產(chǎn)品應(yīng)用:
DC、RF、mmW測試
納米級電子器件測試,微機電測試LAB DS.pdf
高功率測試
產(chǎn)品特點:
LAB系列為真正意義上的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計探針臺,讓用戶可完全圍繞實際應(yīng)用,選擇最適合的功能配置,確保最佳成本解決方案的同時滿足用戶將來的升級需求。
LAB系列可定制的模塊為:載物臺及其移動基座模塊、探針座放置平臺移動模塊和顯微鏡及其移動基座模塊。用戶可自行配置功能模塊的同時,還可根據(jù)自身需求增加探針卡夾具、激光器、微腔體屏蔽系統(tǒng)、半自動控制系統(tǒng)、全自動控制系統(tǒng)、高溫測試系等,滿足更多的應(yīng)用需求。
LAB系列還為用戶提供了一個高剛性和穩(wěn)定性的測試系統(tǒng)。載物臺移動基座和探針臺底座一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計,顯著地提高了載物臺的結(jié)構(gòu)剛性和穩(wěn)定性。顯微鏡支撐為龍門結(jié)構(gòu),可應(yīng)用于高放大倍率的光學(xué)系統(tǒng),保證光學(xué)系統(tǒng)的穩(wěn)定性。探針座放置平臺采用高剛性結(jié)構(gòu)設(shè)計,保證平臺板整體的垂直應(yīng)力形變在5μm/10N以內(nèi),擁有極高的穩(wěn)定性以滿足高精度探針座的定位要求。
技術(shù)指標(biāo) |
載物臺(常規(guī)晶圓載物臺) |
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尺寸 | 6"(152.4mm),可選更大尺寸,如8"或12" |
材質(zhì) | 不銹鋼 |
平整度 | ≤±2.5μm |
真空區(qū)域* | 0,2",4",6"環(huán)形吸附** |
真空控制 | 手動控制,獨立真空區(qū)域 |
真空驅(qū)動方式 | 真空泵 |
載物臺電性能 | 載物臺信號導(dǎo)通,可選擇接地或接信號 |
*根據(jù)載物臺尺寸有所不同,如載物臺尺寸為12",則真空吸附區(qū)域為0,2",4",6",8",12"。 ** 除環(huán)形吸附外,還可選微孔吸附式載物臺,以適用于厚度在50μm或以內(nèi)的晶圓。 | |
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載物臺移動基座 |
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X-Y軸行程范圍* | 6"*6"(152.4mm*152.4mm),可選更大行程 |
精度 | 1μm |
R軸粗調(diào)角度范圍 | 360° |
R軸細(xì)調(diào)角度范圍 | ±9° |
微調(diào)精度 | 0.0001°/deg |
Z軸細(xì)調(diào)行程范圍 | 13mm |
細(xì)調(diào)精度 | 1μm |
Z軸快升行程 | 0~6mm, 可調(diào) |
Z軸往復(fù)精度 | <1μm |
載物臺快速拖出行程 | 100mm |
*根據(jù)載物臺尺寸不同,行程有所不同,如載物臺為12",則X-Y移動行程為12"*12"。 | |
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探針座放置平臺 |
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材質(zhì) | 鋼,表面沉鎳處理 |
平臺板尺寸* | 可放置8個CM50或4個RF50探針座 |
平臺板至載物臺高度 | 1.496”(38mm) |
探針座兼容性 | 可兼容磁力或真空吸附底座的探針座 |
Z軸細(xì)調(diào)行程范圍 | 45mm |
Z軸快升行程 | 350μm |
Z軸往復(fù)精度 | <1μm |
*此處為6"探針臺可放置的探針座數(shù)量 ,更大尺寸探針臺詳詢客服人員。 | |
顯微鏡移動基座 |
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X-Y軸行程范圍 | 2"*2"(50mm* 50mm) |
X-Y軸精度 | 1μm |
調(diào)焦行程 | 2"(50mm) |
精度 | 1μm |
Z軸粗調(diào)行程 | 100mm |
氣動升降行程 | 40mm |
