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氣體質(zhì)量流量控制器

 一、 產(chǎn)品概述

采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS Microelectromechanical systems氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器,主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。

該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無可動(dòng)部件,量程比寬,響應(yīng)時(shí)間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補(bǔ)償。

 

 二技術(shù)參數(shù)(本產(chǎn)品按Q/320500HH009-2014進(jìn)行生產(chǎn)、校驗(yàn))

2.1  測量介質(zhì):各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)

2.2   流量范圍:   DN3   100-1000mL/min

                      DN4    250-2500mL/min

                      DN6    1000-10000mL/min

                      DN8    1500-15000mL/min  

      DN10   2500-25000mL/min             

                注:(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言;

(b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃,101.325kPa。

2.3   流量測量準(zhǔn)確度:±1.5%FS

2.4   工作溫度范圍:0-55℃;

2.5   工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa``

2.6   供電電源:24VDC±10%;

2.7   輸出信號:4-20mARS485通訊;

2.8   環(huán)境溫度:0-55℃;

2.9   顯示位數(shù):瞬時(shí)流量為三位,累積流量10位。

 

該公司產(chǎn)品分類: 金屬轉(zhuǎn)子流量計(jì) 磁翻柱液位計(jì) 玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì) 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器 型號:BHBL6-S49-300/MT 數(shù) 字 式

氣體質(zhì)量流量控制器 型號:BHBL6-S49-300/MT 數(shù) 字 式貨號:
一、產(chǎn)品主要特點(diǎn):本產(chǎn)品可自動(dòng)測控氣體質(zhì)量流量。不受溫度和壓力的限制,度高、重復(fù)性好標(biāo)準(zhǔn)電信號輸入輸出,可測控瞬間和累計(jì)流量。適用于各種介質(zhì),可替代同類進(jìn)口產(chǎn)品,除此以外,還具有以下特點(diǎn): 1、采用當(dāng)今的40MHz高速主頻、32位ARM系列單片機(jī)做數(shù)字處理控制。數(shù)字化處理的測量線性、精度,及實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)控制等。響應(yīng)速度做到了2秒。 2、12位精度、采樣速率高達(dá)1MSPS的AD/DA轉(zhuǎn)換。 3、RS232/485串口,Modbus協(xié)議,與上位機(jī)通訊簡單方便。配合上位機(jī),可進(jìn)行各種復(fù)雜的計(jì)量、控制操作及組態(tài)。 4、結(jié)構(gòu)主體采用不銹鋼(316L)材料,氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。5、耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬,氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。6、具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、工作穩(wěn)定。可任意位置安裝。 7、兼容模擬電氣操作控制及顯示,使用方便。易于與電氣或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。 二、主要技術(shù)指標(biāo) 表1、硬件性能 項(xiàng)目\型號 S49-300/MT S49-300A/MT 1 流量范圍 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM;0~1,2,3,5,10,15,20SLM2 調(diào)節(jié)閥類型 電磁調(diào)節(jié)閥 3 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) 常閉(設(shè)定<2% F.S) 4 度 ±1%F.S10SCCM~10SLM規(guī)格,其余規(guī)格≤±2% F.S。精度范圍10%~100% F.S 5 線性 ±0.5~1.5%F.S 6 重復(fù)精度 ±0.2%F.S 7 響應(yīng)時(shí)間 2Sec 8 工作壓差范圍 0.05~0.4MPa; 0.1~0.4MPa10~30SLM 9 耐壓 3MPa; 10MPa 10 工作環(huán)境溫度(℃) 5~45 11 材料 不銹鋼316L 12 標(biāo)準(zhǔn)密封材料 Viton®, EPDM, 或其他由用戶指定 13 漏率 <2×10-9mbar.l/s He 14 接頭 Φ6mm, Φ1/4″Swagelok。1/4″VCR;蚱渌捎脩糁付 15 輸入輸出信號 模擬0~+5.00V 輸入阻抗≥100KΩ,負(fù)載輸出電流能力≤3mA數(shù)字RS232/RS485串口,Modbus RTU 協(xié)議 16 供電電源 ±15V(±2%)(+15V 50mA, -15V 200mA) 17 外型尺寸(mm) 123×111×28 18 重量(kg) 0.7 產(chǎn)品圖片

