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EL X-01R、EL X-02 C、EL X-02 spec橢偏儀

 DRE公司設(shè)計的基于誤差修正的步進馬達和MinSearch算法基礎(chǔ)上的高精度橢偏儀,測量更為簡單、快速,而且結(jié)果更為。樣品的Alignment非常簡單,只需調(diào)整樣品臺下方的旋鈕,改變 Light Angle Light Intensity,并借助四象限探測器在計算機屏幕上顯示的調(diào)整狀況,便可在不超過 30 秒鐘的時間內(nèi)完成。無需經(jīng)常做儀器校準(zhǔn)。由于使用高精度的 Step Motor,且無需使用Reference Sample經(jīng)常進行做儀器Calibration?蛇M行超薄膜(皮米級)的分析?蛇M行半導(dǎo)體Si Wafer 表面灰塵的分析,這是目前所有橢偏儀廠商中具備此項功能的一家。薄膜粗糙度 (Roughness) 的表征也是目前所有橢偏儀制造廠中獨具特色的一家?蛇M行變溫(液氮至400ºC)測量?焖Mapping測量。使用X-Y 樣品臺, 進行 1 /點的Mapping 或微秒/點的快速掃描。可分析 8" 甚至于 12" Si Wafer的厚度變化。可進行微區(qū)分析(激光焦斑的尺寸可達1微米)。應(yīng)用范圍非常廣泛:如Si襯底上的SiO2SixNy薄膜,光電子涂層,各種磁性薄膜,平板顯示工業(yè)的 ITO薄膜和薄膜晶體管的結(jié)構(gòu),生物和化學(xué)工業(yè)的各種有機層、分子膜,光觸媒用TiO2 薄膜分析,鋁熱交換器表面抗氧化薄膜,奔馳汽車引擎或汽缸激光焊接前的清潔薄膜分析等。同時,提供多種光譜儀選擇,如回轉(zhuǎn)檢偏器橢偏儀(RAE),高精度橢偏儀,消光型橢偏儀(Null Ellipsometer),光譜型橢偏儀(Spectroscopic Ellipsometer,190~2400 nm,可選),超高精度傳動橢偏儀等。

橢偏儀

膜厚范圍:0-30000nm 折射指數(shù):± 0.0001 厚度度:± 0.01nm

SE200光譜橢偏儀

產(chǎn)品指標(biāo):

波長范圍:250nm到1100 nm

光斑尺寸:1mm至5mm

樣品尺寸:直徑可達200mm

測量厚度范圍:10μm

測量時間:約1秒/位置點

入射角范圍:20到90度,5度間隔

重復(fù)性誤差:小于1 Ǻ

  
應(yīng)用領(lǐng)域 

·   半導(dǎo)體制造(PR,Oxide, Nitride..
·   光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
·   液晶顯示(ITO,PR,Cell gap... ..
·  薄膜晶體管TFT上的層堆疊
·  醫(yī)療器械上的涂層
·   用在MEMS/MOEMS領(lǐng)域的功能性薄膜
·   非晶體,納米材料和結(jié)晶薄膜
·   薄金屬膜
 
 實現(xiàn)功能: 1 對于薄膜、涂層、大基底的光學(xué)常數(shù)(折射率n和消光系數(shù)k) 2 對于薄膜的非破壞性厚度測量。  3 對于各種薄膜中合金濃度的測定,例如SiGe合金中Ge的測定、AlGaN膜中Al的測定。 4 對于GaN、SiC、AlN、AlGaN等,它們帶隙的測定。 5 在低介電常數(shù)下測定薄膜的孔隙率。 6 測定納米復(fù)合材料中所含每種成分的體積比含量。  7 可以測定多層堆疊或者像量子阱結(jié)構(gòu)的周期性結(jié)構(gòu)中的每一層的物理厚度和光學(xué)特性。  8 對薄膜在密度或合金的濃度上的不均勻性進行分析  9 分析高介電常數(shù)薄膜的光學(xué)特性  10金屬薄膜、金屬化合物(例如WN、TiN、TaN等)、 摻雜半導(dǎo)體epi層(同時也決定了厚度)及其他的諸如ITO薄膜等復(fù)合氧化物的電導(dǎo)率進行無損檢測。  11摻雜半導(dǎo)體摻雜濃度的無損檢測