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光學(xué)系統(tǒng) |
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類型 | 金相顯微鏡,可選體視或單筒顯微鏡 |
光學(xué)放大倍數(shù)* | 20X-2000X |
* 根據(jù)所選物鏡或顯微鏡放大倍數(shù)不同會有不同的光學(xué)放大倍數(shù),詳細(xì)請咨詢客服人員。 | |
其它信息 |
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臺體尺寸 | 724mm*606mm*610mm(W*D*H) |
重量 | 120kg |
加熱載物臺(可選項) |
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尺寸 | 6"(152.4mm),可選更大尺寸,如8"或12" |
溫度范圍 | 室溫~300℃ |
溫控精度* | 0.5℃(典型值) |
溫度均勻性 | 0.5℃@6"載物臺 |
加熱時間 | <6min(室溫~300℃) |
標(biāo)準(zhǔn)配置的加熱臺為自然冷卻,可選風(fēng)冷或水冷套件。 |
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RF載物臺(可選項) |
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尺寸 | 6"(152.4mm),可選更大尺寸,如8"或12" |
校準(zhǔn)片載物臺 | 2個(獨立真空控制) |
尺寸 | 配套CS-5等尺寸的校準(zhǔn)片 |
校準(zhǔn)片載物臺角度調(diào)節(jié)范圍 | 7° |
材質(zhì) | 不銹鋼 |
平整度 | ≤±2.5μm |
真空驅(qū)動方式 | 真空泵 |
其它擴展配件(可選項) |
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探針卡夾具 | 可根據(jù)探針卡尺寸定制,應(yīng)用于多點或自動測試 |
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激光器 | 1064nm,532nm,355nm,三個波段自由配置,對芯片線路進行切割修改。 |
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半自動控制系統(tǒng) | 實現(xiàn)晶圓小批量半自動測試需求 |
設(shè)備環(huán)境要求 |
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電源 | 220V±10% |
真空 | -8bar |
壓縮空氣 | 0.6MPa |
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品牌簡介-PRCBE
展芯科技是一家專業(yè)的探針臺系統(tǒng)研發(fā)和生產(chǎn)商,致力于為用戶提供中國(PRC)精準(zhǔn)(Precise)、可靠(Reliable)和高性價比(Cost-effective)的探針臺系統(tǒng)。
依托于自有的芯片失效分析實驗室,展芯科技得以根據(jù)最前端的測試需求不斷地研發(fā)改進探針臺系統(tǒng),以滿足用戶日新月異的測試需求。同時,芯片失效分析實驗室也為展芯的探針臺系統(tǒng)提供了理論聯(lián)系實際的測試平臺,芯片分析實驗室用戶在使用探針臺系統(tǒng)的同時,也給我司產(chǎn)品提供了寶貴的改進建議。
經(jīng)過10年的發(fā)展和積累,展芯已在探針臺系統(tǒng)的應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域取得了卓越的成績,可針對用戶不同的測試需求定制解決方案,如微弱電流測試(1fA)、RF 和mmW測試(THz)、高功率測試(100A,10kV)、真空高低溫測試(-196℃~800℃)、光電測試等等。
