全世界認(rèn)可的標(biāo)準(zhǔn)漏孔--氦質(zhì)譜檢漏儀用
上海睿米儀器儀表有限公司專注于國(guó)外高性能檢漏儀、真空泵、真空系統(tǒng)、配套耗材銷售、維護(hù)、租賃;以及真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)、高速檢漏系統(tǒng)設(shè)計(jì)的高科技公司。公司主要員工有多年歐美工作和管理背景。睿米為航天航空,軍工、電子、半導(dǎo)體、醫(yī)藥、汽車(chē)、空調(diào)等眾多領(lǐng)域提供高端服務(wù),用戶包括高校、研究所、國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、國(guó)內(nèi)外的知名廠家等。
幫助你的公司走向世界,幫助世界認(rèn)可你的公司!睿米提供經(jīng)過(guò)美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院(National Institute of Standards and Technology,NIST)檢測(cè),標(biāo)定,并頒發(fā)標(biāo)物證書(shū)的氦質(zhì)譜檢漏儀用的標(biāo)準(zhǔn)漏孔(氦),及其他一些氣體的標(biāo)準(zhǔn)物,例如,六氟化硫,氫氣,空氣,二氧化碳等。NIST成立于1901年,從事物理、生物和工程方面的基礎(chǔ)和應(yīng)用研究,以及測(cè)量技術(shù)和測(cè)試方法方面的研究,提供標(biāo)準(zhǔn)、標(biāo)準(zhǔn)參考數(shù)據(jù)及有關(guān)服務(wù),在國(guó)際上享有很高的聲譽(yù)。NIST頒發(fā)證書(shū)的標(biāo)準(zhǔn)物品,廣泛應(yīng)用于全世界各個(gè)國(guó)家,涉及生產(chǎn)、制作、檢測(cè)、研究等眾多領(lǐng)域,并得到認(rèn)可。
睿米提供NIST認(rèn)證的氦質(zhì)譜檢漏儀用的外置標(biāo)準(zhǔn)漏孔,及部分內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔,同時(shí)可以定做不同需要的氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔。根據(jù)不同的應(yīng)用場(chǎng)合,標(biāo)漏根據(jù)充氣的方式分為,開(kāi)放式的,可以充氣的,不可充氣的,及定制的特殊標(biāo)漏。漏率從mbar.l/s
提供標(biāo)漏的公司是經(jīng)過(guò)ISO 17025 和 AL2A進(jìn)行認(rèn)證。所有漏孔提供均提供最高等級(jí)NIST(高于各個(gè)廠家僅提供廠家證書(shū))。
當(dāng)前氦質(zhì)譜檢漏儀廠家,提供的內(nèi)置標(biāo)漏或外置標(biāo)漏,基本都是廠家自己制作的,沒(méi)有經(jīng)過(guò)任何標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證機(jī)構(gòu)進(jìn)行檢定、認(rèn)證。如果需要檢定,并提供相關(guān)證書(shū),例如NIST的標(biāo)定,是需要額外增加一筆不小的費(fèi)用。睿米提供的標(biāo)準(zhǔn)漏孔,都是經(jīng)過(guò)NIST認(rèn)證的,是公認(rèn)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。常用的標(biāo)準(zhǔn)漏孔包括內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔、外置標(biāo)準(zhǔn)漏孔、吸槍漏孔(sniffer漏孔)及其他一些特殊的漏孔產(chǎn)品。
內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔:睿米提供的內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔,可以替代當(dāng)前主流的各個(gè)品牌檢漏儀的內(nèi)置漏孔,例如:INFICON(英福康)、Leybold(萊寶)、Pfeiffer/Adixen(普發(fā)/阿爾卡特),Agilent/Varian(安捷倫/瓦里安), ULVAC(愛(ài)發(fā)科),Veeco等品牌,旗下的各個(gè)型號(hào)的內(nèi)置漏孔。睿米提供帶NIST證書(shū)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。
