| 型 號(hào) | XP-703D |
| 檢測(cè)對(duì)象氣體 | 半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙、硅烷、氫氣等） |
| 檢測(cè)原理 | 熱線型半導(dǎo)體式 |
| 采樣方式 | 自動(dòng)吸引式 |
| 可檢測(cè)濃度 （單位：ppm） | 砷烷 磷烷 乙 硅烷 氫氣 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
| 檢測(cè)表示 | 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍 |
| 應(yīng)答速度 | 10秒以內(nèi) |
| 型號(hào) | XP-703D |
|---|---|
| 檢測(cè)對(duì)象氣體 | 半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等） |
| 檢測(cè)原理 | 熱線型半導(dǎo)體式 |
| 采樣方式 | 自動(dòng)吸引式 |
| 可檢測(cè)濃度 （單位：ppm） | 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
| 檢測(cè)表示 | 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍 |
| 應(yīng)答速度 | 10秒以內(nèi) |