 

 

 
該公司產(chǎn)品分類: 恒流泵 恒壓恒流進樣泵 微流控

SE200BM型橢偏儀

產(chǎn)品特點:

  • 易于安裝
  • 基于視窗結(jié)構(gòu)的軟件,很容易操作
  • 的光學(xué)設(shè)計,以確保能發(fā)揮出的系統(tǒng)性能
  • 能夠自動的以0.01度的分辨率改變?nèi)肷浣嵌?/li>
  • 高功率的DUV-VIS光源,能夠應(yīng)用在很寬的波段內(nèi)
  • 基于陣列設(shè)計的探測器系統(tǒng),以確保快速測量
  • 最多可測量12層薄膜的厚度及折射率
  • 能夠用于實時或在線的監(jiān)控光譜、厚度及折射率等參數(shù)
  • 系統(tǒng)配備大量的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)庫
  • 對于每個被測薄膜樣品,用戶可以利用的TFProbe3.0軟件功能選擇使用NK數(shù)據(jù)庫、也可以進行色散或者復(fù)合模型(EMA)測量分析
  • 三種不同水平的用戶控制模式:專家模式、系統(tǒng)服務(wù)模式及初級用戶模式
  • 靈活的專家模式可用于各種獨特的設(shè)置和光學(xué)模型測試
  • 健全的一鍵按鈕(Turn-key)對于快速和日常的測量提供了很好的解決方案
  • 用戶可根據(jù)自己的喜好及操作習(xí)慣來配置參數(shù)的測量
  • 系統(tǒng)有著全自動的計算功能及初始化功能
  • 無需外部的光學(xué)器件,系統(tǒng)從樣品測量信號中,直接就可以對樣品進行精確的校準(zhǔn)
  • 可精密的調(diào)節(jié)高度及傾斜度
  • 能夠應(yīng)用于測量不同厚度、不同類型的基片
  • 各種方案及附件可用于諸如平面成像、測量波長擴展、焦斑測量等各種特殊的需求
  • 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數(shù)據(jù)管理界面。

 

系統(tǒng)配置: 

  • 型號:SE200BM-M300
  • 探測器:陣列探測器
  • 光源:高功率的DUV-Vis-NIR復(fù)合光源
  • 指示角度變化:手動調(diào)節(jié)
  • 平臺:ρ-θ配置的自動成像
  • 軟件:TFProbe 3.2版本的軟件
  • 計算機:Inter雙核處理器、19”寬屏LCD顯示器
  • 電源:110–240V AC/50-60Hz,6A
  • 保修:一年的整機及零備件保修

 

基本參數(shù):

  • 波長范圍:250nm到1000 nm
  • 波長分辨率: 1nm
  • 光斑尺寸:1mm至5mm可變
  • 入射角范圍:0到90度
  • 入射角變化分辨率:5度間隔
  • 樣品尺寸:最大直徑為300mm
  • 基板尺寸:最多可至20毫米厚
  • 測量厚度范圍*:0nm〜10μm
  • 測量時間:約1秒/位置點
  • 精確度*:優(yōu)于0.25%
  • 重復(fù)性誤差*:小于1 Ǻ

 

應(yīng)用領(lǐng)域:               

  • 半導(dǎo)體制造(PR,Oxide, Nitride..)
  • 液晶顯示(ITO,PR,Cell gap... ..)
  • 醫(yī)學(xué),生物薄膜及材料領(lǐng)域等
  • 油墨,礦物學(xué),顏料,調(diào)色劑等
  • 醫(yī)藥,中間設(shè)備
  • 光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
  • 半導(dǎo)體化合物
  • 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜
  • 非晶體,納米材料和結(jié)晶硅

