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EL X-01R、EL X-02 C、EL X-02 spec橢偏儀

 DRE公司設(shè)計(jì)的基于誤差修正的步進(jìn)馬達(dá)和MinSearch算法基礎(chǔ)上的高精度橢偏儀,測(cè)量更為簡(jiǎn)單、快速,而且結(jié)果更為。樣品的Alignment非常簡(jiǎn)單,只需調(diào)整樣品臺(tái)下方的旋鈕,改變 Light Angle Light Intensity,并借助四象限探測(cè)器在計(jì)算機(jī)屏幕上顯示的調(diào)整狀況,便可在不超過(guò) 30 秒鐘的時(shí)間內(nèi)完成。無(wú)需經(jīng)常做儀器校準(zhǔn)。由于使用高精度的 Step Motor,且無(wú)需使用Reference Sample經(jīng)常進(jìn)行做儀器Calibration?蛇M(jìn)行超薄膜(皮米級(jí))的分析?蛇M(jìn)行半導(dǎo)體Si Wafer 表面灰塵的分析,這是目前所有橢偏儀廠商中具備此項(xiàng)功能的一家。薄膜粗糙度 (Roughness) 的表征也是目前所有橢偏儀制造廠中獨(dú)具特色的一家。可進(jìn)行變溫(液氮至400ºC)測(cè)量。快速Mapping測(cè)量。使用X-Y 樣品臺(tái), 進(jìn)行 1 /點(diǎn)的Mapping 或微秒/點(diǎn)的快速掃描。可分析 8" 甚至于 12" Si Wafer的厚度變化。可進(jìn)行微區(qū)分析(激光焦斑的尺寸可達(dá)1微米)。應(yīng)用范圍非常廣泛:如Si襯底上的SiO2SixNy薄膜,光電子涂層,各種磁性薄膜,平板顯示工業(yè)的 ITO薄膜和薄膜晶體管的結(jié)構(gòu),生物和化學(xué)工業(yè)的各種有機(jī)層、分子膜,光觸媒用TiO2 薄膜分析,鋁熱交換器表面抗氧化薄膜,奔馳汽車引擎或汽缸激光焊接前的清潔薄膜分析等。同時(shí),提供多種光譜儀選擇,如回轉(zhuǎn)檢偏器橢偏儀(RAE),高精度橢偏儀,消光型橢偏儀(Null Ellipsometer),光譜型橢偏儀(Spectroscopic Ellipsometer,190~2400 nm,可選),超高精度傳動(dòng)橢偏儀等。

橢偏儀

膜厚范圍:0-30000nm 折射指數(shù):± 0.0001 厚度度:± 0.01nm

SE200光譜橢偏儀

產(chǎn)品指標(biāo):、

波長(zhǎng)范圍:250nm到1100 nm

光斑尺寸:1mm至5mm

樣品尺寸:直徑可達(dá)200mm

測(cè)量厚度范圍:10μm

測(cè)量時(shí)間:約1秒/位置點(diǎn)

入射角范圍:20到90度,5度間隔

重復(fù)性誤差:小于1 Ǻ

  
應(yīng)用領(lǐng)域 

·   半導(dǎo)體制造(PR,Oxide, Nitride..
·   光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
·   液晶顯示(ITOPR,Cell gap... ..
·  薄膜晶體管TFT上的層堆疊
·  醫(yī)療器械上的涂層
·   用在MEMS/MOEMS領(lǐng)域的功能性薄膜
·   非晶體,納米材料和結(jié)晶薄膜
·   薄金屬膜
 
 實(shí)現(xiàn)功能: 1 對(duì)于薄膜、涂層、大基底的光學(xué)常數(shù)(折射率n和消光系數(shù)k) 2 對(duì)于薄膜的非破壞性厚度測(cè)量。  3 對(duì)于各種薄膜中合金濃度的測(cè)定,例如SiGe合金中Ge的測(cè)定、AlGaN膜中Al的測(cè)定。 4 對(duì)于GaN、SiC、AlN、AlGaN等,它們帶隙的測(cè)定。 5 在低介電常數(shù)下測(cè)定薄膜的孔隙率。 6 測(cè)定納米復(fù)合材料中所含每種成分的體積比含量。  7 可以測(cè)定多層堆疊或者像量子阱結(jié)構(gòu)的周期性結(jié)構(gòu)中的每一層的物理厚度和光學(xué)特性。  8 對(duì)薄膜在密度或合金的濃度上的不均勻性進(jìn)行分析  9 分析高介電常數(shù)薄膜的光學(xué)特性  10金屬薄膜、金屬化合物(例如WN、TiN、TaN等)、 摻雜半導(dǎo)體epi層(同時(shí)也決定了厚度)及其他的諸如ITO薄膜等復(fù)合氧化物的電導(dǎo)率進(jìn)行無(wú)損檢測(cè)。  11摻雜半導(dǎo)體摻雜濃度的無(wú)損檢測(cè)

