德國(guó)FRIZLEN調(diào)速電阻、FRIZLEN電機(jī)、FRIZLEN制動(dòng)電阻箱
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CJBH-IIIK投入式液位變送器(氣體導(dǎo)壓式,用于高溫、腐蝕性液體、污水等)
CJBH-IIIK型硅壓阻式液位變送器將OEM充油芯體封裝在不銹鋼殼體內(nèi),前端防護(hù)帽起保護(hù)傳感器膜片的作用,也能使液體流暢地接觸到膜片,防水導(dǎo)線與外殼密封連接,通氣管在電纜內(nèi)與外界相連,內(nèi)部結(jié)構(gòu)防結(jié)露設(shè)計(jì)。CJBH-IIIK型內(nèi)置微型信號(hào)處理電路,可進(jìn)行遠(yuǎn)程傳輸。
CJBH-IIIK投入式液位變送器(氣體導(dǎo)壓式,用于高溫、腐蝕性液體、污水等)的傳感器部分與信號(hào)處理電路在接線盒內(nèi)部,由投入液體內(nèi)的集氣筒內(nèi)的氣體與介質(zhì)接觸,通過導(dǎo)氣管將壓力傳遞給傳感器,避免了傳感器與被測(cè)介質(zhì)的直接接觸,適應(yīng)于高溫強(qiáng)腐蝕性等場(chǎng)合,有效地解決了高溫腐蝕液體以及污水液位測(cè)量的難題。它特別適合于高溫、腐蝕性液體和污水的測(cè)量。CJBH-II液位變送器選用MC20B型壓力變送器為壓力測(cè)量部件,由集氣筒采集到液位壓力信號(hào),傳送給壓力變送器,將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換為液位信號(hào)輸出。
壓力變送器與液位關(guān)系為: P=0.0098ρH+Pc
式中:P 壓強(qiáng)MPa; ρ 液體密度(g/cm3);H 液面深度(m);Pc 液面壓力(常壓為0)
PCM260型廣泛應(yīng)用于環(huán)保、水利、變頻供水、工業(yè)過程控制、化工等領(lǐng)域的液位測(cè)量控制。
主要特點(diǎn):
主要技術(shù)參數(shù):
量程(米) | 0—1.5.......50m |
輸 出 | 4—20mA(1-5V);0—10mA(0—5V); |
精 度 | 0.5% |
非線性、重復(fù)性、遲 滯(%F·S) | 0.3% |
零點(diǎn)及靈敏度溫度漂移(%/℃F·S) | ≤0.03 |
零點(diǎn)漂移(%/F·S4h) | ≤0.3 |
長(zhǎng)期穩(wěn)定性(%F·S/年) | 0.3 |
工作電壓(V) | +24標(biāo)定(+18~+36) |
補(bǔ)償溫度(℃) | 0~70 |
工作溫度(℃) | -20℃~250 |
過載能力(%) | 300 |
壽 命 | >1×108壓力循環(huán)(25℃) |
頻響(Hz) | >1000 |
測(cè)量介質(zhì) | 高溫液體、腐蝕性液體 |
膜片材料 | 316L不銹鋼 |
防護(hù)等級(jí) | IP67 |
殼體材料 | 1Cr18Ni9Ti |
接口 | 投入分體式 |
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是至關(guān)重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),而涂膠工藝的好壞,直接影響到光刻的質(zhì)量,所以涂膠也顯得尤為必要,尤其在所刻線條比較細(xì)的時(shí)候,任何一個(gè)環(huán)節(jié)有一點(diǎn)紕漏,都可能導(dǎo)致光刻的失敗。在涂膠工藝中,所用到的光刻膠絕大多數(shù)是疏水的,而晶片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,如果在晶片表面直接涂膠的話,勢(shì)必會(huì)造成光刻膠和晶片的粘合性較差,甚至造成局部的間隙或氣泡,涂膠厚度和均勻性都受到了影響,從而影響了光刻效果和顯影。
為了解決這一問題,涂膠工藝中引入了一種化學(xué)制劑,即HMDS,它的英文全名叫Hexamethyldisilazane(HMDS),化學(xué)名稱叫六甲基二硅氮甲烷,把它涂到硅片表面后,通過加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主題的化合物,這實(shí)際上是一種表面活性劑,它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起到耦合的作用,再者,在顯影的過程中,由于它增強(qiáng)了光刻膠與基底的粘附力,從而有效地抑制刻蝕液進(jìn)入掩模與基底的側(cè)向刻蝕。 最初,人們用液態(tài)的HMDS直接涂到晶片上,然后借著晶片的高速旋轉(zhuǎn)在晶片表面形成一層HMDS膜。這樣就階段性的解決了基片和光刻膠之間的結(jié)合問題,但隨著光刻線條的越來(lái)越細(xì),膠的越來(lái)越薄,對(duì)粘附力提出了更高的要求,于是我們研制出了現(xiàn)在的HMDS預(yù)處理系統(tǒng)。