 

產(chǎn)品可選項:             

  • 用于反射的光度測量或透射測量
  • 用于測量小區(qū)域的微小光斑
  • X-Y成像平臺(X-Y模式,取代ρ-θ模式)
  • 加熱/致冷平臺
  • 樣品垂直安裝角度計
  • 波長可擴展到遠DUV或IR范圍
  • 掃描單色儀的配置
  • 聯(lián)合MSP的數(shù)字成像功能,可用于對樣品的圖像進行測量

111橢偏儀

 

【激光系列產(chǎn)品】
 
 固體激光器 半導(dǎo)體激光器 氣體激光器 離子激光器 光纖激光器 大功率光纖耦合激光器 皮秒激光器 飛秒激光器 調(diào)Q脈沖激光器 激光二極管控制器 激光功率計 激光護目鏡 激光波長測量 激光光束分析儀 多通道激光功率計 大功率激光器 激光光束位置測量儀 激光擴束鏡 激光準(zhǔn)直器 紅外激光顯示卡 紅外激光觀察儀 紅外觀察儀 激光測距儀 激光器溫度控制器 激光光纖耦合器 高穩(wěn)定性激光器 相干型激光器 自相關(guān)儀 飛秒激光倍頻器 可變光闌 便攜式激光器 染料激光器 激光光譜測量 熱電制冷片 激光光束定位系統(tǒng) 2微米光纖激光器 飛秒光纖激光器 皮秒光纖激光器 脈沖光纖激光器 光纖隔離器 拉曼激光器 光功率計
 
【光譜測試儀器】
 
 紫外可見光譜儀 便攜式光譜儀 高分辨率光譜儀 高靈敏度光譜儀 制冷型光譜儀 中紅外光譜儀 熒光光譜儀 拉曼光譜儀 極紫外光譜儀 真空紫外光譜儀 多通道光譜儀 教學(xué)型光譜儀 LED光測量光譜儀 色坐標(biāo)色溫測量儀 燈具光譜測量儀 透射譜吸光度光譜儀 絕對輻射光譜儀 流體吸光度光譜儀 流體熒光光譜儀 膜厚測量儀 橢偏儀 太陽能電池IPCE測量系統(tǒng) 太陽能電池QE測量系統(tǒng) 太陽能電池光譜響應(yīng)系統(tǒng) 單色儀 濾光片輪 濾光片透射率測試儀 太赫茲光譜儀 等離子體光譜儀 環(huán)境輻射儀 近紅外光譜儀 元素分析儀 氧含量測量 信號發(fā)生器 近紅外谷物接收系統(tǒng) 顆粒分析儀 熒光壽命光譜儀 三維表面輪廓儀
 
【光學(xué)精密機械】
 
 干涉儀 光學(xué)平臺 光學(xué)鏡架 手動平移臺 手動旋轉(zhuǎn)臺 手動擺動臺 手動組合平臺 電動平移臺 電動轉(zhuǎn)動臺 電動擺動平臺 電動組合平臺 壓電陶瓷平臺 壓電陶瓷制動器 高穩(wěn)定防震平臺
 
【光源】
 
 氙燈光源 氘燈光源 氘鹵雙光源 LED光源燈 鹵素?zé)艄庠?/span> 光催化氙燈光源 積分球 積分球均勻光源 太陽模擬器 紫外固化機 寬帶超連續(xù)光源 顯微鏡光源
 
