儀器型號機(jī)臺參數(shù) | VMS1510 | VMS3020 | VMS4030 | VMS5040 | |||
| X | 150 | 300 | 400 | 500 | ||
Y | 100 | 200 | 300 | 400 | |||
Z | 100 | 150 | 200 | 200 | |||
| 大理石臺面 | 350x250 | 500x370 | 600x470 | 700x70 | ||
玻璃臺面 | 260x160 | 360x260 | 460x60 | 560x60 | |||
承重 | 10kg | 15kg | 15kg | 15kg | |||
| CCD | 1/3E彩色高分辯率撮像機(jī)48萬像素 | |||||
變焦物鏡 | 0.7~4.5x連續(xù)變倍 | ||||||
視頻放大倍率 | 30~225X | ||||||
物方視場 | 10.6~1.6mm | ||||||
工作距離 | 90mm | ||||||
線性精度(um) | E1=2+L/200(L為被測長度) | ||||||
儀器重量(kg) | 150 | 250 | 350 | 450 |
| |||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
格參數(shù): | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
儀器標(biāo)準(zhǔn)配備及選購件(0.5X附加鏡,2X附加鏡,特殊配備0.5X鏡筒) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
技術(shù)參數(shù):
儀器參數(shù) | \\\\ | 儀器型號 | BROS-2010 | BROS-3020 | BROS-4030 |
測量范圍(MM) | X | 200 | 300 | 400 | |
Y | 100 | 200 | 300 | ||
Z | 120 | 120 | 120 | ||
工作臺(MM) | 硬鋁合金臺面 | 356×266 | 506×326 | 606×476 | |
玻璃臺面 | 260×160 | 360×260 | 460×360 | ||
承重 | 20kg | 20kg | 30kg | ||
影像及測量系統(tǒng) | CCD | 美國ezoom高分辨率彩色工業(yè)CCD 1/3英寸 480線 | |||
物鏡 | 0.7-4.5X連續(xù)變倍 | ||||
放大倍率 | 20-120X | ||||
工作距離 | 100 | ||||
顯示分辨率 | 0.001mm | ||||
線性精度(um) | E1=3+L/200 E2=3.5+L/150 (L為被測長度,單位為mm) | ||||
外形尺寸(mm) | 600×550×780 | 760×580×820 | 870×620×820 | ||
儀器重量 | 150kg | 215kg | 300kg | ||
照明 | LED表面光及輪廓光 | ||||
電源 | 220V±10%(AC) 50HZ |
技術(shù)規(guī)格參數(shù)
工 作 臺 | 金屬尺寸(mm) 700X450 玻璃臺尺寸(mm) 550X350 運(yùn)動行程(mm) 500X300 |
Z軸升降行程 | 200 | X 、Y、Z數(shù)顯戒心度:0.5μm |
工作距離 | 92mm | X 、Y坐標(biāo)示值誤差: ≤(3+L)μm(L為被測長度,單位:mm) |
影像系統(tǒng) | 攝像機(jī):SONY彩色1/2"CCD攝像機(jī) 雙焦鏡頭倍率:美國NAVITAR 0.7X~4.5X 視頻總倍率:23.5~148X 物方視場:11.1~1.7mm 表面光源與透射光源均用LED,亮度可調(diào) |
測量系統(tǒng) | VMS-F/ Ⅱ USB-302 M2D-AT 客戶自配電腦 |
電源 | 220V ± 10% 50/60Hz 總功率 50W (不包含電腦) |
壓縮空氣 | ≥ 0.5Mpa |
壓縮空氣流量 | 120L/min(.04MPa) |
工作環(huán)境 | 溫度(20 ± 2) ℃ 溫度 40%~70% |
儀器重量(kg) | 500 |
外形尺寸(mm) | 1600X800X1660 |
儀器配件 |
MicroLine-300是一款桌上型半自動CD測量系統(tǒng)。主要技術(shù)參數(shù):◆ 測量范圍(XYZ):標(biāo)準(zhǔn):200×200×25mm;可選:300x300x25◆ 視場內(nèi)測量精度:10nm(100X 鏡頭);Z軸聚焦范圍:25 mm◆ 視場內(nèi)測量范圍:0.5um~400um;◆ 視場內(nèi)測量重復(fù)性(100x 物鏡): 晶圓上<0.010um(1δ); 掩模板上0.005um(1δ);
◆ 承重:2kg
◆ 標(biāo)配鏡頭10x,可選鏡頭:5X, 20X, 50X, 100X
MicroLine 300 is a table type semi-automatic CD measurement system .
The main technical parameters :
◆ X,Y,Z Measuring Range (mm): standard :200x200x25 optional : 300X300x25
◆ The field measurement accuracy :10nm (100X lens ) Z Foucsing Range (mm) : 25
◆ The field measurement range :0.5um~400um;
◆ The field measurement repeatability (100X lens):on wafer < 0 0.010m(1δ);
on mask plate 0.005um(1δ);
◆ Max Recommanded Load : 2kg
◆ Lens : standard :10X
optional :5X,20X,50X,100X。