2 HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的優(yōu)越性
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)在于:
(1)預(yù)處理性能更好,由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮?dú)庵脫Q再進(jìn)行的HMDS處理,所以不會(huì)有塵埃的干擾,再者,由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個(gè)容器中進(jìn)行,晶片在容器里先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤,再接著進(jìn)行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機(jī)會(huì)大大降低,所以有著更好的處理效果。
(2)處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。
(3)效率高。液態(tài)涂布是單片操作,而本系統(tǒng)一次可以處理多達(dá)多盒的晶片。
(4)更加節(jié)省藥液。實(shí)踐證明,用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理多盒晶片所用藥液還多;
(5)更加環(huán)保和安全,HMDS是有毒化學(xué)藥品,人吸入后會(huì)出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整個(gè)過程是在密閉的環(huán)境下完成的,所以不會(huì)有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機(jī)械泵抽到尾氣處理機(jī),所以也不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染。
3系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
整個(gè)系統(tǒng)由加熱、真空系統(tǒng)、充氮、加藥和控制模塊等5部分組成。
3.1加熱模塊
由于工藝的整個(gè)過程都需要在150℃左右的環(huán)境下進(jìn)行,所以自始至終加熱系統(tǒng)都在工作。
本系統(tǒng)采用在腔體外側(cè)加熱,采用人工智能PID調(diào)節(jié)儀實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,調(diào)節(jié)儀控制固態(tài)繼電器的輸出,從而實(shí)現(xiàn)溫度的精確穩(wěn)定控制,測(cè)溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。
3.2真空模塊
由機(jī)械泵、真空組件、真空測(cè)量等組成,主要作用是置換氣體和抽走剩余的HMDS蒸汽,不再贅述。
3.3充氮模塊
作用是在置換過程中,用氮?dú)鈦?lái)逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽,從而最終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛。
主要由氮?dú)庠、控制閥和噴頭組成。
3.4加藥模塊
加藥模塊的作用是在需要的時(shí)候把藥液變成蒸汽,均勻的涂布到晶片表面。
它主要由藥液瓶,接口、控制閥和噴頭組成。
3.5控制模塊
控制模塊是本系統(tǒng)的核心模塊,它的作用是控制各個(gè)模塊的動(dòng)作和時(shí)序,完成整個(gè)工藝過程。
它主要由人機(jī)界面,CPU控制中心,控制接口和輸出部件,報(bào)警等5部分組成。
人機(jī)界面采用臺(tái)灣威綸通觸摸屏來(lái)實(shí)現(xiàn)參數(shù)、狀態(tài)等界面的顯示和參數(shù)的設(shè)定輸入。PLC采用三凌FX系列小型化PLC。
4軟件組成
整個(gè)控制軟件共分4個(gè)部分,即自動(dòng)運(yùn)行、手動(dòng)控制、參數(shù)設(shè)定、幫助。
當(dāng)按下自動(dòng)運(yùn)行鍵后,畫面轉(zhuǎn)換到運(yùn)行畫面,顯示當(dāng)前的工藝狀態(tài),運(yùn)行時(shí)間等,同時(shí)系統(tǒng)開始運(yùn)行。
首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內(nèi)真空度達(dá)到某高真空度(該值可預(yù)設(shè))后,開始充入氮?dú)猓涞竭_(dá)到某低真空度(該值也可預(yù)設(shè))后的再次重復(fù)抽真空、充入氮?dú)獾倪^程,達(dá)到設(shè)定的充入氮?dú)獾拇螖?shù)后再次抽真空,然后充入藥液,達(dá)到設(shè)定時(shí)間后,停止充入藥液,進(jìn)入保持階段。當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定的保持時(shí)間后,再次開始抽真空、充入氮?dú)猓螖?shù)為設(shè)定值,當(dāng)系統(tǒng)自動(dòng)工作完成后,畫面切換到結(jié)束畫面,同時(shí)給出聲光報(bào)警等待取片,在自動(dòng)工作過程中若出現(xiàn)異?牲c(diǎn)擊運(yùn)行畫面中的停止鍵,隨時(shí)終止程序的運(yùn)行。5、 HMDS-90真空系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