【光學(xué)影像】
 
 紫外CCD相機 近紅外CCD相機 制冷型CCD相機 高速相機   顯微鏡 CID相機 紅外相機/熱像儀
 
 
【光學(xué)元件】
 
 窗片/窗口 反射鏡 透鏡 光學(xué)基片 分光鏡 棱鏡 晶體 濾光片 波長板 擴散板 起偏器 光學(xué)鏡頭 光纖產(chǎn)品 光柵尺 光柵
 
【光通信儀器】
 
 ASE光源 光纖放大器 光通信激光器 光功率計 可調(diào)諧激光光源 光纖測量系統(tǒng) 光衰減器 光纖熔接機 光通信探測器 光調(diào)制器 SLED光源 SLED模塊 光源 高功率EDFA 光收發(fā)機 拉曼EDFA組合放大器 拉曼泵浦模塊 偏振光合束器 拉曼放大器
 
【生物分析儀器】
 

 動物注射泵 樣品均質(zhì)器 粘合劑分配器 蠕動泵

橢偏儀

產(chǎn)品 >> 光譜測試儀器 >> 橢偏儀   共有 1 個產(chǎn)品
 

 
 
 
 
 
 
名稱: SpecEI橢偏儀
編號: 4716301416
 

【激光系列產(chǎn)品】 固體激光器  半導(dǎo)體激光器  氣體激光器  氬離子激光器  光纖激光器  大功率光纖耦合激光器  皮秒激光器  飛秒激光器  調(diào)Q脈沖激光器  激光二極管控制器  激光功率計  激光護目鏡  激光波長測量  激光光束分析儀  多通道激光功率計  大功率激光器  激光光束位置測量儀  激光擴束鏡  激光準(zhǔn)直器  紅外激光顯示卡  紅外激光觀察儀  紅外觀察儀  激光測距儀  激光器溫度控制器  激光光纖耦合器  高穩(wěn)定性激光器  相干型激光器  自相關(guān)儀  飛秒激光倍頻器  可變光闌  便攜式激光器  染料激光器  激光光譜測量  熱電制冷片  激光光束定位系統(tǒng)  視頻顯微鏡測量系統(tǒng)  2微米光纖激光器  飛秒光纖激光器  皮秒光纖激光器  脈沖光纖激光器  光纖隔離器  拉曼激光器  光功率計  飛秒激光脈沖自相關(guān)儀  激光二極管參數(shù)分析儀  激光二極管電流控制器 【光譜測試儀器】 光纖光譜儀  微型光纖光譜儀  高分辨率光譜儀  高靈敏度光譜儀  制冷型光譜儀  中紅外光譜儀  熒光光譜儀  拉曼光譜儀  極紫外光譜儀  真空紫外光譜儀  多通道光譜儀  教學(xué)型光譜儀  LED光測量光譜儀  色坐標(biāo)色溫測量儀  燈具光譜測量儀  透射譜吸光度光譜儀  絕對輻射光譜儀  流體吸光度光譜儀  流體熒光光譜儀  膜厚測量儀  橢偏儀  太陽能電池IPCE測量系統(tǒng)  太陽能電池QE測量系統(tǒng)  太陽能電池光譜響應(yīng)系統(tǒng)  單色儀  濾光片輪  濾光片透射率測試儀  太赫茲光譜儀  等離子體光譜儀  環(huán)境輻射儀  近紅外光譜儀  元素分析儀  氧含量測量  信號發(fā)生器  近紅外谷物接收系統(tǒng)  顆粒分析儀  熒光壽命光譜儀  三維表面輪廓儀  微型光譜儀 【光學(xué)精密機械】 干涉儀  光學(xué)平臺  光學(xué)鏡架  手動平移臺  手動旋轉(zhuǎn)臺  手動擺動臺  手動組合平臺  電動平移臺  電動轉(zhuǎn)動臺  電動擺動平臺  電動組合平臺  壓電陶瓷平臺  壓電陶瓷制動器  高穩(wěn)定防震平臺 【光源】 氙燈光源  氘燈光源  