HMDS預(yù)處理系統(tǒng)/充HMDS氣體真空烘箱/HMDS真空烘箱 產(chǎn)品型號: HMDS-6090 產(chǎn)品名稱: HMDS預(yù)處理系統(tǒng)/充HMDS氣體真空烘箱/HMDS真空烤箱
產(chǎn)品詳細資料:
產(chǎn)品型號: HMDS-6090 HMDS 預(yù)處理系統(tǒng) 產(chǎn)品特點:1、機外殼采用醫(yī)用級不銹鋼316L材質(zhì)制造,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。3、微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,。4、智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。5、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。6、整個系統(tǒng)采用材料制造,無發(fā)塵材料,適用100 級光刻間凈化環(huán)境。
產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):電源電壓:AC 380V±10%/50Hz±2%輸入功率:3000W控溫范圍:室溫+10℃-250℃溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:±0.5℃達到真空度:133Pa容積:90L工作室尺寸(mm):450*450*450外形尺寸(mm):615*590*1470載物托架:2塊時間單位:分鐘真空泵:國內(nèi)品牌,上海“慕鴻”型號:DM-4,旋片式油泵。
產(chǎn)品特點: 在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。真空烘箱光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況 HMDS 預(yù)處理系統(tǒng)的必要性: 在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。 HMDS-6000系列預(yù)處理系統(tǒng)的原理: HMDS-6000 預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。
HMDS-6000系列預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程: 首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內(nèi)真牢度達到某一高真空度后,開始充人氮氣,充到達到某低真空度后,冉次進行抽真空、充入氮氣的過程,到達設(shè)定的充入氮氣次數(shù)后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。真空烘箱然后再次開始抽真空,充入HMDS氣體,在到達設(shè)定時間后,停止充入HMDS藥液,進入保持階段,使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當達到設(shè)定的保持時間后,再次開始抽真空。充入氮氣,完成整個作業(yè)過程。HMDS與硅片反應(yīng)機理如圖:首先加熱到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS與表面的OH一反應(yīng),在硅片表而生成硅醚,消除氫鍵作,從而使極性表面變成非極性表面。整個反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(較大)阻止其進一步反應(yīng)。 尾氣排放等:多余的HMDS蒸汽(尾氣)將由真空泵抽出,排放到專用廢氣收集管道。在無專用廢氣收集管道時需做專門處理。 上海和呈儀器制造有限公司/57188687/60457408/60457409免費咨詢熱線:400-880-6667企業(yè)QQ:4008806667銷售部地址:上海市奉賢區(qū)綠地翡翠國際廣場1號樓1020
HASUC-干燥設(shè)備網(wǎng)服務(wù)中心:上海市奉賢區(qū)翡翠國際廣場1號樓10樓生產(chǎn)基地:上海市奉賢區(qū)浦衛(wèi)公路6955號 公司網(wǎng)址:http://www.shhasuc.com客服熱線:021-60457409HASUC產(chǎn)品:水浴式恒溫培養(yǎng)振蕩器、恒溫搖床、恒溫振蕩器 、搖瓶機、光照培養(yǎng)搖床、搖床、振蕩器、大容量全溫恒溫培養(yǎng)搖床、立式雙層恒溫培養(yǎng)搖床、臥式大容量恒溫振蕩器、振蕩培養(yǎng)箱、上海恒溫培養(yǎng)搖床廠家