 

 

 
該公司產(chǎn)品分類: 恒流泵 恒壓恒流進(jìn)樣泵 微流控

SE200BM型橢偏儀

產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 易于安裝
  • 基于視窗結(jié)構(gòu)的軟件,很容易操作
  • 的光學(xué)設(shè)計(jì),以確保能發(fā)揮出的系統(tǒng)性能
  • 能夠自動(dòng)的以0.01度的分辨率改變?nèi)肷浣嵌?/li>
  • 高功率的DUV-VIS光源,能夠應(yīng)用在很寬的波段內(nèi)
  • 基于陣列設(shè)計(jì)的探測(cè)器系統(tǒng),以確?焖贉y(cè)量
  • 最多可測(cè)量12層薄膜的厚度及折射率
  • 能夠用于實(shí)時(shí)或在線的監(jiān)控光譜、厚度及折射率等參數(shù)
  • 系統(tǒng)配備大量的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)庫(kù)
  • 對(duì)于每個(gè)被測(cè)薄膜樣品,用戶可以利用的TFProbe3.0軟件功能選擇使用NK數(shù)據(jù)庫(kù)、也可以進(jìn)行色散或者復(fù)合模型(EMA)測(cè)量分析
  • 三種不同水平的用戶控制模式:專家模式、系統(tǒng)服務(wù)模式及初級(jí)用戶模式
  • 靈活的專家模式可用于各種獨(dú)特的設(shè)置和光學(xué)模型測(cè)試
  • 健全的一鍵按鈕(Turn-key)對(duì)于快速和日常的測(cè)量提供了很好的解決方案
  • 用戶可根據(jù)自己的喜好及操作習(xí)慣來(lái)配置參數(shù)的測(cè)量
  • 系統(tǒng)有著全自動(dòng)的計(jì)算功能及初始化功能
  • 無(wú)需外部的光學(xué)器件,系統(tǒng)從樣品測(cè)量信號(hào)中,直接就可以對(duì)樣品進(jìn)行精確的校準(zhǔn)
  • 可精密的調(diào)節(jié)高度及傾斜度
  • 能夠應(yīng)用于測(cè)量不同厚度、不同類型的基片
  • 各種方案及附件可用于諸如平面成像、測(cè)量波長(zhǎng)擴(kuò)展、焦斑測(cè)量等各種特殊的需求
  • 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數(shù)據(jù)管理界面。

 

系統(tǒng)配置: 

  • 型號(hào):SE200BM-M300
  • 探測(cè)器:陣列探測(cè)器
  • 光源:高功率的DUV-Vis-NIR復(fù)合光源
  • 指示角度變化:手動(dòng)調(diào)節(jié)
  • 平臺(tái):ρ-θ配置的自動(dòng)成像
  • 軟件:TFProbe 3.2版本的軟件
  • 計(jì)算機(jī):Inter雙核處理器、19”寬屏LCD顯示器
  • 電源:110–240V AC/50-60Hz,6A
  • 保修:一年的整機(jī)及零備件保修

 

基本參數(shù):

  • 波長(zhǎng)范圍:250nm到1000 nm
  • 波長(zhǎng)分辨率: 1nm
  • 光斑尺寸:1mm至5mm可變
  • 入射角范圍:0到90度
  • 入射角變化分辨率:5度間隔
  • 樣品尺寸:最大直徑為300mm
  • 基板尺寸:最多可至20毫米厚
  • 測(cè)量厚度范圍*:0nm〜10μm
  • 測(cè)量時(shí)間:約1秒/位置點(diǎn)
  • 精確度*:優(yōu)于0.25%
  • 重復(fù)性誤差*:小于1 Ǻ

 

應(yīng)用領(lǐng)域:               

  • 半導(dǎo)體制造(PR,Oxide, Nitride..)
  • 液晶顯示(ITO,PR,Cell gap... ..)
  • 醫(yī)學(xué),生物薄膜及材料領(lǐng)域等
  • 油墨,礦物學(xué),顏料,調(diào)色劑等
  • 醫(yī)藥,中間設(shè)備
  • 光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
  • 半導(dǎo)體化合物
  • 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜
  • 非晶體,納米材料和結(jié)晶硅