 

   

INHA氣體質(zhì)量流量控制器

 

私人定制 該產(chǎn)品為定制產(chǎn)品,中外合作,價(jià)格需電議,廠家直銷仁荷微電子科技有限公司主要從事質(zhì)量流量器的研制、開發(fā)、制造、銷售以及質(zhì)量流量器各種配件模具的設(shè)計(jì)、加工等相關(guān)的服務(wù)。產(chǎn)品包括超高質(zhì)量的氣體質(zhì)量流量控制儀器及測量儀器、氣體工藝解決方案和全球服務(wù)支持方案。本公司產(chǎn)品氣體質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于工業(yè)氣體、石油、化工、醫(yī)療、電子及微電子、半導(dǎo)體、太陽能光伏、各類實(shí)驗(yàn)室、研究所、生物醫(yī)藥、標(biāo)準(zhǔn)檢測等各類高新技術(shù)領(lǐng)域,為客戶提供各種氣體管道輸送系統(tǒng)的全面服務(wù)。深受廣大客戶的肯定及認(rèn)同。

我公司生產(chǎn)的氣體質(zhì)量流量控制器所使用的技術(shù)全由我們獨(dú)家技術(shù),具有自主知識產(chǎn)權(quán),產(chǎn)品的每一個(gè)部件都有我們自己設(shè)計(jì)制作,且已取得了多項(xiàng)技術(shù)專利申請 ,氣體質(zhì)量流量控制器每一個(gè)部件我們都以精益求精的質(zhì)量服務(wù)廣大客戶,讓客戶體驗(yàn)到自動(dòng)化流量控制設(shè)備帶來的改變,為現(xiàn)有的產(chǎn)品技術(shù)升級提供基礎(chǔ)服務(wù)。 致力于為客戶開發(fā)“生產(chǎn)工藝最優(yōu)化和成本化”的解決方案及相關(guān)產(chǎn)品。并且能夠提供高效優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)。

產(chǎn)品優(yōu)勢:本公司自主開發(fā)研制的產(chǎn)品質(zhì)量流量計(jì),是一種先進(jìn)的智能精密質(zhì)量流量測量儀表。可直接用來測量管道中介質(zhì)的質(zhì)量流量及總量、體積流量及總量、介質(zhì)的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數(shù)。 該流量計(jì)即使在惡劣的工作環(huán)境下也能表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。對工況條件也沒有苛刻的要求。具有抗干擾能力強(qiáng),測量精度高、量程比大、工作穩(wěn)定可靠、對安裝要求低、對流體狀態(tài)要求低,壓力損失小等優(yōu)點(diǎn),且易清洗、具備自排空功能;其基本技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國際先進(jìn)水平, 每臺傳感器都由不銹鋼材料制造,變送器的多種輸出能滿足您的各種需求。我公司生產(chǎn)的產(chǎn)品所使用的技術(shù)全由我們獨(dú)家技術(shù),具有自主知識產(chǎn)權(quán),產(chǎn)品的每一個(gè)部件都有我們自己設(shè)計(jì)制作,且已取得了多項(xiàng)技術(shù)專利申請MF系列

MF-50/100/200C   MF-100/200MMF產(chǎn)品系列特點(diǎn):有很寬的工作壓力范圍,產(chǎn)品可以從真空直到10Mpa;本產(chǎn)品可以使用多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體等等);有很寬的流量范圍,產(chǎn)品最小流量范圍可達(dá)0~10sccm,最大流量范圍可達(dá)0~30slpm。流量控制范圍是滿量程的2~100%(量程比為50:1)。——耐高壓(最大工作壓力可達(dá)100bar)——響應(yīng)時(shí)間快≤1sec——模擬輸入輸出接口(0-5Vdc或4-20mA可選)——連接尺寸與其他標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量器兼容——尺寸小——連接方便,快拆快擰——交貨周期短——優(yōu)惠的價(jià)格極具性價(jià)比——準(zhǔn)確率高——穩(wěn)定的流量控制——壓力范圍廣