氘鹵雙光源  LED光源燈  鹵素?zé)艄庠?nbsp; 光催化氙燈光源  積分球  積分球均勻光源  太陽模擬器  紫外固化機  寬帶超連續(xù)光源  顯微鏡光源 【光學(xué)影像】 紫外CCD相機  近紅外CCD相機  制冷型CCD相機  高速相機  夜視儀  顯微鏡  CID相機  熱像儀 【探測器】 照度計  亮度計  輻射計  便攜式色差計  太陽光功率計  快速反應(yīng)探測器  前置放大探測器  光纖耦合探測器  液氮制冷探測器  皮秒超快探測器  位敏探測器  四象限探測器  雙色探測器  紫外輻照計  硅光電探測器  近紅外探測器  中紅外探測器  雪崩二極管  光電倍增管 【光學(xué)元件】 窗片/窗口  反射鏡  透鏡  光學(xué)基片  分光鏡  棱鏡  晶體  濾光片  波長板  擴散板  起偏器  光學(xué)鏡頭  光纖產(chǎn)品  光柵尺  紅外鏡頭  光柵 【光通信儀器】 ASE光源  光接收機  光纖放大器  光發(fā)射機  光通信激光器  光功率計  可調(diào)諧激光光源  光纖測量系統(tǒng)  光衰減器  光纖熔接機  光通信探測器  光調(diào)制器  傳感器解調(diào)儀  SLED光源  SLED模塊  多波段SLED光源  大功率EDFA  光收發(fā)機  激光發(fā)射機  拉曼EDFA組合放大器  拉曼泵浦模塊  偏振光合束器  拉曼放大器  保偏EDFA  摻鐿光纖放大器  摻鐿光纖放大器模塊  半導(dǎo)體光放大器  大功率光纖放大器  光接收機模塊  半導(dǎo)體光放大器模塊  40通道多路復(fù)用器  1064nm穩(wěn)定的激光器光源  DWDM多路復(fù)用器  FBG光纖耦合激光器光源  FBG激光光源模塊  波長掃描激光器  單模背射儀  電控可變光衰減器  多波長儀  多通道可變光衰減器  光波元器件分析儀  光放大器分析儀  光網(wǎng)絡(luò)測試儀  光網(wǎng)絡(luò)分析儀  光纖干涉儀  回波損耗儀系統(tǒng)  可調(diào)諧光濾波器  色散補償模塊  微型光時域反射儀  蝶形激光器/DFB激光器  大功率蝶形激光器  寬帶RF放大器模塊  寬帶RF放大器  DFB蝶形激光器  DFB激光器模塊  DWDM光分插模塊  980nm泵浦激光器  ASE光源模塊  C+L波段ASE光源  CWDM 2mW DFB激光器  F-P激光器  保偏隔離器  大功率保偏隔離器  大功率光隔離器  光隔離器  光開關(guān)模塊  可調(diào)諧C波段激光器  外調(diào)制激光器  拉曼放大器泵浦激光器/EDFA泵浦激光器  便攜式光時域反射儀 【生物分析儀器】 動物注射泵  樣品均質(zhì)器  粘合劑分配器  蠕動泵  搖擺振蕩器  細(xì)胞分離/勻漿漩渦混合器

供應(yīng)橢偏儀/上海/蘇州/無錫/南京/天津/北京/武漢/西安

橢偏儀-----上海/蘇州/無錫/南京/天津/北京/武漢/西安/杭州/濟南/廣州

產(chǎn)品特點:

Ø 高品質(zhì)之光學(xué)與電動元件,無需防震桌。 

Ø 燈泡更換容易,客戶可自行操作,無需校正。 

Ø FFT-在應(yīng)用分析上,可除了橢圓儀原本的回歸分析,還增加了傅利葉的分析方式,可針對不同的材料與厚度使用,User使用上更為便利與快速.