以下是部分島津耗材配件,由于耗材種類繁多,沒有一一列舉,更多其他耗材配件歡迎咨詢。
超凈過濾器套件P/N | 描 述 |
---|---|
Shimadzu Carrier Gas Filter Kit Includes one 1-position base plate with M type connectors, one Oxygen/Moisture/Hydrocarbon filter | |
Shimadzu Gas Filter Kit for GC-FID/FPD Includes one 3-position base plate with M type connectors, one Oxygen/Moisture/Hydrocarbon filter for Carrier gas, two Hydrocarbon/Moisture filters for H2 and Air | |
Shimadzu Gas Filter Kit for GC-ECD Includes one 2-position base plate with M type connectors, one Oxygen/Moisture/Hydrocarbon filter for Carrier gas, one Oxygen/Moisture filter for Nitrogen | |
Shimadzu Gas Filter Kit for compressed air Includes one 3-position base plate with M type connectors, one Oxygen/Moisture/Hydrocarbon filter for Carrier gas, one Hydrocarbon/Moisture filter for H2, one Hydrocarbon filter for Compressed air | |
Shimadzu Makeup Gas Filter Kit for separate makeup gas Includes one 1-position base plate with M type connectors, one Hydrocarbon/Moisture filter | |
Shimadzu Carrier Gas Filter Kit for GC-MS Includes one 1-position base plate with M type connectors, one Oxygen/Moisture/Hydrocarbon Helium-specific filter |
P/N | 描 述 |
---|---|
227-37011-01 | Shimadzu Carrier Gas Filter (Oxygen/Moisture/Hydrocarbon) |
227-37011-02 | Shimadzu Combi Gas Filter (Hydrocarbon/Moisture) |
227-37011-04 | Shimadzu Combi Gas Filter for Nitrogen (Oxygen/Moisture) |
227-37011-03 | Shimadzu Single Gas Filter for Air (Hydrocarbon) |
227-37011-05 | Shimadzu Helium-specific Carrier Gas Filter (Oxygen/Moisture/Hydrocarbon) |
P/N | 描 述 |
---|---|
Base plate 1-position with M type connectors | |
Base plate 2-position with M type connectors | |
Base plate 3-position with M type connectors | |
通用環(huán)形螺母 (1 pc) | |
底座O型圈 (10 pcs inlet, 10 pcs outlet) | |
Flush蓋 (2 pcs) | |
島津M型接頭 (1 pc inlet, 1 pc outlet) | |
電子指示器 | |
檢漏液 (240 mL) | |
壓縮空氣用水分捕集器 |
P/N | 描 述 |
---|---|
Gas Supply Pipe ASSY for 3-position filter kit Includes three gas supply pipes for Shimadzu GC side, one left-thread Hydrogen gas supply pipe for cylinder side. | |