用途和特點(diǎn)氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)在石化工業(yè)、生化、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場合包括:電子工藝設(shè)備,如:氧化、CVD、MOCVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。結(jié)構(gòu)

氣體質(zhì)量流量計(jì)由流量傳感器(Sensor),分流器通道和流量放大電路等部件組成;在氣體質(zhì)量流量計(jì)的基礎(chǔ)上,再加上調(diào)節(jié)閥門和PID控制電路就構(gòu)成了氣體質(zhì)量流量控制器。工作原理•流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。•將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大,放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較,再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。•分流器決定主通道的流量。•與之配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)定電源,3位半數(shù)字電壓表,設(shè)定電位器,外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。•控制器輸出的流量栓檢測電壓與流過通道的質(zhì)量成正比,滿量程(F.S)流量檢測輸出電+5V。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是(2~100)%F.S(程比為50:1)

主要技術(shù)指標(biāo)

編號 項(xiàng)目 MF-200C MF-200M1 流量規(guī)格(N2) 10sccm~30slpm 2 準(zhǔn)確度 ±1%F.S(Full Scale)3 重復(fù)精度 ±0.25%F.S(Full Scale)4 響應(yīng)時(shí)間 ≤2sec(特別要求時(shí):≤1sec)5 耐壓 ≤90bar6 工作環(huán)境溫度 0℃~50℃7 輸入輸出信號 0~5V 0~5V or 4~20mA8 供電 +15Vdc or +24Vdc   350mA9 漏率 1×10atm.cc/sec10 使用范圍 2~100%滿量程

 

該公司產(chǎn)品分類: 流量顯示控制儀表 INHA氣體質(zhì)量流量控制器 氣體質(zhì)量流量控制器

MPC氣體質(zhì)量流量控制器

品牌:日本山武Yamatake(創(chuàng)立于1906年)  型號:MPC系列    類型:氣體質(zhì)量流量控制器  測量范圍:2ML—20L/MIN  精度等級:1—2%FS以下 適用介質(zhì):空氣/氮?dú)?氧氣/氬氣/CO2模擬信號:0-5V、1-5V工作壓力:0.5(MPa)  工作溫度:-10 到 +60(℃)

  盤裝面板式質(zhì)量流量控制器MPC系列是本公司獨(dú)自開發(fā)的超高速響應(yīng)流速傳感器。集MicroFlow傳感器、超小型比例電磁閥、新方式的流路和高度的執(zhí)行器技術(shù)于一體,可安裝在儀表盤上的質(zhì)量流量控制器。  特點(diǎn): 1:全球面板式安裝氣體流量計(jì);世界最小、最輕的質(zhì)量流量控制器(面板尺寸48*48mm,深73.7MM;最輕300公克) 2:盤式結(jié)構(gòu),LED數(shù)字顯示,產(chǎn)品面板上有可調(diào)節(jié)各種功能的按鈕,極其容易操作;通訊功能RS-485 3:帶有RS-485通訊,能于其他外部設(shè)備實(shí)現(xiàn)通訊4:采用了感熱式質(zhì)量流量測量,因此實(shí)現(xiàn)了不受溫度、壓力變動(dòng)影響的精確測量5:響應(yīng)速度高速1秒以內(nèi),高精度1—2%FS以下的流量控制

詳細(xì)型號和資料歡迎來電咨詢柯勇 13122347382郵箱:keyong0519@163.comQQ:717563143

C50熱式氣體質(zhì)量流量控制器氮?dú)饬髁坑?jì)氬氣流量計(jì)

 概要

 

氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller,簡稱MFC)利用溫差量熱法原理,可對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。用這種方法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力影響。

本產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用技術(shù)條件和命名方法。

MFC出廠通常用氮?dú)猓∟2)標(biāo)定。

質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分),SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:溫度---273.15 K(0℃),氣壓—-101325 Pa(760mm Hg)

F.S.(Full Scale):滿量程值

 