 

產(chǎn)品可選項(xiàng):             

  • 用于反射的光度測(cè)量或透射測(cè)量
  • 用于測(cè)量小區(qū)域的微小光斑
  • X-Y成像平臺(tái)(X-Y模式,取代ρ-θ模式)
  • 加熱/致冷平臺(tái)
  • 樣品垂直安裝角度計(jì)
  • 波長(zhǎng)可擴(kuò)展到遠(yuǎn)DUV或IR范圍
  • 掃描單色儀的配置
  • 聯(lián)合MSP的數(shù)字成像功能,可用于對(duì)樣品的圖像進(jìn)行測(cè)量

111橢偏儀

 

【激光系列產(chǎn)品】
 
 固體激光器 半導(dǎo)體激光器 氣體激光器 離子激光器 光纖激光器 大功率光纖耦合激光器 皮秒激光器 飛秒激光器 調(diào)Q脈沖激光器 激光二極管控制器 激光功率計(jì) 激光護(hù)目鏡 激光波長(zhǎng)測(cè)量 激光光束分析儀 多通道激光功率計(jì) 大功率激光器 激光光束位置測(cè)量?jī)x 激光擴(kuò)束鏡 激光準(zhǔn)直器 紅外激光顯示卡 紅外激光觀察儀 紅外觀察儀 激光測(cè)距儀 激光器溫度控制器 激光光纖耦合器 高穩(wěn)定性激光器 相干型激光器 自相關(guān)儀 飛秒激光倍頻器 可變光闌 便攜式激光器 染料激光器 激光光譜測(cè)量 熱電制冷片 激光光束定位系統(tǒng) 2微米光纖激光器 飛秒光纖激光器 皮秒光纖激光器 脈沖光纖激光器 光纖隔離器 拉曼激光器 光功率計(jì)
 
【光譜測(cè)試儀器】
 
 紫外可見光譜儀 便攜式光譜儀 高分辨率光譜儀 高靈敏度光譜儀 制冷型光譜儀 中紅外光譜儀 熒光光譜儀 拉曼光譜儀 極紫外光譜儀 真空紫外光譜儀 多通道光譜儀 教學(xué)型光譜儀 LED光測(cè)量光譜儀 色坐標(biāo)色溫測(cè)量?jī)x 燈具光譜測(cè)量?jī)x 透射譜吸光度光譜儀 絕對(duì)輻射光譜儀 流體吸光度光譜儀 流體熒光光譜儀 膜厚測(cè)量?jī)x 橢偏儀 太陽(yáng)能電池IPCE測(cè)量系統(tǒng) 太陽(yáng)能電池QE測(cè)量系統(tǒng) 太陽(yáng)能電池光譜響應(yīng)系統(tǒng) 單色儀 濾光片輪 濾光片透射率測(cè)試儀 太赫茲光譜儀 等離子體光譜儀 環(huán)境輻射儀 近紅外光譜儀 元素分析儀 氧含量測(cè)量 信號(hào)發(fā)生器 近紅外谷物接收系統(tǒng) 顆粒分析儀 熒光壽命光譜儀 三維表面輪廓儀
 
【光學(xué)精密機(jī)械】
 
 干涉儀 光學(xué)平臺(tái) 光學(xué)鏡架 手動(dòng)平移臺(tái) 手動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái) 手動(dòng)擺動(dòng)臺(tái) 手動(dòng)組合平臺(tái) 電動(dòng)平移臺(tái) 電動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái) 電動(dòng)擺動(dòng)平臺(tái) 電動(dòng)組合平臺(tái) 壓電陶瓷平臺(tái) 壓電陶瓷制動(dòng)器 高穩(wěn)定防震平臺(tái)
 
【光源】
 
 氙燈光源 氘燈光源 氘鹵雙光源 LED光源燈 鹵素?zé)艄庠?/span> 光催化氙燈光源 積分球 積分球均勻光源 太陽(yáng)模擬器 紫外固化機(jī) 寬帶超連續(xù)光源 顯微鏡光源
 
【光學(xué)影像】
 
 紫外CCD相機(jī) 近紅外CCD相機(jī) 制冷型CCD相機(jī) 高速相機(jī)   顯微鏡 CID相機(jī) 紅外相機(jī)/熱像儀
 
 
【光學(xué)元件】
 
 窗片/窗口 反射鏡 透鏡 光學(xué)基片 分光鏡 棱鏡 晶體 濾光片 波長(zhǎng)板 擴(kuò)散板 起偏器 光學(xué)鏡頭 光纖產(chǎn)品 光柵尺 光柵
 
