μScan激光掃描光學(xué)輪廓儀 μScan激光掃描光學(xué)輪廓儀技術(shù)參數(shù) 傳感器模塊 AF4 CF4測量技術(shù) 自動對焦 共焦Z軸測量范圍(mm) 1.5 1 Z軸分辨率(um) 0.025 0.1光點(diǎn)大小(um) 1 1.5工作距離(mm) 2 4測量頻率(KHz) 10KHZ 1KHZCamera選購 同軸 側(cè)向 | ||
μScan激光掃描光學(xué)輪廓儀主要特點(diǎn) μScan采用模塊化設(shè)計(jì),特點(diǎn)是快速測量、不接觸、不破壞、自動化。 μScan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器(Z方向測量)連用,如Confocal point sensor、Autofocus sensor、Chromatic white light sensor、Holographic sensor等。 AF2 自動對焦(Autofocus) 借由探測器的回饋訊號調(diào)整物鏡位置,得到待測物焦點(diǎn),而獲得待測物的確實(shí)高度。 CF4 共焦(Confocal, Laser) 激光光束經(jīng)由物鏡迅速上下移動聚焦于待測物上,此時(shí)偵測器能經(jīng)由孔洞得到最大光的強(qiáng)度,如此偵測器根據(jù)此訊號確定其位置。 應(yīng)用: 集成電路封裝和表面貼片技術(shù) 厚膜混合電路:膜厚度的自動化測量 精密部件 | ||
德國Nanofocus是一家全球領(lǐng)先的高科技公司,是微納米尺度上的光學(xué)表面測量技術(shù)的全球,生產(chǎn)的光學(xué)輪廓儀是科學(xué)研究和工業(yè)領(lǐng)域廣泛應(yīng)用的設(shè)備,為大眾、寶馬、西門子、飛利浦、BOSCH等世界知名企業(yè)提供精密的解決方案。 德國Nanofocus公司的表面光學(xué)輪廓儀在光學(xué)設(shè)計(jì)、精密機(jī)械和科學(xué)軟件算法方面,擁有不斷發(fā)展的專利技術(shù),由于這些專門技術(shù)的應(yīng)用,Nanofocus為生產(chǎn)和質(zhì)量控制的研究和發(fā)展提供精密的解決方案。 Nanofocus的表面測量系統(tǒng)適用于研發(fā)和生產(chǎn)過程控制中的定性和定量測量,其核心部件達(dá)到納米尺度的創(chuàng)新的光學(xué)設(shè)計(jì),其強(qiáng)大且友好的軟件控制使所需獲得的數(shù)據(jù)不僅速度快,而且精度高,并提供了多種不同的表面分析方法。 NanoFocus有兩種光學(xué)測量系統(tǒng):μSurf(白光共軛焦輪廓儀)和μScan(激光輪廓測量儀) 主要系統(tǒng)特點(diǎn): A. 高精度測量,結(jié)果可作為計(jì)量標(biāo)準(zhǔn) B. 高再現(xiàn)性和性 C. 實(shí)際應(yīng)用方便 D. 綜合能力強(qiáng) 如果您目前還不能確定需要什么性能的配置,或者還不清楚未來所需,Nanofocus可以向您提供了的選擇及升級版本,滿足您測量的需要,節(jié)約您的經(jīng)費(fèi),促進(jìn)您的生產(chǎn)和科研,并確保您的投資受益。 德國Nanofocus在全球各個(gè)國家的分公司,在各地商務(wù)會議中心,我們經(jīng)常提供相應(yīng)的技術(shù)講座/培訓(xùn)以及研討會。在亞太,我們同樣不定期的舉辦各種形式的技術(shù)培訓(xùn)及研討會,歡迎您在任何方便的時(shí)候加入。另外,德國Nanofocus公司協(xié)助客戶進(jìn)行海外實(shí)習(xí)和相關(guān)學(xué)位的培養(yǎng)。 請與Nanofocus中國總代理上海柏匯申生物科技有限公司聯(lián)系,柏匯申可以為您做免費(fèi)的樣品分析,并可以根據(jù)你的需求,定制解決方案! |