產(chǎn)品特點(diǎn)

 

本產(chǎn)品具有穩(wěn)定可靠、響應(yīng)時(shí)間短、標(biāo)定精度和重復(fù)精度高等優(yōu)點(diǎn),安裝方便,無安裝位置和直管段要求,操作簡單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用,也可通過模擬/數(shù)字信號轉(zhuǎn)換器(AD/DA轉(zhuǎn)換器)配合計(jì)算機(jī)使用。

 

流量規(guī)格(N2標(biāo)定)

 

0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0~1,2,3,5,10,20,30 SLM

注:滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格,可以在5SCCM~30SLM范圍內(nèi)任選,例如123SCCM。

 

輸入輸出信號

 

0~+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ,輸出電流不大于3mA)

應(yīng)用行業(yè)

 

化學(xué)工業(yè)、石化工業(yè)、LNG工業(yè)、半導(dǎo)體材料和微電子工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、特種材料研究、環(huán)保和真空行業(yè)等。使用本產(chǎn)品的設(shè)備主要有:真空鍍膜設(shè)備、混氣配氣設(shè)備、光纖熔煉設(shè)備、晶體制備設(shè)備、微電子設(shè)備、微反應(yīng)裝置、氣相色譜儀及其它分析儀器等。

 

質(zhì)保與服務(wù)

 

我公司承諾對產(chǎn)品的質(zhì)保期為叁年。在您收貨后叁年以內(nèi),如果按照說明書要求使用,遵守安全注意事項(xiàng),并且產(chǎn)品沒有被損毀、改裝或翻新,若有任何故障和問題,我公司負(fù)責(zé)免費(fèi)維修或更換新品。

在保修期外,我們提供終身維修和維護(hù)服務(wù),但適當(dāng)收取維修和維護(hù)的成本費(fèi)。維修和維護(hù)后,維修部分的質(zhì)保期為壹年。

我公司有專業(yè)的售后工程師可以幫助您解決關(guān)于安裝和使用等各方面的問題,并且提供產(chǎn)品的使用培訓(xùn)。

產(chǎn)品規(guī)格
流量規(guī)格(N2標(biāo)定) 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
流量規(guī)格(N2標(biāo)定) 0~1,2,3,5,10,20,30 SLM
調(diào)節(jié)閥類型 常閉式
量程比 (2~100)%F.S. 或50:1
流量分辨率 0.1%F.S.
準(zhǔn)確度 ±1%F.S. (≤15SLM)
準(zhǔn)確度 ±2%F.S. (>15SLM)
線性 ±0.5%F.S. (≤15SLM)
線性 ±2%F.S. (>15SLM)
重復(fù)精度 ±0.2%F.S.
響應(yīng)時(shí)間 ≤2sec
工作壓差范圍 0.1~0.5MPa (≤10SLM)
工作壓差范圍 0.1~0.3MPa (>10SLM)
最大耐壓 3MPa
工作環(huán)境溫度 5~45℃
電纜接頭 DB15pin(針形)
輸入輸出信號 0~+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ,輸出電流不大于3mA)
供電電源要求 +15VDC(50mA),-15VDC(200mA)
對外單點(diǎn)泄漏率 ≤1×10-9Pa·m3/S(He)
介質(zhì)接觸材質(zhì) 316,316L,密封填料
   
管道接頭尺寸 VCR型接頭:1/4”
管道接頭尺寸 雙卡套型接頭:1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm
外形尺寸 長×寬×高:127×30×100 mm
凈重量 0.88kg
該公司產(chǎn)品分類: 不銹鋼管 顯微鏡 流量儀表

EL-FLOW® 實(shí)驗(yàn)室型氣體質(zhì)量流量控制器

EL-FLOW®系列質(zhì)量流量控制器是一款高科技代表的產(chǎn)品,能測量控制流量范圍:0..1 mln/min 到 0..1250 ln/min,最大操作壓力達(dá)到400 bar。

Bronkhorst Hi-Tec EL-FLOW®系列儀表性能表現(xiàn):

