S-3400N掃描電子顯微鏡
S-3400N具有最新開發(fā)的電子光學(xué)系統(tǒng),強(qiáng)大的自動(dòng)化功能,操作更簡易。
特點(diǎn):
1. S-3400N具有強(qiáng)大的自動(dòng)功能,包括自動(dòng)燈絲飽和、4偏壓、自動(dòng)槍對中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸自動(dòng)聚焦和消像散、自動(dòng)亮度對比度等。
2. 在3kV低加速電壓時(shí)保證有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高靈敏半導(dǎo)體式背散射探頭。
4. S-3400N II型具有五軸馬達(dá)臺,傾斜角度可達(dá)-20度~+90度,樣品最高可達(dá)80mm。
5. 分析樣品倉可以同時(shí)安裝EDX , WDX 及EBSD。
6. 真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵,潔凈、高效。
技術(shù)指標(biāo):
項(xiàng)目 | 描述 |
SE分辨率 | 3.0nm (30kV),高真空模式 10nm (3kV), 高真空模式 |
BSE分辨率 | 4.0nm (30kV),低真空模式 |
放大倍率 | x5 ~ x300,000 |
加速電壓 | 0.3 ~ 30 kV |
低真空范圍 | 6 ~ 270 Pa |
最大樣品尺寸 | 直徑200mm |
樣品臺 | I型 II型 |
X | 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm |
Y | 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm |
Z | 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm |
R | 360º 360º |
T | -20º~ +90º -20º ~ +90º |
最大樣品高度 | 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm) |
驅(qū)動(dòng)類型 | 手動(dòng) 五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
燈絲 | 預(yù)對中鎢燈絲 |
物鏡光欄 | 可移動(dòng)式4孔物鏡光欄 |
槍偏壓 | 固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏 |
檢測器 | 二次電子檢測器 高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器 |
分析位置 | WD=10mm, TOA=35o |
控制 | 鼠標(biāo)、鍵盤,手動(dòng)旋鈕 |
自動(dòng)調(diào)校 | 自動(dòng)燈絲飽和、自動(dòng)4偏壓、自動(dòng)槍對中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦 消像散、自動(dòng)亮度對比度 |
掃描電鏡是一款性能價(jià)格比很高的儀器,具有極高的分辨能力,即使在高放大倍率下也可得到清晰的圖像,并且支持功能強(qiáng)大的圖像分析系統(tǒng)S/W。它為PC控制的數(shù)字式掃描電鏡,用戶在熟悉的Windows環(huán)境下用簡單的鼠標(biāo)操作就可進(jìn)行各種圖像分析和測量。掃描電鏡特點(diǎn):1.高分辨率圖像:鎢燈絲發(fā)射,使用Dual Slit lens及穩(wěn)定的專用電源了3.5nm的高分辨率,從而能看清被觀察樣品的顯微圖像細(xì)節(jié)。2.支持強(qiáng)大的S/W分析功能:具有圖像編輯及管理功能,支持圖像處理及增強(qiáng)功能,3維數(shù)據(jù)視圖/多重聚焦/圖像拼接/輪廓等圖像分析功能。3.方便的計(jì)算機(jī)控制式數(shù)據(jù)運(yùn)行環(huán)境:簡便的Window XP運(yùn)行環(huán)境及GUI(圖文用戶界面)控制系統(tǒng)支持各種圖形格式,如:JPEG, BMP, PCX, TIF等,支持1280X960高分辨率像素存貯管理。