外置標(biāo)準(zhǔn)漏孔:睿米提供的外置標(biāo)準(zhǔn)漏孔,需要選定與使用的氦質(zhì)譜檢漏儀或其他真空設(shè)備相匹配的接口,常用漏率在10-4mbar.l/s 到10-7mbar.l/s之間可選。如果有特殊要求,可以協(xié)商、定制。睿米提供帶NIST證書(shū)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。
吸槍漏孔(sniffer漏孔):常用漏率在10-4mbar.l/s 到10-6mbar.l/s。如果有特殊要求,也可以定做。睿米提供帶NIST證書(shū)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。
睿米經(jīng)營(yíng)范圍:
1. 進(jìn)口檢漏儀:Pfeiffer/Adixen(普發(fā))、Inficon(英?担、Leybold(萊寶)
2. 氣體標(biāo)準(zhǔn)誤(Standard Error)產(chǎn)品:包括氦氣標(biāo)定漏孔(校準(zhǔn)漏孔、標(biāo)準(zhǔn)漏孔),其他氣體標(biāo)準(zhǔn)誤產(chǎn)品
睿米可以為國(guó)際國(guó)內(nèi)所有的氦質(zhì)譜檢漏儀提供美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)局(NIST)標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)漏孔,包括:
A)內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔
B)外置標(biāo)準(zhǔn)漏孔
C)吸槍漏孔(sniffer漏孔)
所有漏孔提供均提供最高等級(jí)NIST A2LA證書(shū)(高于各個(gè)廠家僅提供廠家證書(shū))。
漏率可以定制E-2~E-12mbar.l/s各種漏率以及各種接口
支持INFICON(英福康)、Leybold(萊寶)、Pfeiffer/Adixen(普發(fā)/阿爾卡特),Agilent/Varian(安捷倫/瓦里安), ULVAC(愛(ài)發(fā)科),Veeco等。
睿米的氣體標(biāo)準(zhǔn)誤產(chǎn)品還可以提供各種氣體產(chǎn)品(SF6,氫氣、空氣、二氧化碳等)。
睿米還可以提供開(kāi)放式標(biāo)準(zhǔn)誤產(chǎn)品(連接在線氣瓶)以及根據(jù)客戶要求提供定制產(chǎn)品(用于工業(yè)、實(shí)驗(yàn)室、研究院所產(chǎn)品集成)。
3. 真空泵、分子泵:Pfeiffer/Adixen(普發(fā)),Leybold(萊寶)、Edwards(愛(ài)德華)
4. 真空備件:包括各種油泵、干泵維修包;分子泵軸承;真空泵油;分子泵潤(rùn)滑脂、分子泵油、各種關(guān)鍵零部件、電路板
5. 維修服務(wù):檢漏儀/真空泵/分子泵(普發(fā)/阿爾卡特、愛(ài)德華、EBARA、希赫、萊寶、英?担L峁╇娮与娐芳(jí)別維修,高于原廠維修品質(zhì)的服務(wù),減少客戶等待時(shí)間,節(jié)省客戶成本。
6. 備機(jī)服務(wù):我們提供真空泵、檢漏儀備機(jī)服務(wù),滿足客戶緊急需求。
7. 真空檢漏服務(wù)、系統(tǒng)設(shè)計(jì)。睿米提供專業(yè)的真空設(shè)備以及檢漏服務(wù),以及豐富經(jīng)驗(yàn)的檢漏專家,可以為客戶提供現(xiàn)場(chǎng)大型管路、真空腔體,小至元器件的檢漏服務(wù)以及方案設(shè)計(jì)。
氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
l 核心部件—分子泵,采用原裝進(jìn)口檢漏儀專用的分子泵。
l 美國(guó)AD放大器,有效降低了檢漏儀本身的噪音,提高了檢漏儀的靈敏度。
l 180度非均勻磁場(chǎng)的質(zhì)譜室設(shè)計(jì),對(duì)焦準(zhǔn)確,靈敏度高。
l 檢漏口耐壓高,可檢漏率量程寬,大漏小漏全可檢。
l 離子源燈絲采用氧化釔銥金燈絲,壽命長(zhǎng)、靈敏度高。
l 檢漏狀態(tài)下獨(dú)特的三屏切換,信息更豐富,檢漏更方便。
l 具有快速清氦功能和快速響應(yīng)功能。檢漏狀態(tài)一鍵清零。
l 全自動(dòng)液晶觸摸彩屏顯示,實(shí)現(xiàn)了智能自動(dòng)化,操作方便、簡(jiǎn)單可靠。
l 中英文菜單。
BW-930型氦質(zhì)譜檢漏儀 | |