  • 精度
  • 穩(wěn)定性
  • 實(shí)用性
  • 品質(zhì)

技術(shù)應(yīng)用:

  • 模塊化結(jié)構(gòu)
  • 電化學(xué)拋光
  • SMT表面貼裝工藝
  • 噪聲信號抑制
  • 自動(dòng)溫度補(bǔ)償
  • 內(nèi)部電壓調(diào)整

控制閥被設(shè)計(jì)成模塊化結(jié)構(gòu),可以方便地更換,Kv值為1.5。獲得專利保護(hù)的獨(dú)特結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),能適應(yīng)大流量及高差壓的控制,這是的產(chǎn)品。

應(yīng)用

  • 實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)裝置
  • 在食品、化學(xué)和石化工業(yè)中的過程控制
  • 發(fā)酵和生物化學(xué)
  • 質(zhì)量控制和泄露偵測系統(tǒng)
  • 氣體混合控制和環(huán)境控制
  • 燃燒控制
  • 半導(dǎo)體制造
  • 表面處理裝置

流量范圍表(空氣) 

F-200C min. 0,02 ... 1 mln/min
 max. 0,2 ... 10 mln/min
F-201C  min. 0,2 ... 10 mln/min
 max. 0,3 ... 15 ln/min
F-201AC min. 0,2 ... 10 ln/min
 max. 1,4 ... 70 ln/min
F-202AC  min. 0,5 ... 25 ln/min
 max. 5 ... 250 ln/min
F-203AC  min. 2 ... 100 ln/min
 max. 25 ... 1250 ln/min
F-232M  min. 0,2 ... 10 mln/min
 max. 2 ... 100 ln/min

氣體質(zhì)量流量控制器

工作原理:

  被測氣體分別流經(jīng)兩個(gè)層流區(qū),一路通過主流量管道,另一路通過毛細(xì)測量管。

  兩個(gè)管路的設(shè)計(jì)保證流體處于層流狀態(tài),因此兩個(gè)管路流量比是恒定的。

  兩個(gè)精密的溫度感應(yīng)繞組在測量管上被加熱,當(dāng)有流量產(chǎn)生時(shí),被加熱的氣體從上游帶走熱量到下游的感應(yīng)繞組上。產(chǎn)生溫差和感應(yīng)圈電阻的變化是成比例的。

  測量繞組的電阻值與瞬時(shí)流量成線性比例關(guān)系,采用惠斯頓電橋來檢測測量繞組的電阻變化。

  根據(jù)被測氣體的質(zhì)量流量,輸出0-5VDC或者4-20mA信號。

  經(jīng)過兩個(gè)層流區(qū)的氣體混合后流過具體特定孔徑的電磁比例閥,質(zhì)量流量測量與電磁比例閥組成閉環(huán)的控制系統(tǒng),使流量穩(wěn)定在設(shè)定的流量值上。

  在一定范圍內(nèi)溫度和壓力的變化不會(huì)影響流速。參數(shù)規(guī)格:

  產(chǎn)品名稱:氣體質(zhì)量流量控制器  精度:  精度%FS

          型號  GFC17,37,47      GFC57,67,77

          流量范圍 0-100%     20-100%   0-20%

          精度    ±1%        ±1.5%   ±3%

 

          可選精度%FS

          型號  GFC17         GFC37,47,57,67,77

          流量范圍 0-100%     20-100%   0-20%

          精度    ±1%        ±1%      REF DATA with ±1%

  校準(zhǔn):標(biāo)況【14.7psia(101.4kpa),70℉(21.1℃)】

  重復(fù)性:±0.25%滿里程、

  響應(yīng)時(shí)間:在滿里程的25-100%范圍內(nèi),2秒內(nèi)達(dá)到2%精度

  溫度系數(shù):0.05%滿里程/℃

  壓力系數(shù):0.01%滿里程/psi(0.07bar)

  推薦氣體壓力:25psig(1.73bars)

  最大氣體壓力:GFC17,37,47最大1000psi(70bars).GFC57,67,77最大500psig(34.5bars)