Ø 具有Analyzer Tracking功能,可大幅提昇量測精度,與PEM之效果相同。

Ø 可搭配反射儀使用,可於日後Upgrade

Ø 可量測透明基板,無需背後處理。 

Ø Upgrade為 in line量測設(shè)備。

Ø 採用美國進口光譜儀,量測速度快。

Ø 使用步進馬達並非Rotating Polarizer,避免馬答損壞。 

Ø 固定量測角度-70度,可避移動時所造成的量測誤差與機械損害光學(xué)儀器都應(yīng)減少移動。 

Ø 性價比極佳,品質(zhì)及量測能力可達到世界水準(zhǔn),公司備有DEMO儀器,可供客戶實施操作比較。

技術(shù)參數(shù):

波長範(fàn)圍:350nm-1050nm

快速全自動量測 

精密量測膜厚及折射率 

各種功能材料的光學(xué)常數(shù)測量和光譜特性分析 

橢貨參數(shù)精度:  ≦0.01for Tan (ψ);  ≦0.01 for Cos (Δ

直接測量透明基板上之鍍膜,無需基板背面處理或染黑

量測范圍:15Å-severaol um

量測應(yīng)用:         - 太陽能電池、LED鍍膜、新材料鍍膜        - TFT-LCD: SIOx,SiNx,a-Si:H,N+a-Si,Photo Resists...        - SEMI:         - High-k:Al2O3,SiO2,Si3N4,SiNX,HfO2,Ta2O5,ZrO2        - Low-k: SiOC,SiOF,SOG,BPSG …

具體型號及技術(shù)要求歡迎來電咨詢

聯(lián)系方式:

蘇州諾威特測控科技有限公司

Add:中國蘇州市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)金楓南路198號

聯(lián)系人:鄒小姐

Tel:18913500435

Fax:

E-mail:info@novtec.hk

http://www.novtec.hk

公眾微信推薦:諾威特光伏(novteccs)諾威特汽車(novtecqc)諾威特光電(sznovtec)

該公司產(chǎn)品分類: 新能源汽車 智能倉儲系統(tǒng) 智能倉儲系統(tǒng) 倉儲系統(tǒng) 鋰電池自動分選 光譜儀 atlas 腐蝕試驗設(shè)備 反射儀 模擬器 橢偏儀 掃描儀 led 薄膜測厚儀 光伏組件測試 熱量分析儀 鹽霧實驗箱 紫外老化試驗箱 鹽霧試驗箱 試驗箱

SE200BA 橢偏儀

    

基本功能

1,測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)

2,薄膜均勻性測試以及模擬運算功能等

產(chǎn)品特點

l  強大的數(shù)據(jù)運算處理功能及材料NK數(shù)據(jù)庫;

l  簡便、易行的可視化測試界面,可根據(jù)用戶需求設(shè)置不同的參數(shù);

l  快捷、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的參數(shù)測試;

l  支持多功能配件集成以及定制;

l  支持不同水平的用戶控制模式;

l  支持多功能模擬計算等等。

系統(tǒng)配置

型號:SE200BM-M300

探測器:陣列探測器

光源:高功率的DUV-Vis-NIR復(fù)合光源

測量角度變化:軟件設(shè)置自動調(diào)節(jié)

平臺:ρ-θ配置的自動成像

軟件:TFProbe 3.2版本的軟件

計算機:Inter雙核處理器、19”寬屏LCD顯示器

電源:110–240V AC/50-60Hz,6A

保修:一年的整機及零備件保修

規(guī)格

波長范圍:250nm到1000 nm

波長分辨率: 1nm

光斑尺寸:1mm至5mm可變

入射角范圍:10到90度

入射角變化分辨率:0.01度

樣品尺寸:最大直徑為300mm

基板尺寸:最多可至20毫米厚

測量厚度范圍*:0nm~10μm

測量時間:約1秒/位置點

精確度*:優(yōu)于0.25%

重復(fù)性誤差*:小于1 Ǻ

可選配件項

l  用于反射的光度測量或透射測量;

l  用于測量小區(qū)域的微小光斑;