主要技術(shù)指標(biāo): 1. 最小可檢漏率:8×10-13Pa·m3/s 2. 漏率顯示范圍:1×10-3—1×10-13Pa·m3/s 3. 啟動(dòng)時(shí)間:≤3min 4. 響應(yīng)時(shí)間:≤1.0s 5. 檢漏口的最高壓力:1000Pa 6. 電源要求:220v,50Hz,單相,10A 7. 機(jī)械泵抽速:4L/S 8. 工作環(huán)境:5-35℃ 9. 相對(duì)濕度:≤80% 10. 外形尺寸:600(W)×560(D)×1000(H) 11. 重量:65kg | 主要配置:
1. 進(jìn)口分子泵 2. 萊寶機(jī)械泵 3. 內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔 4. 定制電磁閥 5. 美國(guó)AD放大器 6. 采用質(zhì)譜專用模塊 7. 觸摸彩屏顯示
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氦質(zhì)譜檢漏儀 型號(hào):M2062 | |
這是在61mZQJ-230型基礎(chǔ)上用電磁閥體代售侗族和閥而發(fā)展的一個(gè)型號(hào)。電磁組合閥及其控制系統(tǒng)可以預(yù)置預(yù)抽到檢漏的轉(zhuǎn)換壓力值,在真空度到達(dá)設(shè)定值時(shí),自動(dòng)轉(zhuǎn)換到檢漏狀態(tài),故只需交替操作“檢漏-放氣”和“放氣”兩個(gè)鍵,便可實(shí)現(xiàn)檢漏過(guò)程的自動(dòng)化,避免了手動(dòng)操作中可能出現(xiàn)的誤操作。此外,還有延長(zhǎng)與抽時(shí)間的控制和檢漏過(guò)程中防止試件真空變差的自動(dòng)保護(hù)等功能 產(chǎn)品參數(shù) 最小可檢漏率(對(duì)He): 〈=5*10-11Pa.m3/s 漏率顯示范圍:2*10-11---9.8*10-5Pa.m3/s 響應(yīng)時(shí)間:〈=4s 啟動(dòng)時(shí)間:<=8min 允許檢漏口的壓力:20Pa 電源要求:220V,50Hz,單相,10A 工作環(huán)境:5-35攝氏度 相對(duì)濕度<=80% 外形尺寸:540(W)*500(D)*950(H)mm 產(chǎn)品介紹 61MZQJ-230D型氦質(zhì)譜檢漏儀采用逆擴(kuò)散檢漏,所以能在較高壓力下開(kāi)始檢漏。儀器本身的高真空系統(tǒng)采用了渦輪分子泵和機(jī)械泵組成的排氣系統(tǒng),啟動(dòng)快。它采用電動(dòng)組合閥完成檢漏的全過(guò)程操作(預(yù)抽、檢漏和放氣)。用50個(gè)發(fā)光條和相應(yīng)的數(shù)字量程指數(shù)顯示漏率。ZQJ-230D既可抽空檢漏,亦能吸槍檢漏 | 產(chǎn)品圖片 ![]() |
主要配置:
1.進(jìn)口復(fù)合型分子泵
2.優(yōu)成機(jī)械泵
3.配置標(biāo)準(zhǔn)漏口
4.專業(yè)放大器
5.采用質(zhì)譜專用模塊
主要技術(shù)指標(biāo):
最小可檢漏率:6×10-13Pa·m3/s
漏率顯示范圍:9.8×10-5—3×10-13Pa·m3/s
啟動(dòng)時(shí)間:≤5min
響應(yīng)時(shí)間:≤1.5s
檢漏口的壓力:2000Pa
電源要求:220v,50Hz,單相,10A
工作環(huán)境:5-35℃
相對(duì)濕度:≤80%
外形尺寸:580(w)×390(D)×320(H)
重量:42kg
特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn):
●采用檢漏儀定制分子泵,能極大地提高對(duì)氦氣的感應(yīng)速度,改善氦本底的清除時(shí)間,阻斷氦氣對(duì)質(zhì)譜室的污染。
●全自動(dòng)液晶觸摸彩屏顯示,實(shí)現(xiàn)了智能自動(dòng)化,操作方便、簡(jiǎn)單。
●離子源燈絲,采用氧化釔銥金燈絲,使離子源壽命更長(zhǎng)、靈敏度更高。采用這一技術(shù)是我國(guó)目前生產(chǎn)檢漏儀的一家,達(dá)到國(guó)際水平。
●電磁閥采用專門(mén)設(shè)計(jì),檢漏儀專用,更科學(xué)、更。
●180度磁場(chǎng)的質(zhì)譜室設(shè)計(jì),最大限度提高檢漏儀的效果和反應(yīng)時(shí)間。
●電氣部件采用一塊式設(shè)計(jì),使維護(hù)更方便,信號(hào)干擾更少,檢漏效果更好。
●放大器采用本公司自主研發(fā),降低了檢漏儀本身的噪音,提高了檢漏儀的靈敏度和檢漏效果。
