技術參數(shù):
儀器參數(shù) | \\\\ | 儀器型號 | BROS-2010 | BROS-3020 | BROS-4030 |
測量范圍(MM) | X | 200 | 300 | 400 | |
Y | 100 | 200 | 300 | ||
Z | 120 | 120 | 120 | ||
工作臺(MM) | 硬鋁合金臺面 | 356×266 | 506×326 | 606×476 | |
玻璃臺面 | 260×160 | 360×260 | 460×360 | ||
承重 | 20kg | 20kg | 30kg | ||
影像及測量系統(tǒng) | CCD | 美國ezoom高分辨率彩色工業(yè)CCD 1/3英寸 480線 | |||
物鏡 | 0.7-4.5X連續(xù)變倍 | ||||
放大倍率 | 20-120X | ||||
工作距離 | 100 | ||||
顯示分辨率 | 0.001mm | ||||
線性精度(um) | E1=3+L/200 E2=3.5+L/150 (L為被測長度,單位為mm) | ||||
外形尺寸(mm) | 600×550×780 | 760×580×820 | 870×620×820 | ||
儀器重量 | 150kg | 215kg | 300kg | ||
照明 | LED表面光及輪廓光 | ||||
電源 | 220V±10%(AC) 50HZ |
技術規(guī)格參數(shù)
工 作 臺 | 金屬尺寸(mm) 700X450 玻璃臺尺寸(mm) 550X350 運動行程(mm) 500X300 |
Z軸升降行程 | 200 | X 、Y、Z數(shù)顯戒心度:0.5μm |
工作距離 | 92mm | X 、Y坐標示值誤差: ≤(3+L)μm(L為被測長度,單位:mm) |
影像系統(tǒng) | 攝像機:SONY彩色1/2"CCD攝像機 雙焦鏡頭倍率:美國NAVITAR 0.7X~4.5X 視頻總倍率:23.5~148X 物方視場:11.1~1.7mm 表面光源與透射光源均用LED,亮度可調 |
測量系統(tǒng) | VMS-F/ Ⅱ USB-302 M2D-AT 客戶自配電腦 |
電源 | 220V ± 10% 50/60Hz 總功率 50W (不包含電腦) |
壓縮空氣 | ≥ 0.5Mpa |
壓縮空氣流量 | 120L/min(.04MPa) |
工作環(huán)境 | 溫度(20 ± 2) ℃ 溫度 40%~70% |
儀器重量(kg) | 500 |
外形尺寸(mm) | 1600X800X1660 |
儀器配件 |
MicroLine-300是一款桌上型半自動CD測量系統(tǒng)。主要技術參數(shù):◆ 測量范圍(XYZ):標準:200×200×25mm;可選:300x300x25◆ 視場內測量精度:10nm(100X 鏡頭);Z軸聚焦范圍:25 mm◆ 視場內測量范圍:0.5um~400um;◆ 視場內測量重復性(100x 物鏡): 晶圓上<0.010um(1δ); 掩模板上0.005um(1δ);
◆ 承重:2kg
◆ 標配鏡頭10x,可選鏡頭:5X, 20X, 50X, 100X
MicroLine 300 is a table type semi-automatic CD measurement system .