NT9100的量測性能與其他NT9000系列產(chǎn)品相當(dāng),但其較小的尺寸及靈活的配置為用戶將來的發(fā)展提供了基礎(chǔ)。系統(tǒng)包含了完整版的Vision分析軟件,該軟件是行業(yè)內(nèi)功能最全的分析軟件,可實(shí)現(xiàn)二維和三維的數(shù)據(jù)分析及可視化功能。Vision軟件為用戶提供了200余種分析工具,包括自動測序功能、數(shù)據(jù)記錄和實(shí)時(shí)反饋及統(tǒng)計(jì)控制過程的合格/不合格標(biāo)準(zhǔn)。用戶采用可選的MATLAB® 軟件包還可以定制專門的數(shù)據(jù)分析用戶界面。
Contour GT系統(tǒng)利用白光干涉來測量納米級至微米級的表面形貌,并且具有業(yè)界最大視場下的垂直分辨率。儀器具備多種倍率物鏡(1.25倍-100倍),可以表征具有不同表面形狀和結(jié)構(gòu)的樣品。而且在任何放大倍數(shù)下,系統(tǒng)的縱向范圍都能夠達(dá)到亞-埃至毫米級,其靈活性無可比擬。
本公司精力打造高科技產(chǎn)品,力爭成為國內(nèi)科研儀器供應(yīng)商。同時(shí),我們售前,售中,售后全程為您服務(wù)。歡迎來電咨詢!
光學(xué)輪廓儀 參數(shù):
光學(xué)輪廓儀 產(chǎn)品說明:
μsurf系列產(chǎn)品采用多孔共聚焦技術(shù),結(jié)合CCD的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞,再將物鏡垂直移動,以類似斷層攝影方式,可在短時(shí)間(約幾秒)內(nèi)精確量測物體的三維數(shù)據(jù)。其測量方式是非接觸式,不會破壞樣品的表面,不需要在真空環(huán)境下測量,也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本,其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在測量漸變較大的高度時(shí),跟其他方法相比,可以更精確量測物體高度,建立3D立體影像,優(yōu)勢相當(dāng)明顯。
NanoFocus μsurf explorer機(jī)臺功能齊全,結(jié)構(gòu)緊湊,性價(jià)比高,并擁有超高光學(xué)分辨率和最全面廣泛的三維表面形貌分析能力。
n 應(yīng)用
μsurf系列用來測量表面物理形貌,進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。
ü 精密部件:檢測對表面磨損,表面粗糙度,表面微結(jié)構(gòu)有要求的零部件,比如發(fā)動機(jī)汽缸、刀口等;
ü 生命科學(xué):測量stents支架上鍍層厚度等
ü 微電子機(jī)械系統(tǒng):微型器件的檢測,醫(yī)藥工程中組織結(jié)構(gòu)的檢測,如基因芯片等
ü 半導(dǎo)體:檢測微型電子系統(tǒng),封裝及輔助產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
ü 太陽能:電池片柵線的3D形貌表征、高寬比測量,制絨后3D形貌表征(單晶金字塔大小、數(shù)量、角度,多晶腐蝕坑形貌、密度),粗糙度分析等
ü 紙張:紙張、錢幣表面三維形貌測量
n 技術(shù)參數(shù)
LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
測量時(shí)間:5~10秒
測量原理:非接觸、共聚焦
X/Y方向,平臺移動范圍:50mmX50mm,馬達(dá)驅(qū)動,分辨率:0.3μm
Z方向測量范圍:250μm,分辨率:2nm
物鏡:10X、20X、50X、100X(可選)
計(jì)算機(jī):高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng),功能全面的軟件,有拼接功能,
工作電源:100-240V, 50-60Hz, input<45W
材質(zhì):鋼鐵、橡膠、大理石
外型尺寸:710x270x330 mm (HxWxD)
重量:28KG
潔凈室等級: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)