4.?dāng)U展性:具有安裝EDS, WDS 及 BSE探測器等接口。5.計(jì)算機(jī)控制:使用者只要點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可操作。6.全自動(dòng)真空控制系統(tǒng):避免誤操作而引起油蒸汽污染7.大樣品室設(shè)計(jì):242×260×302 mm,多種樣品托,可方便裝載不同的樣品。8.五軸控制:X、Y、Z、R、T,其中X,Y,R為電動(dòng)可選樣品移動(dòng)范圍:X(50)、Y(70)、Z(60)、R(360°)、T(-30~90°)9.寬放大倍率:5倍至300,000倍10.自動(dòng)聚焦、消像散及自動(dòng)亮度、對比度調(diào)節(jié)11. 具有圖像模式轉(zhuǎn)換,無需BSE探測器即可觀察BSE圖像12.?dāng)U展性強(qiáng),可根據(jù)用戶要求定制各種附件配置:1.電子光學(xué)系統(tǒng)1.1 電子槍:鎢燈絲發(fā)射;彈夾式燈絲座,更換燈絲非常方便。1.2 透鏡:聚光鏡為二極透鏡系統(tǒng)。物鏡運(yùn)用(Dual Slit lens)透鏡減少了球差,提高分辨率。1.3 探測器:E-T bar型二次電子探測器具有很高的檢測效率。通過改變探測器上的法拉第盒電壓即可進(jìn)行二次電子/背散射電子模式轉(zhuǎn)換。1.4 樣品室:具有二次電子探測器,以及能譜儀、背散射電子、波譜儀探測器等端口?蓴U(kuò)展性強(qiáng),可升級為多種外接設(shè)備端口。樣品室大小:242×260×302 mm。并可根據(jù)用戶要求定制觀察特殊樣品的樣品室。1.5 載物臺:5 軸 (X,Y,Z,旋轉(zhuǎn),傾斜) 控制,機(jī)械同軸傾斜平臺。360°方向旋轉(zhuǎn)。-30°至90°優(yōu)化的傾斜角度適用于各種截面觀察。載物臺移動(dòng)范圍為50/70/60mm(X/Y/Z)。選擇不同的樣品座,可同時(shí)方便裝載多個(gè)樣品及觀察,可提高工作效率。1.6 光闌:固定光闌4個(gè),活動(dòng)光闌3孔。2.電氣系統(tǒng): 高壓電源:穩(wěn)定度達(dá)PPM級?刂齐娫:全自動(dòng)控制。真空控制系統(tǒng):具有全自動(dòng)及手動(dòng)控制。3.真空部件:機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、真空閥等。4.1通用功能:•PC控制式數(shù)字掃描電鏡,采用用戶熟悉的Window環(huán)境作為操作系統(tǒng),通過點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可顯示設(shè)備的狀態(tài)。•支持文件組管理功能,具有諸如文件打開,存貯,格式變換,打印及縮略圖瀏覽等功能。•給用戶提供方便的放大/縮小,Panning,宏觀觀察等工具。•提供長度,面積,角度等測量功能,及目標(biāo)測量追蹤功能等。•支持圖像編輯功能,建立感興趣區(qū)域,具有圖像剪切、粘貼編輯功能以及箭頭、文字、圓、四邊形、任意曲線等標(biāo)注功能。•用戶可根據(jù)不同的要求設(shè)置參數(shù),如透鏡、消像散、探測器及接收器的放大器等參數(shù)的設(shè)置。•通過多重窗口及的圖像處理模塊來控制掃描電鏡。4.2 專業(yè)圖像處理及分析功能色彩變換•在灰度位圖上創(chuàng)建任意色彩•在SEM灰度圖或頻譜圖像上通過偽彩色來增強(qiáng)邊緣效果3D重建•調(diào)節(jié)視場角度,用亮度設(shè)置色彩,設(shè)置光源,支持線框架及回放選項(xiàng)•根據(jù)圖像的亮度值重建3維圖像多重聚焦•在同一視場不同焦面拍攝的一系列圖像中,通過多重聚焦功能,創(chuàng)建一個(gè)新的、聚焦好的圖像圖像拼接•把各個(gè)相鄰的圖像拼接成一幅圖像•自動(dòng)拼接,創(chuàng)建一幅完整的高分辨率圖像•通過對個(gè)別圖像的亮度分析進(jìn)行亮度補(bǔ)償•支持去模糊功能,通過重疊邊界去除不連續(xù)點(diǎn)•靈活的矩陣分割及圖像排列頻率濾波器•低通/高通/帶通,Band Stop, High