【光通信儀器】
 
 ASE光源 光纖放大器 光通信激光器 光功率計(jì) 可調(diào)諧激光光源 光纖測(cè)量系統(tǒng) 光衰減器 光纖熔接機(jī) 光通信探測(cè)器 光調(diào)制器 SLED光源 SLED模塊 光源 高功率EDFA 光收發(fā)機(jī) 拉曼EDFA組合放大器 拉曼泵浦模塊 偏振光合束器 拉曼放大器
 
【生物分析儀器】
 

 動(dòng)物注射泵 樣品均質(zhì)器 粘合劑分配器 蠕動(dòng)泵

橢偏儀

產(chǎn)品 >> 光譜測(cè)試儀器 >> 橢偏儀   共有 1 個(gè)產(chǎn)品
 

 
 
 
 
 
 
名稱: SpecEI橢偏儀
編號(hào): 4716301416
 

【激光系列產(chǎn)品】 固體激光器  半導(dǎo)體激光器  氣體激光器  氬離子激光器  光纖激光器  大功率光纖耦合激光器  皮秒激光器  飛秒激光器  調(diào)Q脈沖激光器  激光二極管控制器  激光功率計(jì)  激光護(hù)目鏡  激光波長(zhǎng)測(cè)量  激光光束分析儀  多通道激光功率計(jì)  大功率激光器  激光光束位置測(cè)量?jī)x  激光擴(kuò)束鏡  激光準(zhǔn)直器  紅外激光顯示卡  紅外激光觀察儀  紅外觀察儀  激光測(cè)距儀  激光器溫度控制器  激光光纖耦合器  高穩(wěn)定性激光器  相干型激光器  自相關(guān)儀  飛秒激光倍頻器  可變光闌  便攜式激光器  染料激光器  激光光譜測(cè)量  熱電制冷片  激光光束定位系統(tǒng)  視頻顯微鏡測(cè)量系統(tǒng)  2微米光纖激光器  飛秒光纖激光器  皮秒光纖激光器  脈沖光纖激光器  光纖隔離器  拉曼激光器  光功率計(jì)  飛秒激光脈沖自相關(guān)儀  激光二極管參數(shù)分析儀  激光二極管電流控制器 【光譜測(cè)試儀器】 光纖光譜儀  微型光纖光譜儀  高分辨率光譜儀  高靈敏度光譜儀  制冷型光譜儀  中紅外光譜儀  熒光光譜儀  拉曼光譜儀  極紫外光譜儀  真空紫外光譜儀  多通道光譜儀  教學(xué)型光譜儀  LED光測(cè)量光譜儀  色坐標(biāo)色溫測(cè)量?jī)x  燈具光譜測(cè)量?jī)x  透射譜吸光度光譜儀  絕對(duì)輻射光譜儀  流體吸光度光譜儀  流體熒光光譜儀  膜厚測(cè)量?jī)x  橢偏儀  太陽(yáng)能電池IPCE測(cè)量系統(tǒng)  太陽(yáng)能電池QE測(cè)量系統(tǒng)  太陽(yáng)能電池光譜響應(yīng)系統(tǒng)  單色儀  濾光片輪  濾光片透射率測(cè)試儀  太赫茲光譜儀  等離子體光譜儀  環(huán)境輻射儀  近紅外光譜儀  元素分析儀  氧含量測(cè)量  信號(hào)發(fā)生器  近紅外谷物接收系統(tǒng)  顆粒分析儀  熒光壽命光譜儀  三維表面輪廓儀  微型光譜儀 【光學(xué)精密機(jī)械】 干涉儀  光學(xué)平臺(tái)  光學(xué)鏡架  手動(dòng)平移臺(tái)  手動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)  手動(dòng)擺動(dòng)臺(tái)  手動(dòng)組合平臺(tái)  電動(dòng)平移臺(tái)  電動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)  電動(dòng)擺動(dòng)平臺(tái)  電動(dòng)組合平臺(tái)  壓電陶瓷平臺(tái)  壓電陶瓷制動(dòng)器  高穩(wěn)定防震平臺(tái) 【光源】 氙燈光源  氘燈光源  氘鹵雙光源  LED光源燈  