  量程比:40:1

  最大壓差:GFC17/37/57/67/77 50psi(3.4bars),GFC47 40psi(2.7bars)

  氣體和周圍溫度:32℉-122℉(0℃-50℃),14℉-122℉(-10℃-50℃),干燥氣體

  方位靈敏度:水平到垂直旋轉(zhuǎn)低于15度;標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)是在水平位置

  輸出信號:線性0-5Vdc(3000ohms最小負(fù)載阻抗);線性4-20mA(500ohms最大回路電阻)最大噪聲±20mV

  控制信號:遠(yuǎn)程設(shè)定模式:模擬0-5Vdc或4-20mA;NPN兼容清洗/關(guān)閥

  連接:GFC17and37:1/4"卡套連接 

                     可選6mm,1/4VCR,3/8或1/8卡套

        GFC47:3/8"卡套

        GFC57:3/8"卡套

        GFC67:1/2"卡套

        GFC77:3/4"FNPT.可選:3/4"卡套

  泄漏率:氦氣泄漏率1*10­9sml/s

  輸入電源:+12Vdc,800mA;可選+24Vdc,650mA

  回路保護(hù):電路板內(nèi)置極性保護(hù),自動(dòng)恢復(fù)電阻保護(hù)電源過載輸入

  顯示:3-1/2數(shù)字LCD,0.5"英寸高字符

  CE認(rèn)證:EN55011class1,classB;EN50082-1產(chǎn)品視頻:

該公司產(chǎn)品分類: 配氣系統(tǒng) 壓力開關(guān) 壓力開關(guān) 流量控制器 蠕動(dòng)泵 步進(jìn)電動(dòng)閥 流量調(diào)節(jié)閥 流量調(diào)節(jié)閥 氣體流量計(jì) 流量計(jì) 質(zhì)量流量控制器 轉(zhuǎn)子流量計(jì)/浮子流量計(jì) 質(zhì)量流量計(jì) 流量控制器 流量計(jì)

氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品特點(diǎn):1.          滿量程從0.5ccm到1500lpm2.          響應(yīng)時(shí)間10ms3.          量程比優(yōu)于100:14.          精度±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(可選±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程)5.          本地顯示、rs-232或模擬信號輸出質(zhì)量流量、體積流量、溫度和絕壓6.          自動(dòng)復(fù)位或在顯示屏上按鍵復(fù)位7.          安裝位置不敏感8.    現(xiàn)場可選30種校驗(yàn)氣體差壓原理與熱式原理對照表

產(chǎn)品簡介:

alicat氣體質(zhì)量流量計(jì)利用兩個(gè)已研究透徹的氣體物理屬性:壓力和粘性來測量流量。通過層狀流量單元的差壓測量來計(jì)算流量,這種測量方式具有固有的線性。采用差壓、絕壓和溫度傳感器來測量并補(bǔ)償氣體的壓力、溫度,測量標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(如1個(gè)大氣壓@25℃)下氣體的體積流量?蓽y量4種參數(shù):質(zhì)量流量、體積流量、溫度和絕壓,可選累計(jì)流量,并且可以通過動(dòng)態(tài)顯示屏同時(shí)顯示。可選電池使得該款產(chǎn)品方便攜帶,常用于測試和校準(zhǔn)工具。另外提供用戶定制滿足您特殊需求。    alicat氣體體積流量計(jì)采用差壓傳感器來測量當(dāng)前狀態(tài)下的體積流量。由于它沒有內(nèi)置絕壓和溫度傳感器,價(jià)格會(huì)便宜一些,是相對于質(zhì)量流量計(jì)的另一種選擇。本地顯示:    alicat所有產(chǎn)品均提供本地顯示標(biāo)準(zhǔn)功能(無顯示產(chǎn)品可以用于oem)。質(zhì)量流量控制器和體積流量控制器在主顯示上均提供了不同的過程參數(shù)信息,用戶通過按鍵可以選擇主顯示方式(main mode display)和所測的氣體(30種校驗(yàn)氣體),調(diào)節(jié)pid參數(shù),將測量流量清零等。

 