內(nèi)部尺寸:450X450X450
電源: AC220V,功率:3000W
真空度: 常壓到—133pa或1TORR以下
材質(zhì): 內(nèi)部SUS316電解處理 外殼SS41靜電噴涂。
管路: SUS潔凈管
層架; SUS316材質(zhì)
門內(nèi)板: 鋼化玻璃
流程控制:液晶觸摸屏(臺(tái)灣威綸通)、PLC控制(三菱),流程可編輯,可以預(yù)存5組程序。(可根客戶要求可以更改流程)
加熱方式:腔體外側(cè)加溫。 溫度:RT+10℃~ 200℃;微電腦溫度控制器,控溫
精確可靠?販鼐龋1℃,真空室溫度均勻
氮?dú)庋b置:氮?dú)膺M(jìn)入箱內(nèi)有調(diào)壓裝置,控制有自動(dòng)閥完成。
HMDS裝置:HMDS藥液進(jìn)入箱內(nèi)采用壓力差吸取瓶?jī)?nèi)HMDS方式,自動(dòng)閥控制
真空泵:抽氣速度4升\秒
工作流程:
首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內(nèi)真空度達(dá)到某高真空度(該值可預(yù)設(shè))后,開始充入氮?dú),充到達(dá)到某低真空度(該值也可預(yù)設(shè))后的再次重復(fù)抽真空、充入氮?dú)獾倪^程,達(dá)到設(shè)定的充入氮?dú)獾拇螖?shù)后再次抽真空,然后充入藥液,達(dá)到設(shè)定時(shí)間后,停止充入藥液,進(jìn)入保持階段。當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定的保持時(shí)間后,再次開始抽真空、充入氮?dú),次?shù)為設(shè)定值,當(dāng)系統(tǒng)自動(dòng)工作完成后,畫面切換到結(jié)束畫面,同時(shí)給出聲光報(bào)警等待取片,在自動(dòng)工作過程中若出現(xiàn)異?牲c(diǎn)擊運(yùn)行畫面中的停止鍵,隨時(shí)終止程序的運(yùn)行。
溫度交變?cè)囼?yàn)箱http://www.shmaijie.net.cn/產(chǎn)品用途
高低溫試驗(yàn)箱:該儀器適用于工業(yè)產(chǎn)品高、低溫的可靠性試驗(yàn)。對(duì)電子電工、汽車摩托、航空航天、船舶兵器、高等院校、科研單位等相關(guān)產(chǎn)品的零部件及材料在高、低溫(交變)循環(huán)變化的情況下,檢驗(yàn)其各項(xiàng)性能指標(biāo)。產(chǎn)品具有較寬的溫度控制范圍,其性能指標(biāo)均達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。
溫度交變?cè)囼?yàn)箱設(shè)備工作原理
1. 工作原理
制冷工作原理:制冷循環(huán)采用逆卡若循環(huán),該循環(huán)出兩個(gè)等溫過程和兩個(gè)絕熱過程組成,其過程如下:制冷劑經(jīng)壓縮機(jī)絕熱壓縮到較高的壓力,消耗了的功使排氣溫度升高,之后制冷劑經(jīng)冷凝器等溫地和四周介質(zhì)進(jìn)行熱交換將熱量傳給四周介質(zhì)。后制冷劑經(jīng)截流閥絕熱膨脹做功,這時(shí)制冷劑溫度降低。最后制冷劑通過蒸發(fā)器等溫地從溫度較高的物體吸熱,使被冷卻物體溫度降低。此循環(huán)周而復(fù)始從而達(dá)到降溫之目的。本試驗(yàn)箱之制冷系統(tǒng)采用1套法國(guó)產(chǎn)泰康全封閉壓縮機(jī)所組成的單元氟利昂制冷系統(tǒng)。制冷系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)用能量調(diào)節(jié)技術(shù),既能保證制冷機(jī)組正常運(yùn)行,又能對(duì)制冷系統(tǒng)的能耗及制冷量進(jìn)行有效的調(diào)節(jié),使制冷系統(tǒng)保持在最佳的運(yùn)行狀態(tài)。采用平衡調(diào)溫(BTC),既在制冷系統(tǒng)在連續(xù)工作的情況下,控制系統(tǒng)根據(jù)設(shè)定之溫度點(diǎn)通過PID自動(dòng)運(yùn)算輸出的結(jié)果去控制加熱器的輸出量,最終達(dá)到一種動(dòng)態(tài)平衡。
2.滿足標(biāo)準(zhǔn)