鹵素?zé)艄庠?nbsp; 光催化氙燈光源  積分球  積分球均勻光源  太陽(yáng)模擬器  紫外固化機(jī)  寬帶超連續(xù)光源  顯微鏡光源 【光學(xué)影像】 紫外CCD相機(jī)  近紅外CCD相機(jī)  制冷型CCD相機(jī)  高速相機(jī)  夜視儀  顯微鏡  CID相機(jī)  熱像儀 【探測(cè)器】 照度計(jì)  亮度計(jì)  輻射計(jì)  便攜式色差計(jì)  太陽(yáng)光功率計(jì)  快速反應(yīng)探測(cè)器  前置放大探測(cè)器  光纖耦合探測(cè)器  液氮制冷探測(cè)器  皮秒超快探測(cè)器  位敏探測(cè)器  四象限探測(cè)器  雙色探測(cè)器  紫外輻照計(jì)  硅光電探測(cè)器  近紅外探測(cè)器  中紅外探測(cè)器  雪崩二極管  光電倍增管 【光學(xué)元件】 窗片/窗口  反射鏡  透鏡  光學(xué)基片  分光鏡  棱鏡  晶體  濾光片  波長(zhǎng)板  擴(kuò)散板  起偏器  光學(xué)鏡頭  光纖產(chǎn)品  光柵尺  紅外鏡頭  光柵 【光通信儀器】 ASE光源  光接收機(jī)  光纖放大器  光發(fā)射機(jī)  光通信激光器  光功率計(jì)  可調(diào)諧激光光源  光纖測(cè)量系統(tǒng)  光衰減器  光纖熔接機(jī)  光通信探測(cè)器  光調(diào)制器  傳感器解調(diào)儀  SLED光源  SLED模塊  多波段SLED光源  大功率EDFA  光收發(fā)機(jī)  激光發(fā)射機(jī)  拉曼EDFA組合放大器  拉曼泵浦模塊  偏振光合束器  拉曼放大器  保偏EDFA  摻鐿光纖放大器  摻鐿光纖放大器模塊  半導(dǎo)體光放大器  大功率光纖放大器  光接收機(jī)模塊  半導(dǎo)體光放大器模塊  40通道多路復(fù)用器  1064nm穩(wěn)定的激光器光源  DWDM多路復(fù)用器  FBG光纖耦合激光器光源  FBG激光光源模塊  波長(zhǎng)掃描激光器  單模背射儀  電控可變光衰減器  多波長(zhǎng)儀  多通道可變光衰減器  光波元器件分析儀  光放大器分析儀  光網(wǎng)絡(luò)測(cè)試儀  光網(wǎng)絡(luò)分析儀  光纖干涉儀  回波損耗儀系統(tǒng)  可調(diào)諧光濾波器  色散補(bǔ)償模塊  微型光時(shí)域反射儀  蝶形激光器/DFB激光器  大功率蝶形激光器  寬帶RF放大器模塊  寬帶RF放大器  DFB蝶形激光器  DFB激光器模塊  DWDM光分插模塊  980nm泵浦激光器  ASE光源模塊  C+L波段ASE光源  CWDM 2mW DFB激光器  F-P激光器  保偏隔離器  大功率保偏隔離器  大功率光隔離器  光隔離器  光開關(guān)模塊  可調(diào)諧C波段激光器  外調(diào)制激光器  拉曼放大器泵浦激光器/EDFA泵浦激光器  便攜式光時(shí)域反射儀 【生物分析儀器】 動(dòng)物注射泵  樣品均質(zhì)器  粘合劑分配器  蠕動(dòng)泵  搖擺振蕩器  細(xì)胞分離/勻漿漩渦混合器

供應(yīng)橢偏儀/上海/蘇州/無(wú)錫/南京/天津/北京/武漢/西安

橢偏儀-----上海/蘇州/無(wú)錫/南京/天津/北京/武漢/西安/杭州/濟(jì)南/廣州

產(chǎn)品特點(diǎn):

Ø 高品質(zhì)之光學(xué)與電動(dòng)元件,無(wú)需防震桌。 

Ø 燈泡更換容易,客戶可自行操作,無(wú)需校正。 

Ø FFT-在應(yīng)用分析上,可除了橢圓儀原本的回歸分析,還增加了傅利葉的分析方式,可針對(duì)不同的材料與厚度使用,User使用上更為便利與快速.