The main technical parameters :
◆ X,Y,Z Measuring Range (mm): standard :200x200x25 optional : 300X300x25
◆ The field measurement accuracy :10nm (100X lens ) Z Foucsing Range (mm) : 25
◆ The field measurement range :0.5um~400um;
◆ The field measurement repeatability (100X lens):on wafer < 0 0.010m(1δ);
on mask plate 0.005um(1δ);
◆ Max Recommanded Load : 2kg
◆ Lens : standard :10X
optional :5X,20X,50X,100X。
1 | 型號 | VMS-1510 | VMS-2010 | VMS-3020 | VMS-4030 |
2 | 主機體尺寸 | 530*460*850mm | 600*490*850mm | 700*500*940mm | 1000*600*1000 |
3 | 花崗石平臺尺寸 | 300*250mm | 350*250mm | 450*350mm | 550*450 |
4 | 玻璃臺尺寸 | 200*160mm | 220*160mm | 320*240mm | 450*350 |
5 | 重量 | 90KG | 150KG | 200KG | 220KG |
6 | 機臺底坐 | 高精度花崗石底座及立柱 | |||
7 | 線性精度 | (3.0+L/75)μm | |||
8 | 表面照明 | LED環(huán)形超亮冷光源(亮度可調) | |||
9 | 輪廓照明 | LED超亮圓形燈(亮度可調) | |||
10 | 計算測量功能 | REICA 2.5D精密測量系統(tǒng)軟件 | |||
11 | 解析力 | 0.001mm | |||
12 | 重復精度 | 0.002mm | |||
13 | CCD | SONY芯片1/3彩色CCD/臺灣1/2攝像裝置 | |||
14 | 目鏡 | 0.5X(可選配1X,2x) | |||
15 | 物鏡 | 0.7X~4.5X 放大倍數(shù)20X~120X | |||
16 | 載重 | 20\30\50KG |
尼康VMZ-R4540影像測量儀|尼康VMZ-R4540全自動三次元
1, 2, 和 3 型變焦系統(tǒng)可以提供清晰、低失真率的圖像和很高的NA值。A型變焦系統(tǒng)是專為大視野范圍和長工作距離而設計的。
放大倍率 vs. 視野范圍(mm)
1型 | 總光學放大倍率 | 0.5× 18× | 1× 36× | 2× 72× | 4× 144× | 7.5× 270× |
視野范圍 (mm) | 9.33×7 | 4.67×3.5 | 2.33×1.75 | 1.165×0.875 | 0.622×0.467 | |
2型 | 總光學放大倍率 | 1× 36× | 2× 72× | 4× 144× | 8× 288× | 15× 540× |
視野范圍 (mm) | 4.67×3.5 | 2.33×1.75 | 1.165×0.875 | 0.582×0.437 | 0.311×0.233 | |
3型 | 總光學放大倍率 | 2× 72× | 4× 144× | 8× 288× | 16× 576× | 30× 1080× |
視野范圍 (mm) | 2.33×1.75 | 1.165×0.875 | 0.582×0.437 | 0.291×0.218 | 0.155×0.117 | |
A型 | 總光學放大倍率 | 0.35×14× | 0.6× 24× | 1× 40× | 1.8× 73× | 3.5× 141× |
視野范圍 (mm) | 13.3×10 | 7.8×5.8 | 4.7×3.5 | 2.6×1.9 | 1.33×1 | |
* 總放大倍率是按照20寸顯示器在UXGA (1600 x 1200 pixels) 模式下計算的。
新設計的激光自動對焦系統(tǒng)擁有和VMR系列一樣的高速度和高精度,而且可以用于檢測輕薄透明的材料。 *不兼容A型 | ![]() |
新設計的激光自動對焦系統(tǒng) 新的傳感器能同時探測到上表面和下表面。 |
*不兼容A型
重新設計了用戶界面,測量精靈可以幫助初學者更容易使用軟件和制作測量程序。
[標準軟件]
[選配軟件]
使用尼康專門開發(fā)的高解析力的線性編碼器'ModuRay',測量精度進一步提高。
450 x 400 x 200mm的測量形成適合大范圍的應用。
自動影像測量儀 經濟型自動影像測定儀 自動影像分析儀
型號 | SOV-3020A |
重現(xiàn)性 | <0.005mm |
外形尺寸(W*D*H) | 700*500*900mm |
解析力標準 | 0.001mm |
臺面大小 | 500*350mm |
線性精度 | 4+L/150um |
機臺重量 | 150kg |
精度 | 4+L/150um |
放大倍數(shù) | 20x~120x |
X行程 | 300mm |
臺面荷重 | 30kg |
Y行程 | 200mm |
CCD | 1/3寸 35萬畫素 |