Emphasis, Homomorphic濾波器•通過圖像頻譜觀察,設(shè)計(jì)新的濾波器用戶自定義濾波器•通過選擇濾波器掩碼值設(shè)計(jì)合適的濾波器•創(chuàng)建各種尺寸的掩碼,通過缺省值來打開及存貯用戶自定義濾波器,設(shè)置初始值直方圖•使用RGB / HSV / HLS / CMYK色彩模型研究色彩分布•來自于直方圖,平均值,標(biāo)準(zhǔn)偏差,系數(shù),最大,最小等至少12個(gè)因子累計(jì)總和•可把數(shù)據(jù)導(dǎo)入到Excel注釋•用戶可以運(yùn)用如圓周、方框、直線、箭頭、文字等注釋符號•通過使用水平線、直線、垂直線、對角線、方框等進(jìn)行測量功能報(bào)告設(shè)計(jì)•通過使用直線、矩形、圓、文字、圖像等圖表創(chuàng)建各種報(bào)告格式,保存及打開用戶自定義報(bào)告格式5. 電腦 電腦:韓國電腦主機(jī),奔騰IV CPU、512MB內(nèi)存、80G硬盤,19”LCD 顯示器(國內(nèi)購買)6. 穩(wěn)壓電源、空壓機(jī)(國內(nèi)購買)7. 防震工作臺 具有雙重防震裝置8. 備件、樣品制備工具及調(diào)整工具一套
10~60000放大倍率、適合各類樣品分析
較光學(xué)顯微鏡有更好的景深
光學(xué)顯微鏡景深不足在500 倍時(shí)僅有局部區(qū)遇有清析的影像視野。 | 同樣500倍放大倍率下JCM-6000有較優(yōu)越的分辨率與景深,全視野都非常清晰。 |
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JCM6000擁有良好景深,方便樣品觀察與分析 |
可直接進(jìn)行2D量測、包括長度與角度
可觀查成份像(左:PCB成份影像 右:電子零件立體影像)
全新的觸摸屏GUI界面操作更加形象直觀,不僅操作界面簡明易懂,觸摸式操作更加直觀方便。
雙畫面顯示可以并列顯示實(shí)時(shí)圖像和儲存圖像。 能一邊比較圖像一邊進(jìn)行觀察。
JCM-6000 規(guī)格
放大倍數(shù) | ×10 ∼ ×60,000 (二次電子) ×10 ∼ ×30,000 (背散射電子) |
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觀察模式 | 高真空模式 / 低真空模式 |
電子槍 | 燈絲與韋氏帽集成一體的小型電子槍 ( filament and Wehnelt integrated grid) |
加速電圧 | 15kV / 10kV / 5kV 3檔切換 (二次電子) 15kV / 10kV 2檔切換 (背散射電子) |
樣品臺 | X-Y軸手動(dòng)控制 X方向 35mm、Y方向 35mm |
最大樣品尺寸 | 直徑70mm、高度50mm |
工作距離 (WD) | 7~53mm |
信號檢測 | 高真空(二次電子、背散射電子)、低真空(背散射電子) |
數(shù)據(jù)顯示/ 顯示內(nèi)容 | 加速電圧、倍率、微米條、微米值等 |
文件格式 | BMP、TIFF、JPEG |
圖像內(nèi)存像素 | 640x480像素、1280x960像素 |
拍攝條件 | 高速、低速1、低速2 |
旋轉(zhuǎn)功能 | 掃描旋轉(zhuǎn)(90°/步、1°/步可選) |
圖像電位移 | 電位移功能 |
圖像保存 | 拍攝(掃描)結(jié)束后,能自動(dòng)編號、自動(dòng)保存文件。 |
操作系統(tǒng) OS | Windows 7 |
自動(dòng)功能 | 自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散 自動(dòng)襯度/亮度、 自動(dòng)電子槍對中 |
配置 | 主機(jī)、電源箱、PC、LCD、機(jī)械泵 |
操作 | 觸摸屏、鼠標(biāo) |
選配件 | 馬達(dá)驅(qū)動(dòng)傾斜/旋轉(zhuǎn)樣品架、能譜儀(EDS) |
主機(jī) | 330(W)×490(D)×430mm(H) |
輸入電源 | 單相AC100V(700VA)、120V(840VA)、220V(880VA)、240V(960VA) 波動(dòng)±10%以內(nèi)、接地 |
室溫 | 15℃~30℃ |
濕度 | 60%以下 |