  數(shù)字輸出(rs-232):    所有的alicat產(chǎn)品均具有標(biāo)準(zhǔn)的rs-232輸出。其信號通過8針圓形接頭或6針工業(yè)連接頭傳輸。使用alicat的rs-232輸出或輸入通訊串口無需特別軟件。任何帶有終端程序的設(shè)備,例如windows®操作系統(tǒng)里的“超級終端”,均可以使用我們的alicat產(chǎn)品。rs-232可以實(shí)現(xiàn)本地顯示上的所有操作功能,例如:清零、更換校驗(yàn)氣體、改變pid等。     對于質(zhì)量流量控制器,通過rs-232所顯示的過程參數(shù)同其本地顯示上數(shù)據(jù)是一致的。控制功能也與每個(gè)型號的本地顯示控制模式一致(如右圖所示)。體積流量控制器的控制功能 (loop)只定位在“體積流量(volume)”上。 所有的產(chǎn)品均可以根據(jù)用戶的選擇配置為流動(dòng)模式或輪循模式。模擬輸出:    模擬信號通訊同樣是由rs-232接口的8針圓形接頭來提供。默認(rèn)的模擬信號是0-5vdc,可選0-10vdc或4-20ma的輸出信號。alicat質(zhì)量流量控制器提供0-5vdc輸出“質(zhì)量流量”,同時(shí)提供一個(gè)模擬控制設(shè)定點(diǎn)的針腳。質(zhì)量流量控制器通過“se-lect”(出現(xiàn)在本地控制設(shè)定模式中,如右上圖所示)來控制設(shè)定點(diǎn)方式?蛇x第二路單獨(dú)模擬輸出“壓力”、“溫度”或“體積流量”。alicat體積流量控制器提供0-5vdc輸出“體積流量”,同時(shí)提供一個(gè)模擬控制設(shè)定點(diǎn)的針腳。體積流量控制器通過“se-lect”(出現(xiàn)在本地控制設(shè)定模式中,參考右上圖)來控制設(shè)定點(diǎn)方式。應(yīng)用領(lǐng)域:      醫(yī)藥、工業(yè)、過程控制、實(shí)驗(yàn)室、oem、替換熱式質(zhì)量流量計(jì)、泄漏測試選項(xiàng)附件:1. 電氣電纜 2. ac/dc 電源適配器 3. 特殊混合氣體 4. 遠(yuǎn)程數(shù)字顯示(rdd) 5. 用戶化壓降設(shè)置 6. 電池包(使測試儀器便攜) 7. 多種獨(dú)立的輸出

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微小氣體質(zhì)量流量控制器,廠家直銷高精度高穩(wěn)定性快速響應(yīng)價(jià)格優(yōu),歡迎新老客戶來電咨詢!

 LF400系列采用溫度變化對應(yīng)于質(zhì)量流量的原理,可以對不同的氣體進(jìn)行流量量測及控制。
  可應(yīng)用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍,并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響。
  產(chǎn)品系列完整,可選擇數(shù)字式,模擬式,普通,高精度,高壓力型,性能且價(jià)格具有競爭力,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。
  o模擬式熱質(zhì)式流量計(jì)/流量控制器:
  低單價(jià)
  環(huán)境溫度補(bǔ)正
  可應(yīng)用的流率范圍廣:
  0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
  0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
  高精度
  ±1%(≤15SLM)
  ±1.5%(>15SLM.)
  可選用LF系列控制模塊,具有數(shù)位顯示、電源供應(yīng)、流量設(shè)定等功能
  國際兼容
  氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。
  標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:
  標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K)
  標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa
功能 流量計(jì)/控制器
基本型號  LF400-S
滿量程流量范圍(N2) SCCM 0~5,10,20,30,50,100,200,500
  SLM 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(%F.S) ±1(≤15SLM)
  ±1.5(>15SLM.)
控制閥動(dòng)作型式 常閉式
線性(%F.S.) ±0.5~1(≤15SLM)
  ±1.5%(>15SLM.)
重復(fù)精度(%F.S.) ±0.2
響應(yīng)時(shí)間(sec) ≤1
流量輸出信號 0-+5.00V
流量設(shè)定信號 0-+5.00V
電器接頭 DB15 pin(接頭)
工作環(huán)境溫度 (℃) 5~45
工作壓差 (MPa) 0.1~0.5
漏率 SCCSHe 1×10-9
最大耐壓 3MPa
介質(zhì)接觸材質(zhì) 304,316,316L
密封材料 氟橡膠,硅橡膠,丁氰橡膠,聚四氟乙烯
接頭 VCR " 1/4、1/2
  Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接頭和尺寸 Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm
電源要求 +15V,50mA;-15V,200mA
重量 1.0KG  
該公司產(chǎn)品分類: 氣路配件 混氣系統(tǒng) 質(zhì)量流量控制器