Ø 具有Analyzer Tracking功能,可大幅提昇量測(cè)精度,與PEM之效果相同。

Ø 可搭配反射儀使用,可於日後Upgrade

Ø 可量測(cè)透明基板,無(wú)需背後處理。 

Ø Upgrade為 in line量測(cè)設(shè)備。

Ø 採(cǎi)用美國(guó)進(jìn)口光譜儀,量測(cè)速度快。

Ø 使用步進(jìn)馬達(dá)並非Rotating Polarizer,避免馬答損壞。 

Ø 固定量測(cè)角度-70度,可避移動(dòng)時(shí)所造成的量測(cè)誤差與機(jī)械損害光學(xué)儀器都應(yīng)減少移動(dòng)。 

Ø 性價(jià)比極佳,品質(zhì)及量測(cè)能力可達(dá)到世界水準(zhǔn),公司備有DEMO儀器,可供客戶實(shí)施操作比較。

技術(shù)參數(shù):

波長(zhǎng)範(fàn)圍:350nm-1050nm

快速全自動(dòng)量測(cè) 

精密量測(cè)膜厚及折射率 

各種功能材料的光學(xué)常數(shù)測(cè)量和光譜特性分析 

橢貨參數(shù)精度:  ≦0.01for Tan (ψ);  ≦0.01 for Cos (Δ

直接測(cè)量透明基板上之鍍膜,無(wú)需基板背面處理或染黑

量測(cè)范圍:15Å-severaol um

量測(cè)應(yīng)用:         - 太陽(yáng)能電池、LED鍍膜、新材料鍍膜        - TFT-LCD: SIOx,SiNx,a-Si:H,N+a-Si,Photo Resists...        - SEMI:         - High-k:Al2O3,SiO2,Si3N4,SiNX,HfO2,Ta2O5,ZrO2        - Low-k: SiOC,SiOF,SOG,BPSG …

具體型號(hào)及技術(shù)要求歡迎來(lái)電咨詢

聯(lián)系方式:

蘇州諾威特測(cè)控科技有限公司

Add:中國(guó)蘇州市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)金楓南路198號(hào)

聯(lián)系人:鄒小姐

Tel:18913500435

Fax:

E-mail:info@novtec.hk

http://www.novtec.hk

公眾微信推薦:諾威特光伏(novteccs)諾威特汽車(novtecqc)諾威特光電(sznovtec)

該公司產(chǎn)品分類: 新能源汽車 智能倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng) 智能倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng) 倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng) 鋰電池自動(dòng)分選 光譜儀 atlas 腐蝕試驗(yàn)設(shè)備 反射儀 模擬器 橢偏儀 掃描儀 led 薄膜測(cè)厚儀 光伏組件測(cè)試 熱量分析儀 鹽霧實(shí)驗(yàn)箱 紫外老化試驗(yàn)箱 鹽霧試驗(yàn)箱 試驗(yàn)箱

SE200BA 橢偏儀

    

基本功能

1,測(cè)試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)

2,薄膜均勻性測(cè)試以及模擬運(yùn)算功能等

產(chǎn)品特點(diǎn)

l  強(qiáng)大的數(shù)據(jù)運(yùn)算處理功能及材料NK數(shù)據(jù)庫(kù);

l  簡(jiǎn)便、易行的可視化測(cè)試界面,可根據(jù)用戶需求設(shè)置不同的參數(shù);

l  快捷、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的參數(shù)測(cè)試;

l  支持多功能配件集成以及定制;

l  支持不同水平的用戶控制模式;

l  支持多功能模擬計(jì)算等等。

系統(tǒng)配置

型號(hào):SE200BM-M300

探測(cè)器:陣列探測(cè)器

光源:高功率的DUV-Vis-NIR復(fù)合光源

測(cè)量角度變化:軟件設(shè)置自動(dòng)調(diào)節(jié)

平臺(tái):ρ-θ配置的自動(dòng)成像

軟件:TFProbe 3.2版本的軟件

計(jì)算機(jī):Inter雙核處理器、19”寬屏LCD顯示器

電源:110–240V AC/50-60Hz,6A

保修:一年的整機(jī)及零備件保修

規(guī)格

波長(zhǎng)范圍:250nm到1000 nm

波長(zhǎng)分辨率: 1nm

光斑尺寸:1mm至5mm可變

入射角范圍:10到90度

入射角變化分辨率:0.01度

樣品尺寸:最大直徑為300mm

基板尺寸:最多可至20毫米厚

測(cè)量厚度范圍*:0nm~10μm

測(cè)量時(shí)間:約1秒/位置點(diǎn)

