1/2" NPT(F)
50～100（S）LPM
4.727"
～6.6"
2.0"
1/4" NPT(F)
1/2" NPT(F)
100～1000（S）LPM
5.242"
～6.6"
2.0"
1/2" NPT(F)
1/2" NPT(F)

注意事項(xiàng)：特別低的流量裝置可能配有特殊接口以減少死區(qū)量。有時(shí)候，特殊的流量/壓力條件可能規(guī)定各種接口尺寸的組合。

最新產(chǎn)品

熱門(mén)儀器： 液相色譜儀 氣相色譜儀 原子熒光光譜儀 可見(jiàn)分光光度計(jì) 液質(zhì)聯(lián)用儀 壓力試驗(yàn)機(jī) 酸度計(jì)（PH計(jì)） 離心機(jī) 高速離心機(jī) 冷凍離心機(jī) 生物顯微鏡 金相顯微鏡 標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) 生物試劑