憑借著PRC的產(chǎn)品,展芯贏得了半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)知名科研機構(gòu)和公司的信任和尊重,建立了長期的合作關(guān)系。展芯的探針臺系統(tǒng)已在國內(nèi)外的科研院所、學(xué)校和公司中獲得廣泛的使用,如中科院、廣州五所(賽寶實驗室)、北京自動化設(shè)備研究所、電子科技大學(xué)、西安電子科技大學(xué)、清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、香港大學(xué)、香港科技大學(xué)、香港城市大學(xué)、華為、中興、比亞迪、富士康等等。
感謝您對展芯的關(guān)注,相信我們PRC的產(chǎn)品定能讓您在集成電路 (IC)、電路板、光學(xué)器件、MEMS、3D TSV、LCD等先進半導(dǎo)體器件的精密電氣測量及測試中獲得精準(zhǔn)可靠的測試數(shù)據(jù)。
售后服務(wù)
2年質(zhì)量保修期
除探針耗材外,展芯科技銷售的產(chǎn)品質(zhì)量保證期為貨物簽收之日起2年,在此期間若合同標(biāo)的物出現(xiàn)質(zhì)量問題,均由展芯負(fù)責(zé)維修或替換,但以下情況除外:1. 自然原因?qū)е碌漠a(chǎn)品質(zhì)量衰退、精度下降;2. 人為或不可抗拒的自然現(xiàn)象而發(fā)生的損壞;3. 用戶擅自進行的拆解、改裝、功能附加或減除導(dǎo)致的損壞;4. 用戶自行或經(jīng)第三方維修導(dǎo)致的損壞。
免費終身維護
除探針耗材外,展芯科技銷售的產(chǎn)品均可享受免費終身維護服務(wù)。
探針溫度計,探針溫度表,表盤式探針溫度計,數(shù)字式探針溫度計,電子探針溫度計,探桿溫度計,燒烤探針溫度
15000全防水探針溫度計的詳細(xì)介紹 | |||||||||||||||||||||
快速檢測探針溫度計是主廚、食品安全檢查員和不定時查核產(chǎn) 品溫度的生產(chǎn)線經(jīng)理的選擇。一旦當(dāng)溫度穩(wěn)定在± 0.3 ° F(.2 ° C),它便會自動發(fā)出聲響并且鎖定最終溫度以操作正 確,排除操作員錯誤記錄的情況。 快速檢測探針溫度計由一種獨特的橡膠覆蓋,有防摔、防水的 功能。它可以無誤的讀取每一時刻的溫度,是專門為商業(yè)食品 加工或食物服務(wù)設(shè)備所做的設(shè)計。
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FCR-7xx200-2-1,5/2,5x100是一種帶小型探針的反射探頭,用于從漫反射或鏡面反射材料上獲取光譜信息。
這種探頭已經(jīng)用于許多醫(yī)療領(lǐng)域。 照射光源的光通過一個標(biāo)準(zhǔn)SMA905接頭耦合進由6根光纖組成的光纖束中,這些光纖直接連接到探頭末端。
樣品表面的反射光進入第7根光纖。這根光纖把光譜數(shù)據(jù)通過SMA905接頭傳輸?shù)焦庾V儀或光譜分析儀。
專門用于1.5mm直徑反射探頭的特制角度光纖支架(AFH-15)非常有用,它使反射探頭能夠以15o, 30o, 45o, 60o, 75o 和 90o進行反射測量,更詳細(xì)的信息請見本章末尾。
1.精密平臺尺寸:長375*寬245*高25mm2.平臺總高度:340mm3.測試高度可調(diào)范圍:10-265mm4.探頭移動行程:60mm
5.測試探頭選配:探頭類型:方型和直銷型;探針間距:1mm;2 mm;3 mm;
本機還可以配合各類環(huán)境溫度試驗箱體使用,通過不同的測量治具滿足不同環(huán)境溫度下測量方阻和電阻率的需求.
二、廣泛用于:覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜,高、低溫電熱膜;隔熱、防輻射導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層,電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料,其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測試
硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻 半導(dǎo)體材料/晶圓、太陽能電池、電子元器件,導(dǎo)電薄膜(ITO導(dǎo)電膜玻璃等),金屬膜,導(dǎo)電漆膜,蒸發(fā)鋁膜,PCB銅箔膜,EMI涂層等物質(zhì)的薄層電阻與電阻率 導(dǎo)電性油漆,導(dǎo)電性糊狀物,導(dǎo)電性塑料,導(dǎo)電性橡膠,導(dǎo)電性薄膜,金屬薄膜,抗靜電材料, EMI 防護材料,導(dǎo)電性纖維,導(dǎo)電性陶瓷等