Carrier Gas Supply Pipe (5 m) | |
Hydrogen Gas Supply Pipe (5 m, right thread) | |
Air Supply Pipe (1 pc of 2 m, 1 pc of 1 m) |
產(chǎn)品主要銷售地區(qū):東北地區(qū)、內(nèi)蒙、新疆、河北、華中、江浙一帶、華南地區(qū)等。產(chǎn)品采用CPU及高精度A/D轉(zhuǎn)換器設(shè)計而成,有【便攜式】跟【固定式】兩種!颈銛y式】可燃氣體報警器,可燃氣體檢測儀:公司型號:HD-900,該儀器使用方便,手機大小,走到哪里測到哪里,適合隨身佩戴或者不固定的場所如下水道等。【固定式】可燃氣體報警器,可燃氣體檢測儀:公司型號:HD-700\\800一個主機可同時掛接多個探頭,當被檢測氣體濃度超過報警設(shè)定值時,儀器發(fā)出聲光二級報警信號,同時啟動外部聯(lián)動,從而阻止或降低現(xiàn)場的危險程度,達到排除險情的目的。這種型號適合24小時檢測,從而現(xiàn)場的人身安全。
產(chǎn)品特點:HD-700\\800使用高速CPU處理器,能夠快速精確地處理系統(tǒng)任務(wù),系統(tǒng)的性。LCD液晶屏幕,可實時顯示探測器的濃度、狀態(tài)。使用485通訊協(xié)議,性高。4組可編程的繼電器,無源常開、常閉觸點,觸點容量240V5A采用模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計,便于系統(tǒng)維護?赏ㄟ^計算機實現(xiàn)本地監(jiān)控及遠程監(jiān)控,探測器運行狀態(tài)數(shù)據(jù)可存儲。實現(xiàn)可燃與毒性氣體探測器的混合配置。選購配件備電電源轉(zhuǎn)化模塊。中繼器模塊聯(lián)動控制模塊執(zhí)行器
技術(shù)參數(shù):工作電壓:AC220V±10%使用溫度:-20℃~60℃使用濕度:≤95%RHLCD液晶屏幕顯示:pp外型尺寸m/%LEL報警系統(tǒng):聲光報警報警音量:≥75dB傳輸距離:≤2000m外形尺寸:370mm(L)×305mm(W)×90mm(H)重 量:≤4.5kg檢測原理:電化學(xué)式/半導(dǎo)體式/催化燃燒式
產(chǎn)品介紹
IEC 60754-1&2測量儀可通過管式爐中的電線電纜散出的熱輻射 (IEC 60754-1: 800°c, IEC 60754-2: 950°c)來測量 氫鹵酸 的氣體體積 (IEC 60754-1),PH濃度(酸堿計,氫離子, IEC 60754-2),導(dǎo)電性(IEC 60754-2) 等。IEC 60754-1&2通過設(shè)備和其模式選擇功能既可以測試 IEC 60754-1 標準也可以測試IEC 60754-2 標準。IEC 60754-1是無鹵電纜來自且包含燃燒過程中排放的鹵化物,此外,此儀器還可用來測試燃氣的鹵素體積、聚合物。
標準
• IEC 60754-1 Ed. 2.0 b:1994
• IEC 60754-2 Ed. 1.0 b:1991
• GB/T 17650
特點
• 活性炭(空氣過濾):通過過濾器過濾氣源
• 硅膠(干燥空氣):可干燥氣源的裝置
• 普瑞斯 (Pyrex)管道:用戶可以輕松地將試樣插入普瑞斯爐管從而保護管道免于損壞
• 燃燒船移動系統(tǒng):自動移動燃燒船的裝置
• 模式轉(zhuǎn)換:模式轉(zhuǎn)換開關(guān)(兩種測試方法可供選擇,IEC 60754-1& IEC 60754-2)
• 溫度報警控制器:控制爐內(nèi)溫度,防止過熱
• 計時器: IEC 60754-1 or IEC 60754-2試驗中測量時間的裝置
• 抽屜:用來存放配件的盒子(如電導(dǎo)計、pH計等)
• 二氧化硅防火管道,可防止被氣體腐蝕
• 溫度顯示器:顯示爐內(nèi)熱電偶核心溫度
• 永磁攪拌器:在蒸餾水中攪拌混合燃燒氣體的攪拌器
• pH值測量儀:用來測量氧氣的pH值裝置
• 電導(dǎo)計:用來測量燃燒氣體電導(dǎo)率的儀器
規(guī)格
機型 | FT-HCT-717 |
尺寸 | 1,500(W) x 500(D) x 600(H)mm |
工作臺尺寸 | 2,300(W) x 500(D) x 800(H)mm |
電源 | AC 220V, 50/60Hz, 15A |
重量 | 60 kg |
說明書 | 可提供 |
排氣 | 最小:50L/s |
工具 | 壓縮氣體,酸堿計,電導(dǎo)率計,磁力攪拌器,吸塵器 |