精確度*:優(yōu)于0.25%

重復(fù)性誤差*:小于1 Ǻ

可選配件項(xiàng)

l  用于反射的光度測(cè)量或透射測(cè)量;

l  用于測(cè)量小區(qū)域的微小光斑;

l  用于改變?nèi)肷浣嵌鹊淖詣?dòng)量角器;

l  X-Y成像平臺(tái)(X-Y模式,取代ρ-θ模式)

l  加熱/致冷平臺(tái);

l  樣品垂直安裝角度計(jì);

l  波長(zhǎng)可擴(kuò)展到遠(yuǎn)DUV或IR范圍;

l  掃描單色儀的配置

l  聯(lián)合MSP的數(shù)字成像功能,可用于對(duì)樣品的圖像進(jìn)行測(cè)量等。

應(yīng)用領(lǐng)域

主要應(yīng)用于透光薄膜分析類領(lǐng)域:

l  玻璃鍍膜領(lǐng)域(LowE、太陽(yáng)能…)

l  半導(dǎo)體制造(PR,Oxide, Nitride…)

l  液晶顯示(ITO,PR,Cell gap...)

l  醫(yī)學(xué),生物薄膜及材料領(lǐng)域等

l  油墨,礦物學(xué),顏料,調(diào)色劑等

l  醫(yī)藥,中間設(shè)備

l  光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

l  半導(dǎo)體化合物

l  MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜

l  非晶體,納米材料和結(jié)晶硅

 

等離子表面處理設(shè)備 生命科學(xué)儀器 表面分析儀器 電子測(cè)量?jī)x器

EP3nanofilm呈像橢偏儀

[EP3] 德國(guó)nanofilm公司于1991年開發(fā)出了世界上臺(tái)Brewster角顯微鏡(BAM),該儀器主要用于薄層膜的觀察。近幾年來(lái),nanofilm又相繼推出了不同用途的BAM產(chǎn)品以及相應(yīng)的配套儀器,其款的EP3橢圓偏振成相系統(tǒng)把橢圓偏振法與顯微鏡法相結(jié)合,為其進(jìn)入到生物分析和微電子等新的研究領(lǐng)域提供了可能。 應(yīng)用領(lǐng)域: 橢圓光度法是一種非破壞性和無(wú)需標(biāo)記的、用于確定膜厚和材料光學(xué)特性的方法。通過(guò)把橢圓光度法與顯微鏡法相結(jié)合,影像橢圓光度儀不斷改進(jìn),平面精度已經(jīng)能夠達(dá)到1μm,立體精度已提高到1nm,為其進(jìn)入到生物分析和微電子等新的研究區(qū)域提供了可能。EP3是德國(guó)nanofilm公司最近推出的新一代橢圓光度儀產(chǎn)品。主要應(yīng)用于以下各種尖端領(lǐng)域: 生物芯片:同次性、膜厚、雜交、動(dòng)力學(xué)等測(cè)量 LB/單層/自組合單層膜/活性劑:檢測(cè)LB膜的結(jié)構(gòu)、單層膜厚度、界面吸附等 接觸印刷:小于1μm微結(jié)構(gòu)的質(zhì)量控制、膜厚測(cè)量、測(cè)量折射率和吸附 磁盤:同次性、膜硬度 (油)膜厚度、光學(xué)產(chǎn)品磁光學(xué)結(jié)果的觀察 納米粒子:納米粒子上的一小塊區(qū)域、折射率和吸附的分布 聚合物:膜厚、折射率和吸附測(cè)量 主要特點(diǎn) 采用高精度回零橢圓光度法 的空間分辨率(1μm), 大面積圖像橢圓光度法(多達(dá)若干cm2) 單一或多重的激光波長(zhǎng) 新穎的自動(dòng)測(cè)角計(jì),用于入射角調(diào)整n EP3View專用軟件,用于儀器控制和基于Windows?的數(shù)據(jù)分析 多重關(guān)注區(qū)域及Δ,Ψ繪圖n 可通過(guò)局部網(wǎng)絡(luò)實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制和服務(wù) 技術(shù)參數(shù) 原理 PCSA 配置的自動(dòng)回零( Auto-Nulling )圖像橢圓光度法 橢圓光度分辨率 Delta/Psi 精度 0.001 deg   絕對(duì)精度 0.01 deg (依賴于樣品與測(cè)量條件) 立體分辨率 1~35μm (平面解析精度: 1μm ,縱向解析精度: 1 nm ) 激光器波長(zhǎng) 標(biāo)準(zhǔn)為 : 532 nm  可選 405, 488, 514, 543, 594, 633, 650, 690, 785, 830, 905, nm 靈敏度 0.05~0.2nm 解析時(shí)間 快, 22×73mm 在 1.2μm 精度下只需不到一分鐘的時(shí)間 圖像系統(tǒng) 768 x 572 像素 CCD 照相機(jī) 電子組件 內(nèi)置基于 Pentium 芯片的控制器,帶 Matrox Meteor II 抓圖器; 內(nèi)置 Linux 操作系統(tǒng);通過(guò)專用 100M 以太網(wǎng)與主機(jī)相連 電源 電壓: 100 – 240 VAC, 50/60Hz 最大電流 : 10 A