●產(chǎn)品具有快速清除本底的功能。在一般檢漏情況下,本儀器不需要按下調(diào)零鍵,就能快速清除氦本底信號(hào),這一技術(shù)在國(guó)內(nèi)是首創(chuàng)。
名稱:氦質(zhì)譜檢漏儀 型號(hào):RBLD201 儀器資料: 適用于大多數(shù)測(cè)試系統(tǒng)的配置, RBLD系列在大多數(shù)常用測(cè)試條件下都可提供快速和高重復(fù)性的結(jié)果?膳渲糜诖謾z和精檢模式,在每個(gè)模式中寬的靈敏度范圍可使用靈活的測(cè)試技術(shù)。的線性特性可在不同的漏率要求下對(duì)各部件每個(gè)漏點(diǎn)進(jìn)行無(wú)需再校準(zhǔn)的檢漏。
RBLD系列具備完善的系統(tǒng)監(jiān)測(cè)和本機(jī)診斷功能。儀器精細(xì)地監(jiān)測(cè)與控制運(yùn)行過(guò)程中的關(guān)鍵參數(shù)。診斷碼自動(dòng)提示,提供的診斷碼結(jié)合用戶手冊(cè)便于進(jìn)行故障查找。獨(dú)特的渦輪分子泵和及其電子學(xué)單元最長(zhǎng)的在機(jī)運(yùn)行時(shí)間。簡(jiǎn)單與牢固的雙流式渦輪分子泵提供轉(zhuǎn)子位置無(wú)比的高穩(wěn)定性和抗震性,大大地延長(zhǎng)了渦輪泵的使用壽命。
操作方式:觸摸屏中文界面
外形尺寸:RBLD201:46x87x61/RBLD301:67x32x60 (寬 x高 x 深) 厘米
質(zhì)譜儀:180° 磁偏轉(zhuǎn)
燈絲:2根敷氧化釔的銥陰極
真空連接:DN 16 KF / DN 25 KF
電源電壓:AC220V(±10%)
頻率:50/60 Hz
功率:RBLD201:<800W/RBLD301:<500W
最大進(jìn)氣口壓強(qiáng):粗檢模式:1500Pa/低靈敏度 (純逆向氣流):100Pa/高靈敏度(順流檢漏):30Pa
預(yù)熱時(shí)間:≤ 3分鐘
可檢氣體:He2 He3 He4
最小可檢漏率: 低靈敏度(純逆向氣流):2.0×10-09 Pam3/s;靈敏度(順流檢漏):2.0×10-11 Pam3/s
測(cè)量范圍:2.0×10-11 Pam3/s-------2.0×10-02 Pam3/s
響應(yīng)時(shí)間 (至訊號(hào)的63%) :<1秒
主要配置
氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。 此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。
二 系統(tǒng)配置: ASM142氦質(zhì)譜檢漏儀主要包括以下器件:
序號(hào) | 設(shè)備名稱 | 序列號(hào) | 數(shù)量 |
1 | ASM142氦質(zhì)譜檢漏儀主機(jī)(包括一臺(tái)機(jī)械泵、一臺(tái)分子泵、一個(gè)質(zhì)譜室、信號(hào)放大器等儀器必須的部件。) | T0R00000B810 | 一套 |
2 | ALCATEL 200號(hào)油(1升/桶) | 068694 | 1桶 |
3 | 燈絲 FILAMENT | 053146 | 1備1用 |
三 技術(shù)規(guī)格:
| 靈敏度: | 5.0×10-12mbar.l/s |
| 漏率顯示范圍: | 5 ×10-12 ~1 ×10 -1 mbar.l/s (He) |
| 達(dá)到檢漏的時(shí)間(空盒時(shí)): | 小于30秒 |
| 發(fā)射電流顯示: | 0.2—2mA |
| 檢漏口對(duì)氦氣的抽速: | 1.3升/秒 |
| 啟動(dòng)時(shí)間: | 小于3分鐘 |
| 接口尺寸: | DN 25 KF |
| 外觀尺寸: | 510´343´428mm |
| 重量: | 56Kg |
| 電源: | 220V 50Hz 單相 |
| 符合美國(guó)真空標(biāo)準(zhǔn)AVS2.1 以及國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO3530的標(biāo)準(zhǔn)。內(nèi)置式標(biāo)準(zhǔn)漏孔,帶自動(dòng)溫度補(bǔ)償系統(tǒng)。開(kāi)機(jī)3分鐘后完成全部準(zhǔn)備工作。數(shù)顯工作界面;數(shù)字顯示漏率,帶音頻報(bào)警。所有工作參數(shù)可以通過(guò)菜單設(shè)定和修改?梢栽O(shè)置報(bào)廢點(diǎn)。質(zhì)譜室自動(dòng)保護(hù):有效防止大氣突然沖入對(duì)燈絲及質(zhì)譜室的損害。 |