QMZC型系列載體催化元件 專用于檢測甲烷、丁烷 、氫氣的傳感元件 MQ-KY型半導(dǎo)體氣敏元件 用于液石油氣、氣體濃度的檢測、檢漏、臨控等設(shè)備中 NQ--KR型半導(dǎo)體氣敏元件 用于天然氣(甲烷)氣體濃度的的檢測檢漏、監(jiān)控等 NQ--KR型半導(dǎo)體氣敏元件 用于天然氣(甲烷)氣體濃度的的檢測檢漏、監(jiān)控等 MQ-KT型半導(dǎo)體氣敏元件 用于天然氣(甲烷)氣體濃度的的檢測檢漏、監(jiān)控等 MQ-J1型半導(dǎo)體氣敏元件 用于對乙醇氣體檢漏、監(jiān)控等 MQ-K1型半導(dǎo)體氣敏元件 可燃性氣體及可燃性液體蒸汽的檢測 NQ-Y型一氧化碳氣敏元件 是對一氧化碳氣體具有較好選擇性的氣-電轉(zhuǎn)CO 氣體檢測、報警檢漏等設(shè)備 MQ-KC型低功耗氣敏元件 用于天然氣、煤氣、液化石油氣、煙霧等檢漏、監(jiān)控、報警裝置 TP-3A常溫型酒敏傳感器 測量氣體:酒精 TP-3B常溫型酒敏傳感器 測量氣體:酒精 TP-2常溫低功耗CO傳感器 CO TP-5催化甲烷傳感器 甲烷 紫外線傳感器 UV-A/UV-B TP-3D口氣傳感器 傳感器對空氣中的低濃度口氣有極高的靈敏度 TP-1.1A 非加熱低功耗 甲烷氣體傳感器 TP-3C直熱式酒敏傳感器 酒精 TP-4空氣污染物傳感器 混合氣體
用途:用于測量與316L不銹鋼兼容的液體或氣體特性:7種顯示單位范圍:0-100/200/350/700KPa精度:±0.5%FS(15-25°C);1%FS(0-15和25-40°C)過壓報警:過壓聲光報警電源:9V電池
型號 | 英制范圍 | 公制范圍 | 最大壓力 | 單價 | 備注 |
490-1 | 0-15.000 psi | 0-100 kPa | 30 psi (2.7 bar) | 標準 | |
490-2 | 0-30.00 psi | 0-200 kPa | 60 psi (4.13 bar) | 標準 | |
490-3 | 0-50.00 psi | 0-350 kPa | 120 psi (6.89 bar) | 標準 | |
490-4 | 0-100.00 psi | 0-700 kPa | 200 psi (13.78 bar) | 標準 | |
490-5 | 0-500.0 psi | 0-3450 kPa | 1000 psi (68.9 bar) | 標 |
2、安裝氣體減壓器之前,要略打開氧氣瓶閥門,吹除污物,預(yù)防灰塵和水分帶入氣體減壓器內(nèi)。
3、裝卸氣體減壓器時必須注意防止管接頭螺紋損壞滑牙,以免旋裝不牢固射出。
4、氣體減壓器出口與氧氣膠管接頭處必須用鐵絲或管卡夾緊。
5、打開氣體減壓器時,動作必須緩慢,瓶閥嘴不應(yīng)朝向人體方向。
6、在工作過程中必須注意觀察工作壓力表的壓力數(shù)值,工作結(jié)束后應(yīng)從氣瓶上取下氣體減壓器,加以妥善保存。
7、氣體減壓器凍結(jié)時,要用熱水和蒸汽解凍,嚴禁用火烘烤。在氣體減壓器加熱后,應(yīng)吹除其中的殘留水分。
沃飛銷售的工業(yè)氣體管道配件主要有工業(yè)氣體配比器、半導(dǎo)體減壓器、不銹鋼閥門、卡套接頭、各種級別的不銹鋼管、精密過濾器、各類壓力表、分析儀器、純化器、氣體配比器、各類儀表以及特種配件(德國WITT、英國BIS、韓國Hiflux、法國SIS)等;公司從選型咨詢、產(chǎn)品供應(yīng)、運行維護、技術(shù)支持、用戶培訓(xùn)、客戶服務(wù)、工程施工等方面為客戶提供整套優(yōu)質(zhì)成熟的綜合服務(wù)。
產(chǎn)品描述: HCZ-B型氣體檢測報警儀是一種可以靈活配置氣體檢測報警儀。它擁有非常清晰的大液晶顯示屏,背光照明,聲光報警提示,在非常不利的工作環(huán)境下也可以檢測危險氣體并及時提示操作人員預(yù)防。 特點: • 小巧、輕便、堅固 • 進口氨氣傳感器 • 聲、光、震動報警 • 大屏幕數(shù)字、字符顯示、瞬時值、峰值、最小值顯示 • 開機或需要時對顯示、電池、傳感器、聲光報警功能自檢 • 安全提示:定期閃燈、聲音提示 • 出眾的音頻聲音報警 • 維護費用很低 技術(shù)參數(shù): 檢測氣體:EX,O2,CO,H2S,NO,NO2,SO2,CL2,NH3,H2,HF,PH3,HCN,HCL,CLO2,C2H4O,O3等 顯 示:大屏幕液晶顯示 精 度:據(jù)氣體檢測范圍而定 誤 差:±5%F.S 直接讀數(shù):瞬時值、峰值、電池電壓、最小值 報 警:聲、光報警 電 池:3.6V鋰離子充電電池 電池工作時間:連續(xù)工作大概200小時左右 防爆標志:Ex ibdIICT3 防護等級:IP45 工作溫度:-10∽45℃ 工作濕度:5-90%RH 尺 寸:126*66*32 mm 重 量:220g(帶充電器) 防毒面具http://www.hornsen.com/