EP3nanofilm呈像橢偏儀

[EP3] 德國(guó)nanofilm公司于1991年開發(fā)出了世界上臺(tái)Brewster角顯微鏡(BAM),該儀器主要用于薄層膜的觀察。近幾年來(lái),nanofilm又相繼推出了不同用途的BAM產(chǎn)品以及相應(yīng)的配套儀器,其款的EP3橢圓偏振成相系統(tǒng)把橢圓偏振法與顯微鏡法相結(jié)合,為其進(jìn)入到生物分析和微電子等新的研究領(lǐng)域提供了可能。 應(yīng)用領(lǐng)域: 橢圓光度法是一種非破壞性和無(wú)需標(biāo)記的、用于確定膜厚和材料光學(xué)特性的方法。通過(guò)把橢圓光度法與顯微鏡法相結(jié)合,影像橢圓光度儀不斷改進(jìn),平面精度已經(jīng)能夠達(dá)到1μm,立體精度已提高到1nm,為其進(jìn)入到生物分析和微電子等新的研究區(qū)域提供了可能。EP3是德國(guó)nanofilm公司最近推出的新一代橢圓光度儀產(chǎn)品。主要應(yīng)用于以下各種尖端領(lǐng)域: 生物芯片:同次性、膜厚、雜交、動(dòng)力學(xué)等測(cè)量 LB/單層/自組合單層膜/活性劑:檢測(cè)LB膜的結(jié)構(gòu)、單層膜厚度、界面吸附等 接觸印刷:小于1μm微結(jié)構(gòu)的質(zhì)量控制、膜厚測(cè)量、測(cè)量折射率和吸附 磁盤:同次性、膜硬度 (油)膜厚度、光學(xué)產(chǎn)品磁光學(xué)結(jié)果的觀察 納米粒子:納米粒子上的一小塊區(qū)域、折射率和吸附的分布 聚合物:膜厚、折射率和吸附測(cè)量 主要特點(diǎn) 采用高精度回零橢圓光度法 的空間分辨率(1μm), 大面積圖像橢圓光度法(多達(dá)若干cm2) 單一或多重的激光波長(zhǎng) 新穎的自動(dòng)測(cè)角計(jì),用于入射角調(diào)整n EP3View專用軟件,用于儀器控制和基于Windows?的數(shù)據(jù)分析 多重關(guān)注區(qū)域及Δ,Ψ繪圖n 可通過(guò)局部網(wǎng)絡(luò)實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制和服務(wù) 技術(shù)參數(shù) 原理 PCSA 配置的自動(dòng)回零( Auto-Nulling )圖像橢圓光度法 橢圓光度分辨率 Delta/Psi 精度 0.001 deg   絕對(duì)精度 0.01 deg (依賴于樣品與測(cè)量條件) 立體分辨率 1~35μm (平面解析精度: 1μm ,縱向解析精度: 1 nm ) 激光器波長(zhǎng) 標(biāo)準(zhǔn)為 : 532 nm  可選 405, 488, 514, 543, 594, 633, 650, 690, 785, 830, 905, nm 靈敏度 0.05~0.2nm 解析時(shí)間 快, 22×73mm 在 1.2μm 精度下只需不到一分鐘的時(shí)間 圖像系統(tǒng) 768 x 572 像素 CCD 照相機(jī) 電子組件 內(nèi)置基于 Pentium 芯片的控制器,帶 Matrox Meteor II 抓圖器; 內(nèi)置 Linux 操作系統(tǒng);通過(guò)專用 100M 以太網(wǎng)與主機(jī)相連 電源 電壓: 100 – 240 VAC, 50/60Hz 最大電流 : 10 A
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    熱門儀器: 液相色譜儀 氣相色譜儀 原子熒光光譜儀 可見分光光度計(jì) 液質(zhì)聯(lián)用儀 壓力試驗(yàn)機(jī) 酸度計(jì)(PH計(jì)) 離心機(jī) 高速離心機(jī) 冷凍離心機(jī) 生物顯微鏡 金相顯微鏡 標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) 生物試劑