M3030V小流量氣體質(zhì)量流量控制器M3030V

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小流量氣體質(zhì)量流量控制器M3030V

 

氣體質(zhì)量流量控制器M3030V,采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,無需溫度壓力補(bǔ)償。氣體質(zhì)量流量控制器M3030V是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與電腦連接自動(dòng)控制的氣體流量的穩(wěn)流裝置,能在較寬的量程范圍內(nèi)快速而精確地控制氣體流量。即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有輕微的變化,也不會(huì)影響其正常的工作。

 

小流量氣體質(zhì)量流量控制器M3030V產(chǎn)品亮點(diǎn):

-類    型:MFC氣體質(zhì)量流量控制器

-控制范圍:10sccm ~ 30slpm (sccm:標(biāo)準(zhǔn)毫升/分 slpm:標(biāo)準(zhǔn)升/分) 

-準(zhǔn)度等級: ±1% F.S

-耐    壓:≤90bar

-標(biāo)準(zhǔn)接口:0-5VDC,4-20mA可選

-響應(yīng)時(shí)間:≤2sec

-使用范圍:2~100% for max range

-供電電源:+15~+28Vdc, 350Ma

-漏    率:1×10-9atm·cc/sec

-氣路連接:1/4”SWG,1/8”SWG,3/8”SWG,1/4”VCR

-適用介質(zhì):所有氣體(含腐蝕性氣體和有毒氣體)

-無需溫度、壓力補(bǔ)償

 

小流量氣體質(zhì)量流量控制器M3030V

產(chǎn)品型號

M3030V

M3030A

  流量范圍 (N2)

 10sccm ~ 30slpm

10sccm ~ 30slpm

  響應(yīng)時(shí)間

 ≤2秒

  ≤2秒

  準(zhǔn)確度

  ≤±1% 滿量程

  ≤±1% 滿量程

 重復(fù)精度

  ≤±0.25% 滿量程

 ≤±0.25% 滿量程

 輸出輸入信號

 0~5Vdc

  0~5Vdc或4~20毫安

  供電

 +15~+28Vdc350毫安

  +15~+28Vdc,350毫安

  耐壓

  ≤90 bar

 ≤90 bar

 工作環(huán)境溫度

  0~50 °C

  0~50 °C

 

 

應(yīng)用領(lǐng)域:-分析儀器     -干刻(RIE/DRIE)     -燃料電池-生物技術(shù)     -氣相色譜分析         -等離子刻蝕-激光焊機(jī)     -混氣配氣系統(tǒng)         -微反應(yīng)裝置-真空鍍膜     -過程自動(dòng)化           -石化工業(yè)

該公司產(chǎn)品分類: PM2.5傳感器 空氣質(zhì)量傳感器 氫氣泄漏檢測傳感器HLS-440 VOC空氣質(zhì)量傳感器 iAQ-engine

最新產(chǎn)品

熱門儀器: 液相色譜儀 氣相色譜儀 原子熒光光譜儀 可見分光光度計(jì) 液質(zhì)聯(lián)用儀 壓力試驗(yàn)機(jī) 酸度計(jì)(PH計(jì)) 離心機(jī) 高速離心機(jī) 冷凍離心機(jī) 生物顯微鏡 金相顯微鏡 標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) 生物試劑