l  用于改變?nèi)肷浣嵌鹊淖詣恿拷瞧鳎?/p>

l  X-Y成像平臺(X-Y模式,取代ρ-θ模式)

l  加熱/致冷平臺;

l  樣品垂直安裝角度計;

l  波長可擴展到遠DUV或IR范圍;

l  掃描單色儀的配置

l  聯(lián)合MSP的數(shù)字成像功能,可用于對樣品的圖像進行測量等。

應(yīng)用領(lǐng)域

主要應(yīng)用于透光薄膜分析類領(lǐng)域:

l  玻璃鍍膜領(lǐng)域(LowE、太陽能…)

l  半導(dǎo)體制造(PR,Oxide, Nitride…)

l  液晶顯示(ITO,PR,Cell gap...)

l  醫(yī)學(xué),生物薄膜及材料領(lǐng)域等

l  油墨,礦物學(xué),顏料,調(diào)色劑等

l  醫(yī)藥,中間設(shè)備

l  光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

l  半導(dǎo)體化合物

l  MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜

l  非晶體,納米材料和結(jié)晶硅

 

等離子表面處理設(shè)備 生命科學(xué)儀器 表面分析儀器 電子測量儀器

EP3nanofilm呈像橢偏儀

[EP3] 德國nanofilm公司于1991年開發(fā)出了世界上臺Brewster角顯微鏡(BAM),該儀器主要用于薄層膜的觀察。近幾年來,nanofilm又相繼推出了不同用途的BAM產(chǎn)品以及相應(yīng)的配套儀器,其款的EP3橢圓偏振成相系統(tǒng)把橢圓偏振法與顯微鏡法相結(jié)合,為其進入到生物分析和微電子等新的研究領(lǐng)域提供了可能。 應(yīng)用領(lǐng)域: 橢圓光度法是一種非破壞性和無需標(biāo)記的、用于確定膜厚和材料光學(xué)特性的方法。通過把橢圓光度法與顯微鏡法相結(jié)合,影像橢圓光度儀不斷改進,平面精度已經(jīng)能夠達到1μm,立體精度已提高到1nm,為其進入到生物分析和微電子等新的研究區(qū)域提供了可能。EP3是德國nanofilm公司最近推出的新一代橢圓光度儀產(chǎn)品。主要應(yīng)用于以下各種尖端領(lǐng)域: 生物芯片:同次性、膜厚、雜交、動力學(xué)等測量 LB/單層/自組合單層膜/活性劑:檢測LB膜的結(jié)構(gòu)、單層膜厚度、界面吸附等 接觸印刷:小于1μm微結(jié)構(gòu)的質(zhì)量控制、膜厚測量、測量折射率和吸附 磁盤:同次性、膜硬度 (油)膜厚度、光學(xué)產(chǎn)品磁光學(xué)結(jié)果的觀察 納米粒子:納米粒子上的一小塊區(qū)域、折射率和吸附的分布 聚合物:膜厚、折射率和吸附測量 主要特點 采用高精度回零橢圓光度法 的空間分辨率(1μm), 大面積圖像橢圓光度法(多達若干cm2) 單一或多重的激光波長 新穎的自動測角計,用于入射角調(diào)整n EP3View專用軟件,用于儀器控制和基于Windows?的數(shù)據(jù)分析 多重關(guān)注區(qū)域及Δ,Ψ繪圖n 可通過局部網(wǎng)絡(luò)實現(xiàn)遠程控制和服務(wù) 技術(shù)參數(shù) 原理 PCSA 配置的自動回零( Auto-Nulling )圖像橢圓光度法 橢圓光度分辨率 Delta/Psi 精度 0.001 deg   絕對精度 0.01 deg (依賴于樣品與測量條件) 立體分辨率 1~35μm (平面解析精度: 1μm ,縱向解析精度: 1 nm ) 激光器波長 標(biāo)準(zhǔn)為 : 532 nm  可選 405, 488, 514, 543, 594, 633, 650, 690, 785, 830, 905, nm 靈敏度 0.05~0.2nm 解析時間 快, 22×73mm 在 1.2μm 精度下只需不到一分鐘的時間 圖像系統(tǒng) 768 x 572 像素 CCD 照相機 電子組件 內(nèi)置基于 Pentium 芯片的控制器,帶 Matrox Meteor II 抓圖器; 內(nèi)置 Linux 操作系統(tǒng);通過專用 100M 以太網(wǎng)與主機相連 電源 電壓: 100 – 240 VAC, 50/60Hz 最大電流 : 10 A