系列試驗(yàn)箱適用于工業(yè)產(chǎn)品恒定濕熱的可靠性試驗(yàn)。性能指標(biāo)符合GB/T2423.1-2001 電工電子產(chǎn)品基本試驗(yàn)規(guī)程 試驗(yàn)A:低溫試驗(yàn)方法,GB/T2423.2-2001 電工電子產(chǎn)品基本試驗(yàn)規(guī)程 試驗(yàn)B:高溫試驗(yàn)方法,GB2424.1-89 電工電子產(chǎn)品基本環(huán)境試驗(yàn)規(guī)程。
推薦產(chǎn)品:步入式氣候循環(huán)試驗(yàn)室http://www.shmaijie.net.cn/
移動(dòng)式登車橋:用于現(xiàn)場(chǎng)無(wú)裝卸貨平臺(tái)或需要流動(dòng)裝卸貨物的場(chǎng)所。如果物流現(xiàn)場(chǎng)沒有裝卸貨平臺(tái),作為補(bǔ)救措施,移動(dòng)式登車橋是非常適用的方案之一,移動(dòng)式登車橋相當(dāng)于一個(gè)移動(dòng)的鋼結(jié)斜坡,叉車同樣能直接駛?cè)肟ㄜ囓噹麅?nèi)部進(jìn)行批量裝卸作業(yè)。只需單人操作,不需動(dòng)力電源,即可實(shí)現(xiàn)貨物的安全快速裝卸。
結(jié)構(gòu): 移動(dòng)式登車橋采用特制異型鋼管,臺(tái)面采用特制的菱形網(wǎng)格板,防滑(網(wǎng))板。它的波形鋼格網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),充分保證了卓越的防滑性能,使叉車有更好的爬坡性和可操縱性。配置的剎車墊(可有效防止貨車裝卸時(shí)液壓登車橋移位)?烧{(diào)節(jié)長(zhǎng)度的索鏈能方便地鉤住貨車,使登車橋與貨車始終緊密貼合。 移動(dòng)式液壓登車橋廣泛用于無(wú)裝卸設(shè)備的貨臺(tái)及流動(dòng)裝卸場(chǎng)所,是與叉車配合使用的貨物輔助設(shè)備。借助該設(shè)備,叉車能直接駛?cè)肫囓噹麅?nèi)部進(jìn)行批量裝卸作業(yè)。只需單人操作,不需動(dòng)力電源,即可實(shí)現(xiàn)貨物的安全快速裝卸。既可使您減輕勞動(dòng)強(qiáng)度,又能成倍提高裝卸作業(yè)效率,加快物料流通速度,獲取更大經(jīng)濟(jì)效益。
移動(dòng)登車橋是與叉車配合使用的貨物裝卸輔助設(shè)備,可根據(jù)汽車車廂的高低調(diào)節(jié)高度,叉車可以直接通過本設(shè)備駛?cè)胲噹麅?nèi)部進(jìn)行貨物的批量裝卸,僅需單人作業(yè),即可實(shí)現(xiàn)貨物的快速裝卸。它使企業(yè)減少大量勞力,提高工作效率,獲取更大經(jīng)濟(jì)效益
產(chǎn)品規(guī)格:6、8、10噸,與叉車配套使用,設(shè)備采用手動(dòng)液壓方式,無(wú)需電源 ,省時(shí)省力。 液壓登車橋使用場(chǎng)所:車型不一的企業(yè)、車站、碼頭、倉(cāng)儲(chǔ)物流基地。 移動(dòng)登車橋特點(diǎn):臺(tái)面采用特制的菱形網(wǎng)格板有可靠的強(qiáng)度,能保證長(zhǎng)期使用而不變形。它的菱形網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),充分保證了卓越的防滑性能,使叉車有更好的爬坡性和可操縱性。即使在雨、雪天氣,仍能保證正常使用。 可調(diào)節(jié)長(zhǎng)度的索鏈能方便地鉤住貨車,使移動(dòng)式登車橋與貨車始終緊密貼合。
采用手搖液壓泵作動(dòng)力,勿需外接動(dòng)力電源即可輕松實(shí)現(xiàn)登車橋的高度調(diào)節(jié)。
配置的剎車墊可有效防止貨車裝卸時(shí)登車橋移位。。 移動(dòng)登車橋結(jié)構(gòu):采用特制異型鋼管,臺(tái)面采用特制的菱形網(wǎng)格板,防滑(網(wǎng))板。它的波形鋼格網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),充分保證了卓越的防滑性能,使叉車有更好的爬坡性和可操縱性。配置的剎車墊(可有效防止貨車裝卸時(shí)液壓登車橋移位)?烧{(diào)節(jié)長(zhǎng)度的索鏈能方便地鉤住貨車,使登車橋與貨車始終緊密貼合.
型號(hào) | 額定溫度 | 額定功率 | 電壓/相數(shù)/頻率 | 爐膛尺寸 | 電爐重量 | |
GST-6-1400 | 1400 | 6 | 220v/50HZ | 250*150*150 | 180Kg | |
GST-10-1400 | 1400 | 10 | 380V/3/50HZ | 400*200*200 | 250kg | |
GST-20-1400 | 1400 | 20 | 380V/3/50HZ | 450*250*300 | 300Kg | |
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藍(lán)牙核心協(xié)議:Bluetooth2.0. 藍(lán)牙應(yīng)用協(xié)議:支持支持A2DP,AVRCP。功率等級(jí):Class 2設(shè)計(jì),距離10M。支持音樂播放,暫停,前一曲,后一曲功能