EP3nanofilm呈像橢偏儀

[EP3] 德國nanofilm公司于1991年開發(fā)出了世界上臺Brewster角顯微鏡(BAM),該儀器主要用于薄層膜的觀察。近幾年來,nanofilm又相繼推出了不同用途的BAM產(chǎn)品以及相應(yīng)的配套儀器,其款的EP3橢圓偏振成相系統(tǒng)把橢圓偏振法與顯微鏡法相結(jié)合,為其進入到生物分析和微電子等新的研究領(lǐng)域提供了可能。 應(yīng)用領(lǐng)域: 橢圓光度法是一種非破壞性和無需標(biāo)記的、用于確定膜厚和材料光學(xué)特性的方法。通過把橢圓光度法與顯微鏡法相結(jié)合,影像橢圓光度儀不斷改進,平面精度已經(jīng)能夠達到1μm,立體精度已提高到1nm,為其進入到生物分析和微電子等新的研究區(qū)域提供了可能。EP3是德國nanofilm公司最近推出的新一代橢圓光度儀產(chǎn)品。主要應(yīng)用于以下各種尖端領(lǐng)域: 生物芯片:同次性、膜厚、雜交、動力學(xué)等測量 LB/單層/自組合單層膜/活性劑:檢測LB膜的結(jié)構(gòu)、單層膜厚度、界面吸附等 接觸印刷:小于1μm微結(jié)構(gòu)的質(zhì)量控制、膜厚測量、測量折射率和吸附 磁盤:同次性、膜硬度 (油)膜厚度、光學(xué)產(chǎn)品磁光學(xué)結(jié)果的觀察 納米粒子:納米粒子上的一小塊區(qū)域、折射率和吸附的分布 聚合物:膜厚、折射率和吸附測量 主要特點 采用高精度回零橢圓光度法 的空間分辨率(1μm), 大面積圖像橢圓光度法(多達若干cm2) 單一或多重的激光波長 新穎的自動測角計,用于入射角調(diào)整n EP3View專用軟件,用于儀器控制和基于Windows?的數(shù)據(jù)分析 多重關(guān)注區(qū)域及Δ,Ψ繪圖n 可通過局部網(wǎng)絡(luò)實現(xiàn)遠程控制和服務(wù) 技術(shù)參數(shù) 原理 PCSA 配置的自動回零( Auto-Nulling )圖像橢圓光度法 橢圓光度分辨率 Delta/Psi 精度 0.001 deg   絕對精度 0.01 deg (依賴于樣品與測量條件) 立體分辨率 1~35μm (平面解析精度: 1μm ,縱向解析精度: 1 nm ) 激光器波長 標(biāo)準(zhǔn)為 : 532 nm  可選 405, 488, 514, 543, 594, 633, 650, 690, 785, 830, 905, nm 靈敏度 0.05~0.2nm 解析時間 快, 22×73mm 在 1.2μm 精度下只需不到一分鐘的時間 圖像系統(tǒng) 768 x 572 像素 CCD 照相機 電子組件 內(nèi)置基于 Pentium 芯片的控制器,帶 Matrox Meteor II 抓圖器; 內(nèi)置 Linux 操作系統(tǒng);通過專用 100M 以太網(wǎng)與主機相連 電源 電壓: 100 – 240 VAC, 50/60Hz 最大電流 : 10 A
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